应用于涡轮分子泵的一种轴系减振结构的制作方法

文档序号:5462702阅读:178来源:国知局
专利名称:应用于涡轮分子泵的一种轴系减振结构的制作方法
技术领域
本发明涉及流体设备领域,是一种真空获得设备的结构发明,更具体地讲, 本发明是一种用于涡轮分子泵的轴系减振结构。
背景技术
在真空获得设备中,分子泵是一种高转速、高精度的真空泵。由于高速转 动零件的不平衡,零件制造误差等因素,造成分子泵在运转过程中会产生振动。 这些振动会加剧轴承磨损,降低分子泵的使用受命,甚至引起结构疲劳破坏, 因此要尽可能的降低分子泵的振动。目前,涡轮分子泵的轴承减振一般使用圆 形截面或矩形截面的橡胶圈套在轴承的外侧,以达到径向减振的目的。其优点 是加工制造和安装都较方便。在轴向一般使用弹簧减振结构,这种结构的缺点 是不能有效地克服轴向振动引起的接触面摩擦及产生的振动及噪声。 发明内容
本发明的目的在于,针对已有减振结构的不足,设计出一种既有良好的减 振性能,又便于加工制造的新结构。这种结构可以实现良好的径向和轴向减振。 本发明的目的是通过下述技术方案实现的
在分子泵两轴承的外侧放置一个轴承套筒,轴承套筒的上下两端开槽,也 可以在与轴承套筒相配合的零件上开槽;槽内安装径向减振橡胶圈,胶圈可以 是圆形截面或矩形截面;同时在轴承套筒的一端或两端安装轴向减振垫,轴向 减振垫可以具有多种形式。因为这类结构同时具有径向和轴向减振功能,所以 减振效果良好。又因为轴承直接与轴承套筒相接触,而不是与导热性差的橡胶 相接触,所以导热性能有很大提高。
这里举两个例子, 一个是轴向减振垫为矩形橡胶圈;另一个是轴向减振垫为橡胶和金属压制而成的组件。以下结合附图
对本发明进行说明,其中-
图i是传统减振结构剖面图。 图2是第一种减振结构剖面图。
图3是第一种减振结构的周部放大图。 图4是第二种减振结构剖面图。
图5是第二种减振结构中的轴向减振垫详图。 图中附图标记表示为r-传统的径向减振胶圈,l-轴承套筒,2-径向减振胶圈,
3-轴向减振垫,4-金属体,5-橡胶体。
具体实施方式
图i是传统减振结构,传统的减振结构中没有轴承套筒,径向减振胶圈r 直接安装在轴承的外面,在轴向使用弹簧来减振。
图2是第一种减振结构,该减振垫为矩形橡胶圈。轴承通过其他装置定位
在轴承套筒1上,轴承套筒1的两端开矩形槽放置径向减振胶圈2。
图3详细说明该轴向减振胶圈处的槽形结构,该槽由两个对开的梯形槽合并 而成,上面的梯形槽开在轴承套筒1上方的零件上;下面的梯形槽开在轴承套 筒1及与其在径向相配合的零件上。使用这种槽形既可以使轴向减振胶圈准确 定位,又可为其径向变形留出空间。其中,上面的轴向减振胶圈对向上的振动 有减振作用,下面的轴向减振胶圈对向下的振动有减振作用,所以必须两个一 起使用。
图4是第二种减振结构,轴承通过其他装置定位在轴承套筒1上,轴承套 筒1的两端开矩形槽以放置减振结构。该轴向减振垫3为橡胶和金属压制而成 的组件。
图5详细说明该减振垫的结构,该轴向减振垫3对上下两个方向都有减振 作用,所以,可以只在一侧使用。
权利要求1.应用于涡轮分子泵的一种轴系减振结构,其特征为在分子泵的两个轴承外放置一个轴承套筒,在轴承套筒的两端设置减振结构。
2. 根据权利要求1所述的减振结构,其特征为在套筒的两端开槽,或在与 套筒相配合的零件上开槽,槽内放置径向减振橡胶圈和轴向减振垫。
3. 根据权利要求2所述的减振结构,其特征为径向减振橡胶圈的截面可以 是圆形或方形。
4. 根据权利要求2所述的减振结构,其特征为轴向减振垫可以是矩形截面 橡胶圈或是金属和橡胶压制的组件。
专利摘要应用于涡轮分子泵的一种轴系减振结构,涉及流体设备领域,轴承外放置轴承套筒,在套筒的两端设置减振结构,结构简单紧凑,径向减振使用O型胶圈,轴向减振垫使用矩形截面胶圈或金属与橡胶压制的组件。本实用新型的减振结构能够弥补已有减振结构的不足,具有良好的减振性能,可以实现良好的径向和轴向减振,又便于加工制造的新结构。
文档编号F04D29/66GK201318338SQ20082017712
公开日2009年9月30日 申请日期2008年11月5日 优先权日2008年11月5日
发明者李明月, 斌 范, 蒙 邹 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司
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