专利名称：分子泵钣金定片的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种分子泵的定片，尤其涉及一种分子泵钣金定片。
背景技术：
涡轮分子泵通过动片-定片组来实现抽气的功能。现有技术中，分子泵的定片采用铝合金材料，先通过车床车成圆板状毛坯，再通过分度头控制角度，调整铣床的角度，使用特殊铣刀工装，通过铣床铣制叶片。因为分子泵定片每组数量多且薄，整套工艺中为避免铝合金材料应力释放造成叶片变形，需经多道热处理去应力，使用特制的夹爪，以及多道车铣工序来保证叶片的应力变形在允许的范围内。之后铣好的定片还需经去毛刺，阳极氧化，标号，割断、配打销孔的诸多工序，才能最终完成。如图I所示，是现有技术中一对铣制加工的定片组。上述现有技术至少存在以下缺点铣制的定片工艺在铣各个叶片上极其消耗时间，同时增加了废品率。工艺复杂、工时长、废品率高使得叶片成品的价格居高不下，且定片尺寸越大，加工难度越高。因此造成定片的产能十分有限。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单、容易制作的分子泵钣金定片。本发明的目的是通过以下技术方案实现的本发明的分子泵钣金定片，包括圆环状支撑框架，所述圆环状支撑框架上设有多个叶片，所述圆环状支撑框架与所述叶片为整体钣金冲压结构。由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明提供的分子泵钣金定片，由于该定片为整体钣金冲压结构，结构简单，可以采用冲压模具生产定片，制造工艺简单、成本低、 生产效率高。
图I是现有技术中一对铣制加工的定片组的结构示意图；图2为本发明的具体实施例的扭转式钣金定片的结构示意图；图3为具体实施例的斜口式钣金定片的结构示意图；图4为本发明的具体实施例的冲压模具的结构示意图；图5a、5b、5c、5d为本发明中的定片上的加强筋的几个具体实施例的结构示意图；图6a、6b、6c为本发明中的定片上的搭接扣的几个具体实施例的结构示意图。图中1、支撑框架，2、叶片。
具体实施例方式下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述。
本发明的分子泵钣金定片，其较佳的具体实施方式
是包括圆环状支撑框架，所述圆环状支撑框架上设有多个叶片，所述圆环状支撑框架与所述叶片为整体钣金冲压结构。该定片可以为不锈钢钣金冲压件，也可以选用其它的易冲压的材料。所述叶片可以为扭转式结构，也可以为斜口式结构。所述圆环状支撑框架上可以设有加强筋。所述加强筋可以为三角型加强筋、圆形加强筋、圆角槽型加强筋和/或方形加强筋等。所述圆环状支撑框架可以为两个半圆环拼装的结构，两个半圆环之间的对接处设有搭接扣。以确保安装时与转子配对时的位置和强度。本发明中的定片为钣金冲压件，具体实施例中，定片可以用优质不锈钢板经冲压制成，结构简单，可以采用冲压模具生产定片，大大简化了制造工艺、降低成本、提高生产效率。如图2所示，为具体实施例的扭转式钣金定片；如图3所示，为具体实施例的斜口式钣金定片。具体可以根据定片的大小、叶片倾角和数量的具体情况，选择扭转式钣金定片和斜口式钣金定片。其中扭转式拥有更佳的性能，斜口式拥有更佳的强度。如图4所示，是一个具体实施例的冲压模具的结构示意图，通过上下两个冲模，一次或多次完成叶片的冲裁和扭转变形。如图5a、5b、5c、5d所示，具体实施例中为保证定片强度，在直径较大的定片上可以增加加强筋，比如三角型加强筋、圆形加强筋、圆角槽型加强筋和方形加强筋等。如图6a、6b、6c所示，为保证定片安装位置准确，定片组两部分之间可以设计有各种搭接扣。本发明的具体实施例的优点在于，定片采用不锈钢钣金制成，生产效率比一般铣制片有显著提高、加工难度显著降低、可大幅降低生产制造成本。同时，不锈钢比铝合金有更好的真空特性，在真空条件下放气小，有助于提高产品的性能。以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此， 任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换， 都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
权利要求
1.一种分子泵钣金定片，其特征在于，包括圆环状支撑框架，所述圆环状支撑框架上设有多个叶片，所述圆环状支撑框架与所述叶片为整体钣金冲压结构。
2.根据权利要求I所述的分子泵钣金定片，其特征在于，该定片为不锈钢钣金冲压件。
3.根据权利要求2所述的分子泵钣金定片，其特征在于，所述叶片为扭转式结构。
4.根据权利要求2所述的分子泵钣金定片，其特征在于，所述叶片为斜口式结构。
5.根据权利要求I至4任一项所述的分子泵钣金定片，其特征在于，所述圆环状支撑框架上设有加强筋。
6.根据权利要求5所述的分子泵钣金定片，其特征在于，所述加强筋为三角型加强筋、 圆形加强筋、圆角槽型加强筋和/或方形加强筋。
7.根据权利要求I至4任一项所述的分子泵钣金定片，其特征在于，所述圆环状支撑框架为两个半圆环拼装的结构，两个半圆环之间的对接处设有搭接扣。
全文摘要
本发明公开了一种分子泵钣金定片，该定片为不锈钢钣金整体冲压结构，包括圆环状支撑框架，圆环状支撑框架上设有多个叶片，叶片可以为扭转式结构或斜口式结构。结构简单，支撑框架和叶片可以采用冲压模具生产，制造工艺简单、成本低、生产效率高。
文档编号F04D29/00GK102588320SQ201210062318
公开日2012年7月18日 申请日期2012年3月9日 优先权日2012年3月9日
发明者于天化, 董欣, 郁晋军 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司