专利名称：双向排气爪型泵的制作方法
技术领域：
双向排气爪型泵技术领域[0001]本实用新型涉及一种双向排气爪型泵，属于真空技术领域。
背景技术：
[0002]爪型泵是一种变容积干式真空泵，由装在泵体内的一对平行轴上的多级转子构 成，轴端齿轮驱动同步反向运转。爪型泵抽气过程中泵腔内不含油类等液体介质，对被抽容 器以及工作环境无污染，所以在半导体、电子、化工和制药行业得到了广泛的应用。爪型泵 一般由三级转子串联在转子轴上，每级的两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气 口与排气口分别设在两侧端盖的侧面上，由转子在旋转过程中自动开闭，并控制容积由大 到小、由小到大不断变化，来达到抽真空的目的，但由于爪型泵自身结构的限制，其进气口 和排气口尺寸都很小，通常的进气口、排气口直径为25 80mm，真空系统内的气体不能有 效抽出，极大地限制了爪型泵的抽气速率。实用新型内容[0003]根据以上现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构紧 凑合理且能够提高泵体真空度和抽气速率的双向排气爪型泵。[0004]本实用新型所述的双向排气爪型泵，包括电机、泵体和泵体内平行安装的主动轴 与从动轴，主动轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，主动 轴连接电机，其特征在于泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成，每级泵腔中设置一对 转子，每对转子由相互啮合的主动转子和从动转子组成，主动转子、从动转子分别安装在主 动轴、从动轴上，位于泵体中间位置的中间级泵腔连接进气口，位于泵体两端的最后一级泵 腔上分别设有上端盖、下端盖，上、下端盖上有排气口。[0005]工作原理及过程[0006]工作时，双向排气爪型泵从真空系统吸入气体，气体经过进气口进入中间级泵腔， 之后气体向上、向下分为两路，经过中间级泵腔两侧泵腔中的转子，并最终通过上、下端盖 的排气口排向大气。[0007]本爪型泵在中间级泵腔两侧均通过多级泵腔进行抽气，并具有两个排气口，从而 实现了爪型泵的双向排气，提高了爪型泵的抽气速率。[0008]其中[0009]所述的进气口直径为100 200mm。[0010]所述的排气口直径为80 150mm[0011]相比传统的爪型泵，本实用新型的进气口、排气口尺寸相应增大，从而使真空系统 内气体能够有效地抽出，极大提高了爪型泵的极限真空度和抽气速率。[0012]本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果是[0013]本爪型泵结构简单紧凑，通过多级泵腔进行抽气且具有两个排气口，实现了爪型 泵的双向排气；通过增大了进气口、排气口尺寸，使真空系统内气体能够有效地抽出，提高了爪型泵的极限真空度和抽气速率。
[0014]图1是本实用新型的结构示意图。[0015]图中1、电机；2、下端盖；3、三级转子；4、二级转子；5、中间级转子；6、进气口 ；7、 主动轴；8、排气口 ；9、从动轴；10、上端盖；11、最后一级泵腔；12、二级泵腔；13、中间级泵腔。
具体实施方式
[0016]
以下结合附图及实施例对本实用新型做进一步描述[0017]如图1所示，本双向排气爪型泵，包括电机1、泵体和泵体内平行安装的主动轴7与 从动轴9，主动轴7上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴9上，主 动轴7连接电机1，泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成，每级泵腔中设置一对转子， 每对转子由相互啮合的主动转子和从动转子组成，主动转子、从动转子分别安装在主动轴 7、从动轴9上，位于泵体中间位置的中间级泵腔13连接进气口 6，位于泵体两端的最后一 级泵腔11上分别设置上端盖10、下端盖2，上、下端盖上均设有排气口 8，进气口 6直径为 100 200_，排气口 8直径为80 150_。[0018]本实施例采用5个泵腔，中间级泵腔13两侧依次为二级泵腔12、三级泵腔(即最 后一级泵腔11)，中间级泵腔13、二级泵腔12、三级泵腔中分别安装中间级转子5、二级转子4、三级转子3，进气口 6直径为200mm，排气口 8直径为150mm。现在以5个泵腔为例对本双 向排气爪型泵的工作原理及过程做具体说明[0019]工作时，双向排气爪型泵从真空系统吸入气体，气体经过进气口 6进入中间级泵 腔13，之后气体向上、向下分为两路，经过二级转子4、三级转子3，并最终通过上、下端盖的 排气口 8排向大气。[0020]本爪型泵结构简单紧凑，通过多级泵腔进行抽气且具有两个排气口 8，实现了爪型 泵的双向排气；相比传统的爪型泵，本实用新型的进气口 6、排气口 8尺寸相应增大，从而使 真空系统内气体能够有效地抽出，极大提高了爪型泵的极限真空度和抽气速率。
权利要求1.一种双向排气爪型泵，包括电机(I)、泵体和泵体内平行安装的主动轴(7)与从动轴(9)，主动轴(7)上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴(9)上，主动轴(7)连接电机(1)，其特征在于泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成，每级泵腔中设置一对转子，每对转子由相互啮合的主动转子和从动转子组成，主动转子、从动转子分别安装在主动轴、从动轴上，位于泵体中间位置的中间级泵腔(13)连接进气口(6)，位于泵体两端的最后一级泵腔(6)上分别设置上端盖(10)、下端盖(2)，上、下端盖上均设有排气口(8)。
2.根据权利要求1所述的双向排气爪型泵，其特征在于所述的进气口(6)直径为·100 200mmo
3.根据权利要求1所述的双向排气爪型泵，其特征在于所述的排气口(8)直径为·80 150mm。
专利摘要本实用新型属于真空技术领域，具体涉及一种双向排气爪型泵，包括电机、泵体和泵体内平行安装的主动轴与从动轴，主动轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，主动轴连接电机，其特征在于泵体由多级相互隔离的泵腔串联组合而成，每级泵腔中设置一对转子，位于泵体中间位置的中间级泵腔连接进气口，位于泵体两端的最后一级泵腔上分别设有上端盖、下端盖，上、下端盖上有排气口。本爪型泵结构简单紧凑，通过多级泵腔进行抽气且具有两个排气口，实现了爪型泵的双向排气；通过增大进气口、排气口尺寸，使真空系统内气体能够有效地抽出，提高了爪型泵的极限真空度和抽气速率。
文档编号F04C29/12GK202867217SQ20122052675
公开日2013年4月10日 申请日期2012年10月16日 优先权日2012年10月16日
发明者肖庆涛, 崔峰, 刘元华 申请人:淄博沃德气体设备有限公司