约束式磁力驱动泵的制作方法

文档序号:5505023阅读:593来源:国知局
专利名称:约束式磁力驱动泵的制作方法
技术领域
本发明涉及一种主要用于金相试样电解抛光仪和透射电镜金属薄膜试样电解减薄仪以及其它腐蚀性液体输送的约束式磁力驱动泵。
目前所用的磁力驱动泵,其磁性转子安放在泵腔内,由底部平面支承旋转。由于制造或装配精度等原因,转子易受磁钢转动中心偏摆和转动不同步的影响,常常会发生串动或跳动现象,使泵起动困难和运转不稳定。
本发明的目的就是设计一种能克服现有磁力泵的转子串跳现象,起动灵便和运转稳定的约束式磁力驱动泵。
约束式磁力驱动泵的驱动装置由电机24、磁钢22及磁性转子2组成。泵则由泵体1、泵盖3和喷头4组成。泵体1、泵盖3和喷嘴5都用耐蚀的无磁性材料制成。泵体1采用正置式结构,泵体的泵腔底部中心开有约束孔32。磁性转子2的中部有一园柱轴台31,磁性转子2的中间轴台31搁置在约束孔32上,由孔壁支承并约束其转动。泵盖3上装有喷头4或其它输液管道。泵盖3用螺钉与泵体1联接。泵盖3的中心还开有液体回流孔33。
根据泵的使用要求,泵体1的泵腔内径D1、泵腔底厚亦即约束孔32的孔壁厚度B,磁性转子2的外径d1、转子总长1,等参数都可由设计确定。设约束孔32的直径为D2、磁性转子2的中间轴台31的外径为d2,轴台31的园柱长度为l1,为了符合约束条件和保证转子2的转动灵便,尺寸D2、d2及l2与d1、B之间须同时满足方程(1)、(2)d2≥d1+2B (1)D22-l22≤ 1/2 (d22-d21) (2)约束孔32的直径D2越大,磁性转子2的轴台31外径d2越大以及长度l2越长,转子2的转动越稳定。但一般情况下,D2不宜大于泵体1的内腔直径D1的三分之一。轴台32的长度l2可取与轴台外径d2相等。于是当磁性转子2的直径d1、泵腔底厚B设计确定后,约束孔32的直径D2以及磁性转子2的轴台31外径d2和长度l2都可确定。泵盖3上的回流孔33的直径一般略大于约束孔32的直径D2。
将本发明的泵放在盛有液体的容器7中,置于磁力驱动装置的上方。当电机24带动磁钢22驱动磁性转子2旋转时,液体就会经管道或喷头4泵出。由于磁性转子2的转动受泵体1约束孔32的约束,就可克服磁钢22转动中心偏摆与不同步的影响。这种结构的磁力驱动泵具有起动方便和运转稳定等特点。


图1为约束式磁力驱动单喷泵剖面图。
图2为约束式磁力驱动双喷泵泵体俯视图。
图3为约束式磁力驱动双喷泵泵体剖面图。
图4为带轴台的一字型磁性转子。
图5为带轴台的十字形磁性转子。
图6为透射电镜金属薄膜试样制备用约束式磁力驱动双喷泵剖面图。
图7为半导体致冷电解抛光减薄仪剖面图。
图中1.泵体2.磁性转子3.泵盖4.喷头5.薄壁园筒6.光敏元件7.容器8.致冷电源9.上箱盖10.散热器11.半导体致冷电堆12.冷阱阱口13.玻璃片14.盖板15.试样压杆16.试样夹17.薄片试样18照明光源19.冷阱阱芯20.测温头21.保温填料22.磁钢23.阱芯托板24.电机25.隔板26.箱侧板27.下箱壳28.电机调速电源29.底板30.底脚31轴台32.约束孔33.回流孔本发明的实施例图7为半导体致冷电解抛光减薄仪的冷阱及其安放在冷阱中的磁力驱动双喷电解减薄器。电解液的双喷则由约束式磁力驱动泵供给。
半导体冷阱由冷阱阱芯19、半导体致冷电堆11、散热器10、测温头20、冷阱阱口12等组成。冷阱阱芯19可由无磁不锈钢或铝制成。阱芯外壁接阴极。半导体致冷电堆11可选用型号为BZT3-11722三级致冷器件。散热器10为水箱。测温头20为热敏电阻。
磁力驱动装置所用的电机24可选ND-D无级变速可逆电机。磁钢22为永久磁铁,它固定在电机24的轴上。磁性转子2为十字型带轴台的磁性搅拌子。容器7为无磁不锈钢杯,内盛电解液,薄壁园筒5套住双喷减薄器。减薄器放入容器7后用盖板14罩住。试样夹16装卡在双喷头4的鞍槽中,用接阳极的试样压杆15压住。当电机24带动磁钢22转动时,约束式磁力泵就将容器7中的电解液从双喷头的二个小孔中喷出,射到被减薄的试样17上。接通抛光电源后,即可进行透射电镜金属薄膜试样的最终减薄。泵体1、泵盖3、喷头4、薄壁园筒5、盖板14、试样夹等都用耐蚀的PVC塑料制造。
将双喷电解减薄器从冷阱中取出,放进如图1所示的单喷泵,在薄壁园筒5中的盖板14换成开有窗孔的试样托盘,窗孔上放上被抛光的金相试样,并用压杆15压住,开动磁力驱动泵容器中的电解液就从喷头4喷射到金相试样的被抛光面上,接通抛光电源后就可以进行金相试样的喷射式电解抛光。
权利要求1.一种主要用于金相试样电解抛光仪和透射电镜金属膜试样电解减薄仪以及腐蚀性液体输送的约束式磁力驱动泵,它主要由泵体1、泵盖3、磁性转子2、喷头4和驱动装置组成,其特征在于a.磁性转子2的中部有一个园柱轴台31,轴台长度为12,轴台外径为d2;b.泵体1底部中心加工有一个约束孔32,其孔径为D2,孔壁厚度为B;c.当磁性转子的直径为d1,转子中间轴台31的外径d2与轴台长12,与约束孔32的孔径D2、孔壁厚B之间的尺寸关系,同时满足方程(1)、(2)d2≥d1+2B (1)D22-122≤ 1/2 (d22-d21) (2)
专利摘要一种主要用于金相试样电解抛光仪和透射电镜金属薄膜试样电解减薄仪以及腐蚀液体输送的约束式磁力驱动泵。该泵采用正置式带约束孔的泵体,有轴台的磁性转子。磁性转子的轴台搁置在泵体泵腔底部的约束孔上,由孔壁支承并约束其转动。这种结构可以克服磁力驱动泵因制造或装配精度不高而引起的转子串跳现象,使其起动灵便和运转稳定。
文档编号F04B15/00GK2031454SQ8821908
公开日1989年1月25日 申请日期1988年5月21日 优先权日1988年5月21日
发明者张伯承 申请人:江苏工学院
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