固定圆板及真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及固定圆板及真空栗。详细地说，涉及固定圆板及具备该固定圆板的真空栗，所述固定圆板具备使排气效率提高的连通孔。
【背景技术】
[0002]真空栗具备形成外装体的壳体，所述外装体具备吸气口及排气口，在该壳体的内部，收纳有使该真空栗发挥排气功能的构造物。使该排气功能得以发挥的构造物大致由旋转部(转子部)和固定部(定子部)构成，所述旋转部被旋转自如地轴支承，所述固定部被相对于壳体固定。
[0003]此外，设置有用于使旋转轴高速旋转的马达，在旋转轴借助该马达的运转而高速旋转时，通过转子翼(旋转圆板)和定子翼(固定圆板)的相互作用，气体从吸气口被吸进，从排气口被排出。
[0004]真空栗中，具有西格巴恩型结构的西格巴恩型分子栗具备旋转圆板(旋转圆盘)和与该旋转圆板在轴向上隔开间隙地设置的固定圆板，在该旋转圆板或固定圆板的至少某一个的间隙对置表面上刻设有螺旋状槽(也称为螺旋槽或漩涡状槽)流道。而且，真空栗借助旋转圆板，对扩散进入至螺旋槽流道内的气体分子施加旋转圆板切线方向(即旋转圆板的旋转方向的切线方向)的动量，由此，借助螺旋状槽赋予从吸气口向排气口占优势的方向性，进行排气。
[0005]为了在工业中利用这样的西格巴恩型分子栗或具有西格巴恩型分子栗部的真空栗，因为旋转圆板和固定圆板的层数为单层的情况下圧缩比不足，所以构成为多层化。
[0006]在此，西格巴恩型分子栗是径流栗元件，所以为了实现多层化，有必要构成为，例如以从外周部向内周部排气之后、从内周部向外周部排气、再从外周部向内周部排气的方式，从吸气口向排气口(即栗的轴线方向)在旋转圆板及固定圆板的外周端部及内周端部使流道折返来排气。
[0007]专利文献1:日本特开昭60 - 204997号。
[0008]专利文献2:日本实用新型登记公报第2501275号。
[0009]在专利文献I中，记载了下述技术:在真空栗中，在栗箱体内具备涡轮分子栗部、螺旋槽栗部、离心式栗部。
[0010]在专利文献2中，记载了下述技术:在西格巴恩型分子栗中，在各旋转圆板及静止圆板的对置面上设置方向不同的螺旋状槽。
[0011]上述现有技术方案中的气体分子(气体)的流动如下所述。
[0012]被上游西格巴恩型分子栗部移送至内径部的气体分子被排出至形成于旋转圆筒和固定圆板之间的空间。接着，被在该空间开口的下游西格巴恩型分子栗部的内径部吸引，然后被移送至该下游西格巴恩型分子栗部的外径部。在多层化的情况下，每层都重复该流动。
[0013]但是，上述空间(即形成于旋转圆筒和固定圆板之间的空间)不具有排气作用，所以借助上游西格巴恩型分子栗部向气体分子施加的朝向排气方向的动量在到达该空间时消失。
[0014]图12是用于说明以往的西格巴恩型分子栗1000的图，是表示以往的西格巴恩型分子栗1000的结构示意例的图。箭头表示气体分子的流动。
[0015]图13是用于说明配设于以往的西格巴恩型分子栗1000的固定圆板5000的图，是从吸气口 4侧观察时的固定圆板5000的剖视图。
[0016]固定圆板5000内的箭头表示气体分子的流动，固定圆板5000外的箭头表示未图示的旋转圆板的旋转方向。
[0017]另外，以下将I个(I层)固定圆板5000的吸气口 4侧称作西格巴恩型分子栗上游区域、将排气口 6侧称作西格巴恩型分子栗下游区域来进行说明。
[0018]如上所述，在西格巴恩型分子栗1000中，即使对气体分子向排气口 6施加占优势的动量，作为该气体分子的流道的内侧折返流道a (即形成于旋转圆筒10和固定圆板5000之间的空间)是没有排气作用的“连接”空间，所以已施加的动量消失。因此，由于该内侧折返流道a，排气作用中断，所以已圧缩的气体分子每次穿过该内侧折返流道a时都被释放，结果，在以往的西格巴恩型分子栗1000中存在无法得到良好的排气效率这一问题。
[0019]若缩小尺寸等，缩小内侧折返流道a的流道截面积(S卩，使由旋转圆筒10的外径和固定圆板5000的内径形成的间隙变窄)，则气体分子滞留在内侧折返流道a中，作为西格巴恩型分子栗上游区域的出口(从上游区域向下游区域的折返地点)的内侧折返流道a的流道圧力上升。结果，产生圧力损失，真空栗(西格巴恩型分子栗1000)整体的排气效率下降。
[0020]为了防止这样的排气效率的降低，以往，内侧折返流道a的流道截面积及管路宽度如图12所示，有必要设置成比西格巴恩型分子栗部中的管路(由旋转圆筒10和固定圆板5000的各对置面形成的间隙，也是气体分子穿过的管状的流道)的截面积及管路宽度充分地大。
[0021]但是，若要将内侧折返流道a的流道的尺寸设定得较大，则内径侧被支承旋转部的径向磁轴承装置30等的尺寸限制，另一方面，若将作为外径侧的固定圆板5000的直径设置得较大，则西格巴恩型分子栗部的径向尺寸减小，流道变窄，存在无法充分得到每一层的圧缩性能这一问题。
[0022]使用这样的现有技术，为了得到既定的圧缩比，需要增加西格巴恩型分子栗部的层数。但是，若增加层数，则会增加旋转圆板9和固定圆板5000的材料費用、加工費用，还会增加高速旋转的旋转圆板9的质量、惯性矩，所以支承旋转圆板9的磁轴承装置的容量需要相应地增大，从而存在这种构成真空栗的构件的成本提高的问题。
【发明内容】
[0023]因此，本发明的目的是，提供一种固定圆板及具备该固定圆板的真空栗，所述固定圆板具备使排气效率提高的连通孔。
[0024]为了实现上述目的，根据技术方案I记载的本发明，提供一种固定圆板，所述固定圆板被用于将气体从吸气口侧向排气口侧移送的第I气体移送机构，通过与旋转圆板的相互作用，形成螺旋状槽排气部，其特征在于，在前述固定圆板和前述旋转圆板的对置面的至少一部分上，形成有具有谷部和峰部的螺旋状槽，在前述固定圆板的内周侧的部分上，具有将前述吸气口侧和前述排气口侧贯通的连通孔。
[0025]根据技术方案2的本发明，提供一种固定圆板，在技术方案I所述的固定圆板中，其特征在于，前述连通孔将前述谷部中形成在前述固定圆板的前述吸气口侧的表面上的前述谷部和形成在前述排气口侧的表面上的前述谷部连通。
[0026]根据技术方案3的本发明，提供一种固定圆板，在技术方案I或2所述的固定圆板中，其特征在于，前述连通孔的开口部形成于前述谷部中位于以下两个表面中的某一个上的前述谷部:前述固定圆板的前述吸气口侧的表面和前述排气口侧的表面。
[0027]根据技术方案4的本发明，提供一种固定圆板，在技术方案I或2所述的固定圆板中，其特征在于，前述连通孔的开口部形成为，跨前述谷部中位于前述固定圆板的前述吸气口侧的表面上的前述排气口侧端的多个前述谷部，或跨前述谷部中位于前述固定圆板的前述排气口侧的表面上的前述吸气口侧端的多个前述谷部。
[0028]根据技术方案5的本发明，提供一种固定圆板，在技术方案I至4中任一项所述的固定圆板中，其特征在于，前述连通孔形成为，在由用于前述第I气体移送机构的旋转体圆筒部和前述固定圆板的内周部形成的间隙处开口。
[0029]根据技术方案6的本发明，提供一种固定圆板，在技术方案I至5中任一项所述的固定圆板中，其特征在于，前述连通孔在前述固定圆板的前述吸气口侧的表面上的前述排气口侧端的前述谷部上将前述旋转圆板的旋转方向侧的区域贯通，在前述固定圆板的前述排气口侧的表面上的前述吸气口侧端的前述谷部上将与前述旋转圆板的旋转方向侧相反的一侧的区域贯通。
[0030]根据技术方案7的本发明，提供一种固定圆板，在技术方案I至6中任一项所述的固定圆板中，其特征在于，前述螺旋状槽的切线角度为，内径侧的切线角度比外径侧的切线角度大。
[0031]根据技术方案8的本发明，提供一种固定圆板，在技术方案I至7中任一项所述的固定圆板中，其特征在于，前述螺旋状槽的前述峰部的宽度为，内径侧的前述峰部的宽度比外径侧的前述峰部的宽度小。
[0032]根据技术方案9的本发明，提供一种真空栗，其特征在于，所述真空栗具备外装体、旋转轴、技术方案I至8中任一项所述的固定圆板、前述旋转圆板、前述第I气体移送机构，所述外装体形成有吸气口和排气口，所述旋转轴被内包于前述外装体，被旋转自如地支承，多层前述旋转圆板配设在前述旋转轴上，前述第I气体移送机构是西格巴恩型分子栗部，所述西格巴恩型分子栗部通过前述旋转圆板和前述固定圆板的相互作用，将从前述吸气口侧吸入的气体向前述排气口侧移送。
[0033]根据技术方案10的本发明，提供一种真空栗，在技术方案9所述的真空栗中，其特征在于，前述真空栗还具有配设于前述旋转轴的旋转体圆筒部，除去前述连通孔以外的由前述旋转体圆筒部和前述固定圆板形成的间隙的宽度，比由前述吸气口侧的前述固定圆板和前述旋转圆板形成的排气槽流道的深度小。
[0034]根据技术方案11的本发明，提供一种真空栗，在技