真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法与流程

本发明涉及真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法，涉及如下真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法，前述真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法为，能够对检测出旋转体与定子的接触时的接触的原因进行解析，能采取适当的处理。

背景技术：

伴随着近年的电子产品的发展，存储器以及集成电路等半导体的需求急剧地增大。

以向纯度非常高的半导体基板涂布杂质而赋予其电气的性质、或者借助蚀刻在半导体基板上形成细微的回路等方式，来制造这些半导体。

并且，为了避免由于空气中的灰尘等导致的影响，这些作业需要在高真空状态的腔内进行。对于该腔的排气，一般使用真空泵，特别是由于残留气体较少并且保养容易等方面，多使用作为真空泵中的一种的涡轮分子泵。

此外，在半导体制造工序中，存在多个使各种工艺气体作用于半导体的基板的工序，涡轮分子泵不仅用于使腔内成为真空，还用于将这些工艺气体从腔内排出。

该分子泵的以高速旋转的旋转翼等旋转体与定子的间隙非常小。因此，在排气的凝固成分等的固体生成物在真空泵的内部堆积的情况下，或者在旋转体由于蠕变现象产生变形的情况下，或者在保护轴承的磨损已发展的情况下等，存在旋转体与定子接触的可能。

若不对这样的旋转体与定子的接触的状态进行维修（彻底检修）而置之不理，则存在产生重大故障的可能。

因此，以往使用专利文献1所记载的技术来预测维修的时间。接着，在适当的时间推动维修的执行，从而将防止涡轮分子泵达到不能再利用的状态防范于未然。

专利文献1：日本特许第3457353号公报。

专利文献2：wo2010/007975号公报。

但是，在专利文献1所记载的技术中，不能判别下述振动振幅的增加的差异：由于旋转体的随着时间推移的不平衡增大导致的振动振幅的增加、由于旋转体与定子的物理性的接触导致的振动振幅的增加。

此外，不能将下述振动振幅的增加进行区别：由于连接泵的真空阀的开闭等所伴随的机械性的振动而导致的、或由于对于泵或者连接泵的真空容器等装置施加的外部冲击（外部干扰）而导致的振动振幅的增加、由于旋转体与定子的物理性的接触导致的振动振幅的增加。

因此，在专利文献2中，为了准确地精度良好地检测固体生成物的堆积量达到旋转体与定子的间隙的情况，使用安装于定子的加速度传感器等振动传感器来判定旋转体与定子的接触。而且，由此，精度良好地检测出旋转体与定子的物理性的接触。

但是，在根据专利文献2的方法中，还存在下述问题：为了提高来自定子的振动信号的可靠性，不得不采取使用带通滤波器、弹性部件的固定方法。

技术实现要素：

本发明是鉴于这样的以往的问题而作出的，其目的在于提供一种真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法，其能够对检测出旋转体与定子的接触时的接触原因进行解析并且采取适当的处理。

因此，本发明（技术方案1）是真空泵的发明，构成为具备：旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；旋转体位移用阈值，对于前述位移的信号而设定；接触判定机构，将前述位移的信号超过前述旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻；保存机构，保存前述位移的信号；旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。

对接触推定时刻之前的位移信号是否超过了旋转体保存位移用阈值进行判断，从而在不设置振动传感器的情况下仅用位移信号判别接触。即，若位移信号的值在接触推定时刻之前的既定时间内，超过了旋转体保存位移用阈值，则判断成是由于旋转体的不平衡量增加或者外部冲击导致的接触，而不是由于生成物的堆积增加导致的接触。

根据以上所述，能够在不追加振动传感器、弹性部件的情况下，掌握旋转体与定子的物理性的接触状况。此外，能了解是由于哪种原因产生了该接触。能通过了解原因而采取适当的处理。

此外，本发明（技术方案2）是真空泵的发明，构成为具备：固定部物理量检测机构，将固定部的物理量作为信号进行检测；固定部物理量用阈值，对于前述物理量的信号而设定；接触判定机构，将前述物理量的信号超过前述固定部物理量用阈值时判定为接触推定时刻；旋转体位移检测机构，将旋转体的位移作为信号进行检测；保存机构，保存前述位移的信号；旋转体保存位移用阈值，对于在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号而设定；异常原因推定机构，根据在前述保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过前述旋转体保存位移用阈值，来推定接触的原因。

将固定部的物理量的信号超过固定部物理量用阈值时判定为接触推定时刻。固定部的物理量的信号例如是固定部的位移、速度、加速度等。

在借助振动传感器检测出固定部的加速度的情况下，能够利用该加速度信号和由位移传感器检测的位移信号，来高精度地掌握旋转体与定子的物理性的接触状况。因此，能够掌握由于生成物堆积导致的彻底检修的适当的时机。能通过了解原因而采取适当的处理。

进而，本发明（技术方案3）是真空泵的发明，其特征在于，前述固定部的物理量是前述固定部的加速度或者作用于前述固定部的力。

进一步地，本发明（技术方案4）是真空泵的发明，其特征在于，前述固定部的物理量是下述物理量：相当于对前述固定部的加速度以既定次数进行微分或者积分后的结果。

进一步地，本发明（技术方案5）是真空泵的发明，其特征在于，前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述位移的信号没有超过前述旋转体保存位移用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。

进而，本发明（技术方案6）是真空泵的发明，其特征在于，具备：保存机构，保存前述物理量；固定部保存物理量用阈值，根据在该保存机构中保存的、前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号而设定；前述异常原因推定机构，在被保存于前述保存机构的前述接触推定时刻之前的前述物理量的信号没有超过前述固定部保存物理量用阈值的情况下，来推定由于外部冲击或者生成物堆积导致的接触。

进一步地，本发明（技术方案7）是真空泵的发明，其特征在于，至于在前述接触推定时刻之后，基于前述旋转体和与该旋转体相对的固定部的间隙量或者是以该间隙量为基础来确定的既定值，以及和与前述旋转体的位移的最大值的差，来将前述接触的原因推定为生成物堆积。

根据以上所述，能够将接触的原因推定为生成物堆积。因此，能够掌握由于生成物堆积导致的彻底检修的适当的时机。能通过了解原因而采取适当的处理。

进一步地，本发明（技术方案8）是真空泵的发明，其特征在于，根据下述次数推定前述接触的原因：被保存于前述保存机构的、前述接触推定时刻之前的前述位移的信号，超过前述旋转体保存位移用阈值的次数。

进而，本发明（技术方案9）是真空泵的异常原因推定方法的发明，其特征在于，将旋转体的位移作为信号检测，将该位移的信号保存于保存机构，将前述位移的信号超过旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻，根据被保存于前述保存机构的、该接触推定时刻之前的前述位移的信号，是否超过旋转体保存位移用阈值，来推定前述接触的原因。

进一步地，本发明（技术方案10）是真空泵的异常原因推定方法的发明，其特征在于，将固定部的物理量作为信号检测，将该物理量的信号保存于保存机构，将前述物理量的信号超过固定部物理量用阈值时判定为接触推定时刻，根据被保存于前述保存机构的、该接触推定时刻之前的前述物理量的信号，是否超过固定部保存物理量用阈值，来推定前述接触的原因。

如以上说明那样，根据本发明，构成为具备：接触判定机构，将位移的信号超过旋转体位移用阈值时判定为接触推定时刻；异常原因推定机构，根据接触推定时刻之前的位移信号是否超过旋转体保存位移用阈值来推定接触的原因；因此，能够在不追加振动传感器、弹性部件的情况下，掌握旋转体与定子的物理性的接触状况。此外，能了解是由于哪种原因产生该接触。能通过了解原因而采取适当的处理。

附图说明

图1是涡轮分子泵的结构图。

图2是信号流程图（由于外部冲击导致而产生接触的情况）。

图3是信号流程图（由于旋转体的不平衡量增加导致而产生接触的情况）。

图4是信号流程图（由于生成物堆积导致而产生接触的情况）。

图5是示出堆积有生成物时的机械设计上的间隙与旋转体的位移的关系的图。

图6是示出无生成物堆积时的间隙与旋转体的位移的关系的图。

图7是示出堆积有生成物时的间隙和旋转体的位移的关系的图。

具体实施方式

以下，说明本发明的实施方式。将本发明的实施方式的结构图在图1中示出。在图1中，在涡轮分子泵100的圆筒状的外筒127的上端处形成有吸气口101。外筒127例如由铝、铁、不锈钢、铜等金属或者将这些金属作为成分而包含的合金等金属构成。在外筒127的内侧具备旋转体103，所述旋转体103将用于对气体进行吸引排出的多个旋转翼102a、102b、102c...以放射状并且多级的方式形成于周部，所述多个旋转翼102a、102b、102c...由涡轮机叶片形成。旋转体103例如由铝、铁、不锈钢、铜等金属或者将这些金属作为成分而包含的合金等金属构成。

在该旋转体103的中心处安装有转子轴113，该转子轴113例如借助所谓的五轴控制的磁力轴承而在空中被悬浮支承并且被位置控制。

上侧径向电磁铁104的四个电磁铁以成对的方式，被配置在转子轴113的径向的坐标轴即彼此正交的x轴与y轴上。与该上侧径向电磁铁104接近并且对应，具备由四个电磁铁构成的上侧径向传感器107。该上侧径向传感器107被构成为检测旋转体103的径向位移，并将检测出来的位移信号向未图示的控制装置传送。

在控制装置中，基于上侧径向传感器107检测出的位移信号，经由具有pid调节功能的补偿回路，对上侧径向电磁铁104的励磁进行控制，对转子轴113的上侧径向位置进行调整。

转子轴113由高导磁率材料（铁等）等形成，成为被上侧径向电磁铁104的磁力吸引。前述调整在x轴方向和y轴方向上分别独立地进行。

此外，下侧径向电磁铁105以及下侧径向传感器108被与上侧径向电磁铁104以及上侧径向传感器107同样地配置，将转子轴113的下侧的径向位置调整成与上侧的径向位置相同。

进而，轴向电磁铁106a、106b被配置成上下地隔着圆板状的金属盘111，所述金属盘111配备于转子轴113的下部。金属盘111由铁等高导磁率材料构成。被构成为，为了检测转子轴113的轴向位移而具备轴向传感器109，其轴向位移信号被传送至未图示的控制装置。

而且，轴向电磁铁106a、106b基于该轴向位移信号，经由控制装置的具有pid调节功能的补偿回路而被励磁控制。轴向电磁铁106a与轴向电磁铁106b借助磁力，将金属盘111分别向上方和下方吸引。

这样，控制装置对该轴向电磁铁106a、106b向金属盘111施加的磁力进行适当地调节，使转子轴113在轴向上磁力悬浮，将其以非接触的状态保持于空间中。

马达121具备多个磁极，所述多个磁极以包围转子轴113的方式配置成周状。各磁极被未图示的控制装置控制，以便经由作用于各磁极与转子轴113之间的电磁力，旋转驱动转子轴113。

与旋转翼102a、102b、102c…隔着微小的空隙，配设有多个固定翼123a、123b、123c…。固定翼123例如由铝、铁、不锈钢、铜等金属或者将这些金属作为成分而包含的合金等金属构成。旋转翼102a、102b、102c…分别将排气的分子借助碰撞向下方移送，因此其被形成为从垂直于转子轴113的轴线的平面以既定的角度倾斜。

此外，固定翼123也同样被形成为从垂直于转子轴113的轴线的平面以既定的角度倾斜，并且，固定翼123朝向外筒127的内侧，被配设成与旋转翼102的级彼此不同。

并且，固定翼123的一端以嵌插于多个被堆叠的固定翼间隔件125a、125b、125c…之间的状态被支承。

固定翼间隔件125是环状的部件，例如，由铝、铁、不锈钢、铜等金属或者将这些金属作为成分而包含的合金等金属构成。

在固定翼间隔件125的外周处，隔着微小的空隙地固定有外筒127。在外筒127的底部配设基部129，在固定翼间隔件125的下部与基部129之间配设有带螺纹间隔件131。并且，在基部129中的带螺纹间隔件131的下部形成有排气口133，与外部连通。

带螺纹间隔件131是由铝、铜、不锈钢、铁或者将这些金属作为成分的合金等金属构成的圆筒状的部件，在其内周面上刻设有多条螺旋状的螺纹槽131a。

螺纹槽131a的螺旋的方向是下述方向：在排气的分子向旋转体103的旋转方向移动时，该分子被向排气口133侧移送。

在与旋转体103的旋转翼102a、102b、102c…连续的最下部处，旋转圆筒102d垂下。该旋转圆筒102d的外周面为圆筒状，并且朝向带螺纹间隔件131的内周面伸出，与该带螺纹间隔件131的内周面隔着既定的间隔地接近。

基部129是构成涡轮分子泵100的基底部的圆盘状的部件，一般而言，由铁、铝、不锈钢、铜等金属构成。

基部129物理性地保持涡轮分子泵，并且兼具热传导通路的功能，因此，优选使用铁、铝或铜等具有刚性并且热传导率也高的金属。

在上述结构中，若旋转体103被马达121驱动而与转子轴113一同旋转，则借助旋转翼102与固定翼123的作用，通过吸气口101，对来自腔的排气进行吸气。

由吸气口101吸入的排气穿过旋转翼102与固定翼123之间，被向基部129移送。此时，由于在排气与旋转翼102接触或者碰撞时产生的摩擦热、和由马达121产生的热的传导和辐射等，旋转翼102的温度上升，而该热利用借助辐射或者排气的气体分子等进行的传导，向固定翼123侧传递。

固定翼间隔件125在外周部彼此接合，将固定翼123从旋转翼102接收到的热、和排气与固定翼123接触或者碰撞时产生的摩擦热等，向外筒127和带螺纹间隔件131传递。

被移送至带螺纹间隔件131的排气被螺纹槽131a引导，同时被向排气口133传送。

此外，用定子柱122覆盖电气设备部的周围，使得从吸气口101吸引来的气体不会进入由马达121、下侧径向电磁铁105、下侧径向传感器108、上侧径向电磁铁104、上侧径向传感器107等构成的电气设备部侧，该电气设备部内借助吹扫气体保持为既定压。

在此，前述的排气的凝固成分等的固体生成物在排气口133附近的温度较低的部分，尤其是在图1中用圆形虚线框示出了范围的旋转圆筒102d以及带螺纹间隔件131附近，处于容易凝固、附着的状态。

此外，在图1中，加速度传感器等振动传感器201被埋设于带螺纹间隔件131或者基部129中。但是，如后所述，可以省略该振动传感器201。

接着，对于旋转翼与定子的物理性的接触的形态进行说明。

如前所述，在旋转翼102与包括带螺纹间隔件131和固定翼123的定子部分物理性地接触的情况下，主要存在三种形态。

（第一形态：由于外部冲击导致的接触）

第一形态是由于外部冲击而产生接触的情况。外部冲击经由外筒127、基部129、定子柱122、磁力轴承104、105、106的磁力支承而向旋转体103侧传递。振动被像这样地传递至旋转体103侧，是因为考虑到，上侧径向传感器107、下侧径向传感器108、轴向传感器109对转子轴113与定子间的相对位移进行检测，定子的振动追随于外部冲击。

并且，在由于外部冲击导致的振动传递至泵的情况下，如图2的信号流程图（a）所示，位移信号在该振动开始向旋转体103侧传递的、超过了旋转体接触判定用阈值b1（相当于旋转体位移用阈值）的时刻（1）附近，急剧地增大。在此，旋转体接触判定用阈值b1是为了判定旋转体103的接触推定时刻而设置的阈值。在此，接触推定时刻意味着具有实际上已接触的可能性的时刻。此外，不平衡量增加判定用阈值a1（相当于旋转体保存位移用阈值）是为了判定旋转体103的不平衡量而设置的阈值。位移信号是用上侧径向传感器107、下侧径向传感器108、轴向传感器109检测出的信号。

另一方面，图2的信号流程图的加速度信号（b）是用振动传感器201检测出来的信号，比位移信号侧的超过旋转体接触判定用阈值b1的接触推定时刻（1）更早地，作为定子侧的振动抽出（时刻（2）附近）成为接触的原因的振动。并且，该振动的大小超过不平衡量增加判定用阈值a2。此外，利用由振动传感器201检测出的信号超过了旋转体接触判定用阈值b2（相当于固定部物理量用阈值）这一情况，也能判断旋转体103与定子侧接触（时刻（1）附近）。

在此，旋转体接触判定用阈值b2是，为了根据借助振动传感器201检测的信号判定旋转体103的接触推定时刻而设置的阈值，不平衡量增加判定用阈值a2是，为了根据借助振动传感器201检测的信号来判定旋转体103的接触是否是由于不平衡量增加导致的接触而设置的阈值。

（第二形态：由不平衡量增加导致的接触）

第二形态是由于旋转体的不平衡量增加而产生接触的情况。例如，在旋转体103侧，由于旋转体随着时间的推移的变化等原因，旋转体103产生不平衡量增加，在此情况下，如图3的信号流程图（a）所示，从超过旋转体接触判定用阈值b1的接触推定时刻（1）之前开始，位移信号连续地较大幅度地变动。并且，在接触推定时刻（1）附近处进一步地增加。并且，该振动的大小还超过不平衡量增加判定用阈值a1。

另一方面，由于不平衡量增加导致的位移量增加在到接触前为止，对于向定子赋予的振动几乎没有影响，所以图3的信号流程图的加速度信号（b）没有超过不平衡量增加判定用阈值a2。

（第三形态：由于生成物堆积导致的接触）

第三形态是由于生成物堆积而产生接触的情况。

在定子侧堆积有生成物的情况下，如图4的信号流程图（a）所示，位移信号急剧变化并超过旋转体接触判定用阈值b1。另一方面，由于生成物堆积导致的接触在到接触前为止，对于向定子赋予的振动几乎没有影响，因此图4的信号流程图的加速度信号（b）没有超过不平衡量增加判定用阈值a2。

实施例1

对判别旋转翼与定子的物理性的接触的方法进行说明。首先，对在定子上设置振动传感器201、并且利用位移信号与加速度信号双方来判别接触的情况进行说明。

对于位移信号与加速度信号，预先将从接触推定时刻（1）到其之前例如100ms左右的数据保存。

数据保存时间是根据转速（例如，20,000~60,000rpm）设定的值，优选地设定成能够取得接触判定前至少十个周期的量的信号数据的时间。

接触判定用关于位移信号的旋转体接触判定用阈值b1、和关于加速度信号的旋转体接触判定用阈值b2来进行。此外，关于旋转体103的不平衡量的判定，用关于位移信号的不平衡量增加判定用阈值a1、和关于加速度信号的不平衡量增加判定用阈值a2来进行。

而且，如果在位移信号与加速度信号任一方中，在判定为接触推定时刻（1）前的既定时间（例如100ms）内，超过了不平衡量增加判定用阈值a1或者不平衡量增加判定用阈值a2，则判断为不是由于生成物堆积导致的接触。

（实施例1-1：由于外部冲击导致的接触的判定）

在此情况下，还能够进一步地将下述情况判定为图2所示的由于外部冲击导致的振动：在位移信号超过不平衡量增加判定用阈值a1的情况下，加速度信号超过不平衡量增加判定用阈值a2。

（实施例1-2：由于不平衡量增加导致的接触的判定）

此外，还能将下述情况判定成图3所示的由于不平衡量增加导致的振动：在位移信号超过了不平衡量增加判定用阈值a1的状况下，加速度信号没有超过不平衡量增加判定用阈值a2。

（实施例1-3：由于生成物的堆积增加导致的接触的判定）

另一方面，如果在该既定时间内，任一个都没有超过不平衡量增加判定用阈值a1或者不平衡量增加判定用阈值a2，则判断为由于生成物的堆积增加导致的接触。

根据以上所述，能够利用由振动传感器201检测的加速度信号、和由上侧径向传感器107、下侧径向传感器108、轴向传感器109检测的位移信号，高精度地掌握旋转体103与定子的物理性的接触状况。此外，能了解由于哪种原因而产生了该接触。

实施例2

接着，对于不设置振动传感器201而仅利用位移信号来判别接触的方法进行说明。

在此情况下，接触推定时刻的判定仅用关于位移信号的旋转体接触判定用阈值b1来进行。

（实施例2-1：由于外部冲击或者不平衡量增加导致的接触的判定）

如果位移信号在接触推定时刻（1）之前的既定时间（例如100ms）内，超过了不平衡量增加判定用阈值a1，则判断成：是第一形态即由于外部冲击导致的接触、或者是第二形态即由于旋转体的不平衡量增加导致的接触，而不是由于生成物的堆积增加导致的接触。

（实施例2-2（a）：由于生成物的堆积增加导致的接触的判定1）

另一方面，若在接触推定时刻（1）之前的既定时间（例如100ms）内，没有超过不平衡量增加判定用阈值a1，则判断为第三形态即由于生成物堆积导致的接触。

进而，能够通过将不平衡量增加判定用阈值a1设成能够区别外部冲击与旋转体的不平衡量增加的值，来判定接触是由于外部冲击与旋转体的不平衡量增加的哪一个导致的接触。

例如，能够通过将用于不平衡量增加的判定的不平衡量增加判定用阈值a1设定成较大的值（旋转体接触判定用阈值b1的附近）等，来判定是否是下述旋转体位移，所述旋转体位移连续地重复较大幅度的振幅，能够判定为由于不平衡量的增加导致的接触。

此外，在外部冲击的情况下，考虑到：如图2所示，振幅在接触判定前急剧地增加，因此能够通过将接触判定前的既定期间的超过不平衡量增加判定用阈值a1的次数进行比较等，来进行特定。

具体而言，考虑到在产生了不平衡量增加的情况下，在接触推定时刻（1）之前的既定时间内，几乎全部的位移信号的峰值超过不平衡量增加判定用阈值a1，因此能够想到其显著多于下述次数：外部冲击的情况下的位移信号超过不平衡量增加判定用阈值a1的次数。

（实施例2-2（b）：由于生成物的堆积增加导致的接触的判定2）

接着，对于利用其他方法的、在不设置振动传感器201的情况下对以下接触进行区别的方法进行说明，所述接触分别为，作为第一形态的由于外部冲击导致的接触、作为第二形态的由于不平衡量增加导致的接触、作为第三形态的由于生成物堆积导致的接触。

在图5中示出堆积有生成物时的机械设计上的间隙与旋转体的位移的关系。图1中用圆形虚线框示出的范围的旋转圆筒102d以及带螺纹间隔件131附近被认为是生成物最容易堆积的部分，因此，例如，设成对于该部分，已设定了旋转体能够移动的机械设计上的间隙，以下进行说明。

原本，如果生成物没有附着于带螺纹间隔件131，则如图6所示，旋转体103的位移x应该能够在整个间隙中振动。即，若将上述间隙的大小设成xd（相当于间隙量），则旋转体103的最大位移x=间隙xd。

但是，在接触推定时刻（1）之后，如图5以及图7所示，存在位移x不能到达xd、在x1（比间隙xd小）实际上发生接触的情况。这是尽管在机械设计上为存在间隙的状态，但是已产生了接触的状态，能够想到其原因是由于生成物附着导致的间隙减小。这样，借助机械设计上的间隙与实际的振动量的比较，能够判断是否是与生成物的接触。此时，不仅可以使用机械设计上的间隙，还可以使基于机械设计上的间隙设定的既定值（例如，机械设计上的间隙的90%左右）或对生成物的堆积量进行推定而设定的既定值，来进行与实际的振动量的比较。

此外，此时的生成物的堆积量δx能够用δx=xd-x1推定。

此外，即使在因为生成物附着于旋转体103侧所以不平衡量增加的情况下，也能同样地用机械设计上的间隙与实际的振动量的比较来判断是否是由于生成物导致的接触。

此外，如在实施例2中说明的那样，即使在有来自外部的振动的情况下，磁力轴承的位移传感器也实时地对旋转体103与定子的相对位移进行检测，所以能够通过机械设计上的间隙与实际的振动量的比较，进行判断。

而且，在由于外部冲击与不平衡量的增加导致的接触推定时刻的判别中，利用由于在旋转体103与定子之间产生的相对位移而产生的振幅来进行判断，因此与磁力轴承的刚性无关，无论刚性高还是低，都能进行判断。

此外，作为进行接触的固定部，记载了以带螺纹间隔件为例的说明，但关于固定部，不限于此，例如，也存在被用作磁力轴承的支承用的保护轴承的情况。

根据以上说明，即使不设置振动传感器201，也能够通过对由原本配设于磁力轴承的上侧径向传感器107、下侧径向传感器108、轴向传感器109检测的位移信号进行解析，掌握旋转体103与定子的物理性的接触状况。此外，能了解由于哪种原因产生了该接触。

附图标记说明

100涡轮分子泵，102旋转翼，103旋转体，104上侧径向电磁铁，105下侧径向电磁铁，106a、106b轴向电磁铁，107上侧径向传感器，108下侧径向传感器，109轴向传感器，113转子轴，121马达，122定子柱，123固定翼，125固定翼间隔件，201振动传感器。