一种三腔滑片式真空泵的制作方法

技术特征：

1.一种三腔滑片式真空泵，包括：吸气端盖(1)、泵腔(2)、滑片(3)、转子(4)和排气端盖(5)，其特征是：吸气端盖(1)、泵腔(2)、排气端盖(5)与转子(4)之间形成三个完全相同的工作腔，包括：第一工作腔(201)、第二工作腔(202)、第三工作腔(203)，所述的三个工作腔关于回转中心O点成120°旋转对称；所述的泵腔(2)的内腔型线由6条曲线组成，包括：第一复合函数曲线ab、第一过渡曲线bc、第二复合函数曲线cd、第二过渡曲线de、第三复合函数曲线ef和第三过渡曲线fa，各段相邻曲线之间光滑过渡，泵腔(2)的内腔型线在任意位置处满足二阶导数连续；泵腔(2)的内腔型线是不对称的，即不存在通过回转中心O点的中心线使泵腔(2)的内腔型线关于其成轴对称；所述的三个工作腔均为不对称工作腔；所述的第一复合函数曲线ab、第二复合函数曲线cd和第三复合函数曲线ef完全相同，中心角均为α；所述的第一过渡曲线bc、第二过渡曲线de和第三过渡曲线fa完全相同，中心角均为β，且满足β∈[π/36,π/12]，α+β＝2π/3。

2.根据权利要求1所述的一种三腔滑片式真空泵，其特征是：所述的泵腔(2)的内腔型线的方程为：

①第一复合函数曲线ab的方程为：

其中：Z—工作腔数，Z＝3；R1—泵腔内腔型线内切圆半径，mm；R2—泵腔内腔型线外接圆半径，mm；

②第一过渡曲线bc的方程为：

其中，c0、c1、c2、c3、c4、c5—常数，由以下方程组确定：

③第二复合函数曲线cd的方程为：

④第二过渡曲线de的方程为：

⑤第三复合函数曲线ef的方程为：

⑥第三过渡曲线fa的方程为：

以上：t—角度参数，rad。

3.根据权利要求1所述的一种三腔滑片式真空泵，其特征是：所述的转子(4)上对称开设有10条具有一定倾斜角度的滑槽，与其相匹配的滑片(3)的数量为10。

4.根据权利要求1所述的一种三腔滑片式真空泵，其特征是：所述的三腔滑片式真空泵具有单侧进气、单侧排气结构，所述的吸气端盖(1)开设3个吸气孔，包括：第一吸气孔(101)、第二吸气孔(102)和第三吸气孔(103)，任意两个吸气孔形状相同，相位角相差120°；所述的排气端盖(5)上开设3个排气孔，包括：第一排气孔(501)、第二排气孔(502)和第三排气孔(503)，任意两个排气孔形状相同，相位角相差120°。