一种复合分子泵的制作方法

文档序号:16103691发布日期:2018-11-30 18:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种复合分子泵,其特征在于:包括泵壳、机芯壳体、转轴、转子和定子,所述机芯壳体的上端敞口,所述转子套设于所述机芯壳体的上部,所述转轴竖直设于所述机芯壳体内且所述转轴的上端与所述转子连接,用于带动所述转子转动,所述机芯壳体的上部的外周设有第一导流槽以形成第一牵引级定子,所述第一导流槽的上端与所述机芯壳体的内部连通;

所述转子包括位于上部的涡轮级转子和位于下部的牵引级转子,所述牵引级转子与所述第一牵引级定子对应设置,且所述牵引级转子的外周设有第二导流槽;

所述定子套设于所述转子上,且所述定子包括第一牵引级定子、与所述涡轮级转子对应设置的涡轮级定子和与所述牵引级转子对应设置的第二牵引级定子;

所述泵壳套设于所述定子上,且所述泵壳的上端设有进气口,所述泵壳的侧壁上设有出气口,所述出气口与所述第一导流槽及第二导流槽连通。

2.根据权利要求1所述的复合分子泵,其特征在于:所述第一导流槽和所述第二导流槽均为螺旋形导流槽。

3.根据权利要求2所述的复合分子泵,其特征在于:所述出气口与所述第一导流槽及所述第二导流槽的下端连通。

4.根据权利要求1所述的复合分子泵,其特征在于:所述涡轮级转子的外周沿轴向依次设有多层涡轮级动片,所述涡轮级定子的外周沿轴向设有与所述涡轮级动片的层数相应的涡轮级定片,所述涡轮级定片与所述涡轮级定片沿轴向交替排列。

5.根据权利要求1所述的复合分子泵,其特征在于:所述转子沿轴向设有通孔,所述通孔的上端通过上盖板和密封圈封闭。

6.根据权利要求1所述的复合分子泵,其特征在于:所述机芯壳体内设有转轴安装孔,所述转轴安装孔的孔径大于所述转轴的轴径,且所述转轴安装孔内设有径向磁轴承,所述径向磁轴承套设于所述转轴上,防止所述转轴在径向晃动,所述转轴的下端设有转动盘,所述转动盘上安装有轴向磁轴承,所述轴向磁轴承用于防止所述转轴在轴向发生窜动。

7.根据权利要求1所述的复合分子泵,其特征在于:所述转子与所述转轴通过紧固件固定。

8.根据权利要求7所述的复合分子泵,其特征在于:所述紧固件自上而下依次穿过所述转子和转轴将所述转子和转轴固定。

9.根据权利要求6所述的复合分子泵,其特征在于:所述转轴安装孔内设有电机定子,所述电机定子与所述转轴连接,用于带动所述转轴转动。

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