风机检测结构和风机装置的制作方法

1.本公开属于风冷设备检测技术领域，具体涉及一种风机检测结构和风机装置。


背景技术：

2.在半导体的制造过程中，需要经过多步工艺，例如初次氧化、化学气相沉积镀膜、化学机械研磨、光刻、退火、离子注入等。而在这些工艺中常常需要用到高温炉或者氧化扩散炉。其中，高温炉或者氧化扩散炉上均设有用于排热的风机装置，为保证风机装置正常工作，因此，需要检测人员定期爬上高温炉或者氧化扩散炉以对风机装置进行巡检，以确认风机装置是否正常工作，但该检测方法大量浪费人工，效率低，且检测人员爬上高温炉或者氧化扩散炉会存在安全隐患。


技术实现要素：

3.本公开的目的在于提供一种风机检测结构和风机装置，能够及时检测风机的工作情况，且提高了检测效率。
4.本公开第一方面提供了一种风机检测结构，包括：
5.支架；
6.转动件，活动连接在所述支架上，所述转动件的至少部分朝向风机的出风口设置，所述转动件的转动量与所述出风口的风速对应设置；
7.检测元件，设置于所述转动件和/或所述支架上，用于检测所述转动件的转动量，以确定所述出风口的风速。
8.在本公开的一种示例性实施例中，所述转动件具有依次排布的主动部、中间连接部和从动部，所述主动部与所述出风口相对设置，所述中间连接部与所述支架进行转动连接，所述从动部与所述出风口错位设置。
9.在本公开的一种示例性实施例中，所述检测元件设置于所述从动部上和所述支架上。
10.在本公开的一种示例性实施例中，所述检测元件包括触发部和感应部，所述触发部连接在所述从动部上，所述感应部连接在所述支架上，其中，
11.所述触发部与所述感应部之间的间距大于一预设值时，所述感应部不会接收到感应信号；
12.所述触发部与所述感应部之间的间距小于或等于所述预设值时，所述感应部能够接收到感应信号。
13.在本公开的一种示例性实施例中，所述触发部为磁吸件，所述感应部为干簧管，其中，
14.所述磁吸件与所述干簧管之间的间距小于所述预设值时，所述干簧管内的两电极簧片相断开；
15.所述磁吸件与所述干簧管之间的间距大于或等于所述预设值时，所述干簧管内的
两电极簧片导电连接。
16.在本公开的一种示例性实施例中，所述检测元件包括光发射器、光接收器和检测盘，所述光发射器与所述光接收器连接在所述支架上，所述检测盘可转动地连接在所述支架上，并能够随着所述从动部转动，其中，
17.所述检测盘上设有多个通光孔，各所述通光孔绕着所述检测盘的圆心设置；
18.所述光发射器发射出的光信号通过所述通光孔后，所述光接收器能够接收到所述光信号。
19.在本公开的一种示例性实施例中，所述从动部与所述支架之间设有弹性限位件。
20.在本公开的一种示例性实施例中，所述主动部包括挡风顶板和挡风侧板，所述挡风侧板倾斜连接在所述挡风顶板靠近所述出风口的一侧，所述挡风侧板与所述挡风顶板之间形成夹角α，90
°
＜α≤160
°
；和/或，
21.所述主动部除了与所述中间连接部相接的一侧之外的其余侧均设置有所述挡风侧板。
22.在本公开的一种示例性实施例中，所述支架包括第一安装座和固定板，所述转动件转动连接于所述第一安装座的顶部，所述固定板连接于所述第一安装座的侧周部上，并凸出于所述第一安装座设置，所述固定板相对于所述第一安装座的底部更靠近于所述第一安装座的顶部，其中，
23.所述支架通过所述第一安装座的底部与所述风机固定连接；或者，
24.所述支架通过所述固定板与所述风机固定连接。
25.本公开第二方面提供了一种风机装置，包括风机以及上述的风机检测结构，所述风机检测结构连接在所述风机的外壳上。
26.本公开方案的有益效果：
27.本公开通过将转动件转动连接在支架上，且转动件的至少部分朝向风机的出风口设置，这样使得转动件的转动量会受风机的风速影响；而检测元件设置于转动件和/或支架上，用于检测转动件的转动量，若检测到转动件的转动量达到设定值时(例如，风机正常工作的风速为a时，而转动件对应风速为a时的转动量为b，那么检测元件检测到转动件的转动量大于b时)，则证明风机正常工作；若转动件的转动量小于设定值(例如，风机正常工作的风速为a时，而转动件对应风速为a时的转动量为b，那么检测元件检测到转动件的转动量小于b时)，则说明转动件基本处于静止状态，则证明风机不工作或者产生的气流较小，风机出现了故障，因此，本技术利用此风机检测结构对风机进行检测，代替了人工巡检，提高了效率，且能够更及时的发现风机的异常情况。
28.本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。
29.应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
30.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开
的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
31.图1示出了本公开实施例一所述的风机检测结构的立体结构示意图；
32.图2示出了本公开实施例一所述的支架的放大结构示意图；
33.图3示出了本公开实施例一所述的转动件的放大结构示意图；
34.图4示出了本公开实施例二所述的风机检测结构的立体结构示意图；
35.图5示出了本公开实施例二所述的风机检测结构的俯视结构示意图；
36.图6示出了本公开实施例三所述的风机装置的立体结构示意图。
37.附图标记说明：
38.10、风机检测结构；11、支架；111、固定板；112、第一安装座；1121、第一安装板；1122、第二安装板；1123、第三安装板；1124、第四安装板；113、第二安装座；12、转动件；121、主动部；1211、挡风顶板；1212、挡风侧板；122、中间连接部；1221、连接板；1222第一耳板；1223第二耳板；123、从动部；13、检测元件；131、触发部；132、感应部；133、检测盘；134、光发射器；14、弹性限位件；20、风机。
具体实施方式
39.现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。
40.在本公开中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
41.此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本公开的各方面。
42.实施例一
43.请参照图1至图3所示，本公开实施例提供了一种风机检测结构10，包括支架11、转动件12和检测元件13。
44.其中，转动件12活动连接在支架11上，转动件12的至少部分朝向风机20的出风口设置，转动件12的转动量与出风口的风速对应设置；检测元件13设置于转动件12和/或支架11上，用于检测转动件12的转动量，以确定出风口的风速。
45.在本公开的实施例中，通过将转动件12转动连接在支架11上，且转动件12的至少部分朝向风机20的出风口设置，这样使得转动件12的转动量会受到风机20的风速(也可理解为气流)影响，而检测元件13设置于转动件12和/或支架11上，以用于检测转动件12的转动量。当转动件12受到风机20出风口的风速影响下发生转动，且转动量达到设定值时(例如，风机20正常工作的风速为a时，而转动件12对应风速为a时的转动量为b，那么检测元件
13检测到转动件12的转动量大于b时)，则证明风机20正常工作；当转动件12的转动量小于设定值时(例如，风机20正常工作的风速为a时，而转动件12对应风速为a时的转动量为b，那么检测元件13检测到转动件12的转动量小于b时)，说明转动件12基本处于静止状态，可以判断风机20不工作或者风机20产生的风量较小，即：风机20出现故障，本方案通过风机检测结构10对风机20的状态进行检测，代替了人工巡检，提高了效率，且能够更及时的发现风机20的异常情况。
46.在本实施例中，转动件12具有依次排布的主动部121、中间连接部122和从动部123，主动部121与出风口相对设置，中间连接部122与支架11进行转动连接，从动部123与出风口错位设置，其中，检测元件13设置于从动部123上和/或支架11上，并用于检测转动件12的转动量，以确定出风口的风速。
47.应理解的是，由于转动件12的主动部121与出风口相对设置，从动部123与出风口错位设置，且中间连接部122也可与出风口错位设置。因此，基本只有主动部121会遮挡风机20的出风，相比整个转动件12设置在出风口的正上方，本实施例的转动件12对风机20的出风效果影响较小，不会妨碍风机20的散热功能。
48.此外，转动件12的初始状态为，主动部121相对风扇的垂直高度小于从动部123相对风扇的垂直高度。例如：当转动件12位于风扇上方的一水平面时，主动部121与该水平面的间距小于从动部123与该水平面的间距。
49.进一步地，转动件12在厚度均匀且材质相同时，主动部121的宽度为中间连接部122以及从动部123的两倍，而中间连接部122与从动部123的宽度相同；且中间连接部122与从动部123的总长度可以是与主动部121的长度相等，中间连接部122与支架11的转动连接位置靠近主动部121，且可以是转动连接在中间连接部122与从动部123的总长度的三分之一处。以此使得转动件12在风机20产生的气流下能够顺利的发生转动，避免主动部121与从动部123两者之间的重力悬差过大，无法使得转动件12发生预期的转动效果。
50.可选地，转动件12的整体厚度为0.3-0.85mm，例如为0.4mm、0.5mm或0.8mm，且转动件12采用不锈钢材料制成。其中，中间连接部122与从动部123的总长度为30-50mm，例如为35mm、40mm或45mm；中间连接部122与从动部123的宽度均为9-14mm，例如为10mm、11mm或13mm。
51.进一步地，中间连接部122包括连接板1221、第一耳板1222和第二耳板1223，第一耳板1222和第二耳板1223垂直连接在连接板1221的两个相对侧上。其中，第一耳板1222和第二耳板1223均设有轴孔。对应地，支架11上连接有可转动的转轴，转轴分别穿过第一耳板1222和第二耳板1223的轴孔，且转轴与轴孔的孔壁固定连接。进而使得转动件12绕着该转轴发生转动，以保证转动件12的转动路径。
52.在本实施例中，如图3所示，主动部121包括挡风顶板1211和挡风侧板1212，挡风侧板1212倾斜连接在挡风顶板1211靠近出风口的一侧，挡风侧板1212与挡风顶板1211之间形成夹角α，α为钝角。
53.应理解的是，通过将挡风侧板1212倾斜连接在挡风顶板1211靠近出风口的一侧，相比挡风侧板1212直接平行连接在挡风顶板1211的侧边，能够在增加整个主动部121的受力面积的情况下，尽量减小主动部121对出风口的遮挡区域。
54.示例的，主动部121除了与中间连接部122相接的一侧之外的其余侧均设置有挡风
侧板1212。即挡风侧板1212包括多个，多个挡风侧板1212绕着挡风顶板1211的周向设置。
55.示例的，挡风顶板1211为正方形，挡风侧板1212为长方形，且挡风侧板1212的两端设置有半径为4-8mm的倒圆边，以使得整个主动部121的边缘光滑，不会在转动的过程中对风机20造成划痕。
56.可选地，挡风侧板1212分别为三个，三个挡风侧板1212分别设置在挡风顶板1211的三个侧边缘，另一侧边缘用于连接中间连接部122。
57.进一步地，如图3所示，挡风侧板1212与挡风顶板1211之间形成夹角α，90
°
＜α≤160
°
。以使得风机检测结构10在对风机20检测时，风机20产生的正对挡风顶板1211气流能够随着倾斜设置的挡风侧板1212导流。
58.可选地，α＝120
°
、135
°
或150
°
。
59.在本实施例中，检测元件13包括触发部131和感应部132，触发部131连接在从动部123上，感应部132连接在支架11上。
60.示例的，从动部123设有第一固定孔，触发部131通过螺栓与螺母配合连接在从动部123上，以方便更换触发部131。
61.可选地，第一固定孔为长条形孔，方便触发部131连接在从动部123上时调整位置。
62.应理解的是，触发部131与感应部132之间的间距大于一预设值时(例如，触发部131与感应部132之间的间距大于a时，触发部131不能够使得感应部132接收到感应信号)，感应部132不会接收到感应信号；触发部131与感应部132之间的间距小于或等于预设值时(例如，触发部131与感应部132之间的间距小于或等于a时，触发部131能够使得感应部132接收到感应信号)，感应部132能够接收到感应信号。
63.进一步地，触发部131为磁吸件，感应部132为干簧管。
64.其中，磁吸件与干簧管之间的间距大于预设值时(例如，磁吸件与干簧管之间的间距大于a时，磁吸件产生的磁性吸附力不足以将干簧管内的两电极簧片吸附至相接触)，干簧管内的两电极簧片相断开；磁吸件与干簧管之间的间距小于或等于预设值时(例如，磁吸件与干簧管之间的间距小于a时，磁吸件产生的磁性吸附力能够将干簧管内的两电极簧片吸附至相接触)，干簧管内的两电极簧片导电连接。
65.示例的，干簧管例如由两片磁簧片(通常由铁和镍这两种金属所组成的)密封在一管体内。而两片磁簧片呈重迭状况但中间间隔有一小空隙，当受到外来适当的磁场时，将会使两片磁簧片接触。
66.应理解的是，两电极簧片为两片磁簧片。因此，两电极簧片可以在磁吸件的作用下相接触或者间隔设置，以实现干簧管的开关作用，通过干簧管的开关作用再结合外界的通讯设备，即可远程知悉风机检测结构10的检测结果。
67.在本实施例中，支架11包括第一安装座112和固定板111，转动件12转动连接于第一安装座112的顶部，固定板111连接于第一安装座112的侧周部上，并凸出于第一安装座112设置，固定板111相对于第一安装座112的底部更靠近于第一安装座112的顶部。
68.示例的，第一安装座112包括第一安装板1121、第二安装板1122、第三安装板1123、第四安装板1124以及第二安装座113。第一安装板1121连接在第二安装板1122与第三安装板1123之间，并形成一个“u”形结构，第四安装板1124垂直固定连接在第二安装板1122远离第一安装板1121的一端，并与“u”形结构共同围城一个环状结构。且第四安装板1124与第一
安装板1121相对设置，其长度大于第一安装板1121的长度，第二安装座113固定连接在第四安装板1124远离第二安装板1122的一端，进而使得第二安装座113与第三安装板1123之间形成高差。
69.其中，转轴可转动的安装于第二安装座113上。
70.应理解的是，当第二安装座113与第三安装板1123之间形成高差，且转动件12转动连接在第二安装座113后，能够避免从动部123在随着转动件12转动时，提前与第三安装板1123发生干涉，进而使得转动件12不能转动至预期的位置。
71.进一步地，第三安装板1123上设有第二固定孔，感应部132通过螺栓与螺母配合连接在第三安装板1123上，以方便更换感应部132。
72.同样地，第二固定孔为长条形孔，方便感应部132连接在第三安装板1123上时调整位置。
73.在本实施例中，第二安装板1122设有供螺栓与螺母配合连接的第三固定孔，且第三固定孔也为长条形孔。同时，固定板111垂直连接在第四安装板1124靠近第二安装座113的一端，且固定板111与第二安装板1122形成高差，分别位于第四安装板1124的两侧。其中，支架11可以通过第二安装板1122与风机20固定连接；或者，支架11可以通过固定板111与风机20固定连接。
74.应理解的是，第二安装板1122为第一安装座112的底部；第三安装板1123为第一安装座112的顶部；第四安装板1124与第一安装板1121为第一安装座112的侧周部，而固定板111相对于整个第一安装座112凸出设置，且与第二安装板1122形成高差。能够使得风机检测结构10可以通过多部位与风机20固定，多方位与风机20固定，使得风机检测结构10与风机20的兼容性更强。
75.示例的，当风机20用于氧化扩散炉等高温炉体时，若风机20与氧化扩散炉的表面齐平时，可采用第一安装座112底部的第二安装板1122与风机20固定；若风机20凸出于氧化扩散炉的表面时，可采用第一安装座112的侧周部上的固定板111与风机20固定。进而使得该风机检测结构10的兼容性更强。
76.实施例二
77.如图4和图5所示，本实施例中的风机检测结构10与实施例一中的风机检测结构10大致相同，不同点在于检测元件13的结构以及设置方式不同。具体地：
78.在本实施例中，检测元件13包括检测盘133、相对设置的发射器134和光接收器，光发射器134与光接收器连接在支架11上，检测盘133可转动地连接在支架11上，并能够随着从动部123转动。
79.示例的，检测盘133例如为圆形光栅盘，圆形光栅盘上设有多个通光孔，各通光孔绕着检测盘133的圆心等间距设置。
80.可选地，检测盘133与支架11上的转轴固定连接，因此，当转动件12带动转轴转动时，检测盘133会随着转动件12同步转动。
81.应理解的是，当光发射器134发射出的光信号通过通光孔后，光接收器能够接收到光信号。因此，检测盘133随着转动件12同步转动，且光接收器接收到光信号后，即可实现风机检测结构10对风机20的工作情况检测。
82.其中，关于转动件12的转动方式即原理请参照实施例一，此处不再赘述。
83.进一步地，从动部123上与支架11之间设有弹性限位件14，检测盘133转动至大于一预设角度时，弹性限位件14发生弹性形变。
84.示例的，在转动件12弹性限位件14可以与从动部123或者支架11的其中之一间隔设置，进而使得转动件12最开始发生转动时所需要的驱动力较小，当弹性限位件14与从动部123和支架11均相接触后，转动件12发生转动时所需要的驱动力越来越大，以此，可以判断出风力的具体大小。
85.可选地，弹性限位件14例如为弹簧。
86.具体地，通过光接收器接收到的光信号次数进而能够判断出检测盘133的转动角度，再结合弹性限位件14发生弹性形变时所需要的风力大小，进而检测出风机20产生的风速的大小。
87.其中，关于风机检测结构10的其他结构请参照实施例一，此处不再赘述。
88.实施例三
89.如图6所示，本实施例中还提供一种风机20装置，包括风机20以及实施例一或者实施例二的风机检测结构10。
90.在本实施例中，风机检测结构10通过支架11连接在风机20的外壳上。
91.可选地，当风机20例如运用于氧化扩散炉等高温炉体。
92.其中，由于风机20用于氧化扩散炉等高温炉体后，会长期处于高温的工作环境下，因此，风机20内部需要更多的空间对其自身内部的电子元件进行散热，或者需要留有部分空间以安装其他散热功能的结构。故，风机20内部不适应安装其他风机检测结构。
93.应理解的是，当风机检测结构10通过支架11连接在风机20的外壳后，一方面不会影响风机20原有的散热效果，另一方面，还能使得整个风机检测结构10处于一个良好的通风环境中，以保证风机检测结构10的使用寿命。
94.其中，关于风机检测结构10的其他结构请参照实施例一或实施例二，此处不再赘述。
95.在本说明书的描述中，参考术语“一些实施例”、“示例地”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本公开的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
96.尽管上面已经示出和描述了本公开的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本公开的限制，本领域的普通技术人员在本公开的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，故但凡依本公开的权利要求和说明书所做的变化或修饰，皆应属于本公开专利涵盖的范围之内。