技术特征：
技术总结
本发明属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机，整体由套筒、上盖、上板、下板、下盖、第一驱动组块、第二驱动组块、第三驱动组块、密封圈、冷却套组成；上盖的下端面与上板的上端面之间安装有第一驱动组块，上板的下端面与下板的上端面之间安装有第二驱动组块，下板的下端面与下盖的上端面之间安装有第三驱动组块；所述第一驱动组块包括三个第一压电振子，第二驱动组块包括两个第二压电振子，第三驱动组块包括一个第三压电振子。特色及优势：通过各驱动组块内腔体个数递减的方式实现气体累积增压，在工作上能同时实现大流量和大压力，且整体由压电振子、单向阀以及盖板组成结构简单，成本低。
技术研发人员：陈松;俞迈;罗罕频;何力钧
受保护的技术使用者：浙江师范大学
技术研发日：2019.03.03
技术公布日：2019.06.07