专利名称：复合拖动分子泵的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种拖动分子泵。
中国专利CN-85105304A、CN-87101116.6-2和美国专利US3，794，449介绍了若干种拖动分子泵，这些分子泵虽然压缩比较高，但是抽速相对说来仍不很高，限制了它们的进一步推广使用。
本发明的目的是提供一种具有多个拖动面的抽速更高的新颖拖动分子泵，以及这种泵与其它分子泵和旋转机械真空泵组成的复合真空泵。
本发明提供的分子泵，由动叶轮、动密封、转轴、隔离环、静叶轮和泵壳等组成，动叶轮固定在转轴上，其特征在于该泵中至少有一组具有多个拖动面的基本抽气单元，简称为多拖泵单元。该基本抽气单元由如下基本结构组成1.动叶轮上至少有一条沿圆周方向的抽气槽，抽气槽的截面可以是矩形、弧形、或者其它形状。抽气槽的开口可以在圆周的侧面方向，或者在横截面方向。
2.动密封由截面与抽气槽截面相似，但略小的弧形体构成，动密封固定在泵壳，或者隔离环，或者静叶轮上，并插入抽气槽中。动密封与抽气槽内壁之间留有工作间隙。
3.抽气槽在上述动密封的两侧分别设有进气口和排气口，其余部位由泵壳，或者隔离环，或者静叶轮等密封。密封处留有工作间隙。
4.同一抽气槽中，可以有若干个动密封，以及若干个相应的进气口和排气口。这时，该抽气槽应视为多级抽气单元。
5.抽气槽和动密封等动、静结构可以互换。
当动叶轮高速旋转时，上述抽气单元就可以构成一台有实用价值的分子泵。改变动叶轮的旋转方向，可以改变抽气方向。
将若干级基本抽气单元的进气口和排气口分别用气体通道连成一体，可以构成并联抽气。将若干级基本抽气单元的排气口和进气口依次首尾相连，可以构成串联抽气。将多级抽气单元同轴安装，靠近泵的进气口的单元并联抽气，靠近泵的排气口的单元串联抽气，可以构成一台性能更好的分子泵。
上述单级或多级分子泵与其他分子泵、旋转机械真空泵等同轴安装，串、并联组合，还可以构成一台性能更好的复合分子泵。
本发明的优点1.本发明提出的拖动分子泵结构简单，加工方便，成本较低，抽速和压缩比均较高，并且若干级单元同轴安装，可以构成串、并联组合的多级泵。
2.本发明提出的拖动分子泵还可以与其他分子泵、旋转机械真空泵等同轴安装，构成各种性能优良的复合真空泵。
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述。
图1是本发明单级多拖泵(A)的示意图。
图2是本发明单级多拖泵(A)的侧视图。
图3是本发明多级多拖泵(A)的示意图。
图4是本发明单级多拖泵(B)的示意图。
图5是本发明多级多拖泵(B)的示意图。
图6是本发明复合拖动分子泵的示意图。
图7是本发明复合分子泵的示意图。
附图中1.动叶轮，2.动密封，3.转轴，4.泵壳，5.抽气槽，6.进气口，7.排气口，8.隔离环，9.泵的进气口，10.泵的排气口，11.电机，12.双拖泵单元，13.单拖泵单元，14.涡轮分子泵单元，15.多拖泵静叶轮。
实施例1单级多拖泵(A)单级多拖泵(A)的抽气槽开口在圆周侧面方向，其正视图和侧视图分别如图1、2所示，由动叶轮1，动密封2，转轴3和泵壳4，等构成。动叶轮1固定在转轴3上，动叶轮1上有一条抽气槽5，动密封2固定在泵壳4上，泵壳4与动叶轮1之间的间隙和动密封2与抽气槽5之间的间隙应尽可能小一些，通常可取0.1～0.5mm。待抽气体由进气口6进入，经排气口7排出。
实施例2多级多拖泵(A)多级多拖泵(A)由转轴3、泵壳4、隔离环8、以及若干级多拖泵(A)单元同轴安装构成。通常靠近泵的进气口9的单元并联抽气，靠近泵的排气口10的单元串联抽气。图3所示的多级多拖泵由八级单元组成。中间四级单元并联抽气，两侧各有二级单元分别串联抽气。中间四级单元的动密封位于侧上方，它们的进气口对准泵的进气口9，两侧的动密封分别位于侧面和侧下方，如图3中的虚线所示。图3中的隔离环可以不用，所有的动密封可直接固定在泵壳4上。串联抽气单元的排气口和进气口依次首尾相连，最外侧的单元排气口位于泵的下方，与排气口10直接相连。被抽气体由泵的进气口9进入，经中间四级并联抽气单元，然后分成左、右二路，分别再经左、右两侧的二级串联抽气的单元，最后由泵的排气口10排出。
当单级多拖泵压缩比较高时，相邻两串联级之间可以加动密封，例如，加一级多拖泵单元，或者二级串联抽气的盘形泵(详见专利CN-85105304A)单元等。
例3单级多拖泵(B)单级多拖泵(B)的抽气槽的开口在横截面方向，其正视图如图4所示，由动叶轮1、转轴3、动密封2、静叶轮15、泵壳4和隔离环8等构成。动密封2固定在静叶轮15上。静叶轮15固定在泵壳4上。动、静叶轮之间的间隙以及动密封与抽气槽之间的间隙尽可能小一些，通常可取0.1～0.5mm。抽气槽在动密封的两侧分别设有进气口和排气口。
实施例4多级多拖泵(B)多级多拖泵(B)由同一叶轮，或者不同叶轮上的若干单级多拖泵(B)构成，多级单元可以根据需要串联抽气或者并联抽气。图5所示的多级多拖泵B。由动叶轮1、转轴3、动密封2、泵壳4、隔离环8和静叶轮15等构成。动叶轮1上有二条抽气槽5，该二条抽气槽5与动密封2组成二个串联抽气的多拖泵单元。二抽气槽的动密封在圆周位置上交叉开一定的距离，使外侧抽气单元的排气口靠近内侧抽气单元的进气口。被抽气体由外侧抽气单元的进气口进入，依次经过外侧抽气单元和内侧抽气单元，最后由内侧抽气单元的排气口排出。
实施例5复合拖动分子泵复合拖动分子泵由转轴3、泵壳4、隔离环8、以及若干级同轴安装的多拖泵、双拖泵(详见专利CN-87101116.6-2)和单拖泵，例如盘形泵(详见专利CN-85105304A)和传统的柱面螺线槽拖动分子泵和其它单拖动面分子泵(下文同)单元等组成。组合方式一靠近泵的进气口采用多拖泵单元，靠近排气口采用双拖泵单元，或者单拖泵单元，或者它们的串、并联组合。组合方式二靠近泵的进气口采用双拖泵单元，靠近排气口采用多拖泵单元，或者多拖泵单元与单拖泵单元的串、并联组合。图6所示的复合泵由四级多拖泵、二级双拖泵12和四级盘形单拖泵单元13组成。被抽气体由泵的进气口9进入，经中间四级并联抽气的多拖泵，然后分成左、右二路，分别再经两侧串联抽气的一级双拖泵和二级盘形单拖泵，最后由泵的排气口10排出。
实施例6复合分子泵复合分子泵由转轴3、泵壳4、电机11以及若干级同轴安装的涡轮分子泵、多拖泵、双拖泵和单拖泵单元等组成。靠近泵的进气口采用涡轮分子泵单元，靠近泵的排气口采用多拖泵单元，或者多拖泵单元与双拖泵、单拖泵单元的串、并联组合。图7所示的复合泵由串联抽气的八级涡轮分子泵、一级多拖泵和一级双拖泵单元组成。靠近泵的进气口9为涡轮分子泵单元。被抽气体经串联抽气的八级涡轮分子泵、一级多拖泵和一级双拖泵单元，最后由排气口10排出。
实施例7复合真空泵复合真空泵由若干级多拖泵、涡轮分子泵、双拖泵、单拖泵和旋转机械真空泵同轴安装组成。靠近泵的进气口为多拖泵单元，或者涡轮分子泵单元与多拖泵单元的组合，或者它们和双拖泵单元的组合，然后可以采用单拖泵单元。最后一级分子泵单元的排气口与旋转机械真空泵的进气口相连。例如十级串联的多拖泵与单级旋转机械真空泵同轴安装，靠近泵进气口为多拖泵。最后一级多拖泵的排气口与旋转机械真空泵的进气口相连，被抽气体由泵的进气口进入，经六级串联抽气的多拖泵，再经单级旋转机械真空泵排出。
权利要求
1.一种复合拖动分子泵，由动叶轮、动密封、转轴、静叶轮和泵壳等组成。其特征在于所述的分子泵中至少有一组具有多个拖动面的基本抽气单元，简称为多拖泵单元。该基本抽气单元由如下基本结构组成(1)动叶轮上至少有一条沿圆周方向的抽气槽，抽气槽的截面可以是矩形、弧形、或者其它形状。抽气槽的开口可以在圆周的侧面方向，或者在横截面方向。(2)动密封由截面与抽气槽截面相似，但略小的弧形体构成，动密封固定在泵壳，或者隔离环，或者静叶轮上，并插入抽气槽中。动密封与抽气槽内壁之间留有工作间隙。(3)抽气槽在上述动密封的两侧分别设有进气口和排气口，其余部位由泵壳，或者隔离环，或者静叶轮等密封。密封处留有工作间隙。
2.根据权力要求1所述的多拖泵基本单元，其特征在于同一抽气槽中，可以有若干个动密封，以及若干个相应的进气口和排气口。
3.根据权力要求1和2所述的多拖泵基本单元，其特征在于抽气槽和动密封等动、静结构互换。
4.根据权力要求1所述的多级分子泵，其特征在于若干级多拖泵单元同轴安装，其进气口和排气口分别用气体通道连成一体，构成并联抽气。
5.根据权力要求1所述的多级分子泵，其特征在于若干级多拖泵单元同轴安装，其排气口和进气口依次首尾相连，构成串联抽气。
6.根据权力要求1所述的多级分子泵，其特征在于若干级多拖泵单元同轴安装，靠近泵的进气口的单元并联抽气，靠近泵的排气口的单元串联抽气。
7.根据权力要求1所述的多级分子泵，其特征在于若干级多拖泵单元和动密封同轴安装，相邻两串联抽气的多拖泵级之间加动密封，动密封可以采用多拖泵，或者盘形泵单元。
8.根据权力要求1所述的复合分子泵，其特征在于若干级多拖泵、双拖泵和单拖泵单元同轴安装，靠近泵的进气口采用多拖泵单元，靠近泵的排气口采用双拖泵单元，或者单拖泵单元，或者双拖泵单元与单拖泵单元的串、并联组合。
9.根据权力要求1所述的复合分子泵，其特征在于若干级多拖泵、双拖泵和单拖泵单元同轴安装，靠近泵的进气口采用双拖泵单元，靠近泵的排气口采用多拖泵单元，或者多拖泵单元与单拖泵单元的串、并联组合。
10.根据权力要求1所述的复合分子泵，其特征在于若干级涡轮分子泵和多拖泵单元同轴安装，靠近泵的进气口采用涡轮分子泵单元，靠近泵的排气口采用多拖泵单元。
11.根据权力要求1所述的复合分子泵，其特征在于若干级涡轮分子泵、多拖泵、双拖泵和单拖泵单元等同轴安装，靠近泵的进气口采用涡轮分子泵单元，靠近泵的排气口采用多拖泵单元，或者双拖泵单元，或者单拖泵单元，或者它们的串、并联组合。
12.根据权力要求1所述的复合真空泵，其特征在于若干级多拖泵单元和旋转机械真空泵同轴安装，靠近泵的进气口为多拖泵单元，最后一级多拖泵单元的排气口与旋转机械真空泵的进气口相连。
13.根据权力要求1所述的复合真空泵，其特征在于若干级涡轮分子泵、多拖泵单元和旋转机械真空泵同轴安装，靠近泵的进气口为采用涡轮分子泵单元然后采用多拖泵单元。最后一级多拖泵单元的排气口与旋转机械真空泵的进气口相连。
全文摘要
一种拖动分子泵，由动叶轮，动密封，转轴和泵壳等构成。动叶轮上至少有一条多拖动面的抽气槽，动密封插在抽气槽中，抽气槽在动密封的两侧分别留有进气口和排气口。若干级上述抽气单元同轴安装，可以组成串、并联组合的多级泵。上述单级或多级泵还可以与其他分子泵以及旋转机械真空泵组合成复合真空泵。该泵结构简单、加工方便，抽速和压缩比均较高，而且成本较低。
文档编号F04D19/04GK1075779SQ92101300
公开日1993年9月1日 申请日期1992年2月28日 优先权日1992年2月28日
发明者储继国 申请人:储继国