专利名称：多路阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及一具有一主流路、一副流路和一支流路的多路阀，以及一具有一主流路、一副流路、一支流路和一循环流路的多路阀，更具体一些，则涉及一种多路阀，其中，液体滞留区非常小，可达到非常优越的清洗效果，得到紧凑的管路。
在此情况下，一般采取如
图17所示的组合两个双通阀55、56和两个三通管53、54的方法，如图18所示的组合一个三通阀65、一个两通阀61和一个三通管60的方法，如图19所示的组合三个双通阀154、156、157和两个三通管153、155的方法，和如图20所示的组合一个三通阀162、两个双通阀164、165和一个三通管163的方法。
可是，在图17所示的情况下，产生化学药品滞留在从三通管53至双通阀55的流路中的问题，和从双通阀55至三通管54的流路在清洗时不能充分洗净的问题。还有，在图18所示的情况下，产生同样的问题，即从三通阀65至三通管60的流路不能充分洗净。
再有，在图19所示的情况中，产生化学液体滞留在从三通管153至双通阀154的流路中的问题，和从双通阀154至三通管155的流路在清洗时不能充分洗净的问题。还有，在图20所示的情况下，产生同样的问题，即从三通阀162至三通管163的流路不能充分洗净。
为了达到上述目的，按照本发明，作为用按分支的方式从主流路供应流体的管路的多路阀，提供一带一本体和致动器的多路阀，该本体带有一个通过一连接通道相连通的主流路侧阀室和一副流路侧阀室、一主流路、一支流路和一副流路，该主流路与布置在主流路侧阀室的底部的中间的主流路侧连通口连通，该支流路与主流路侧阀室连通，该副流路与布置在副流路侧阀室的底部的中间的副流路侧连通口连通，该致动器有分别打开和关闭主流路侧连通口和副流路侧连通口的阀体(以后称为第一发明)。
在本发明的优选的实施例中，支流路和连接流路沿与主流路垂直相交的方向布置，而副流路则平行于支流路布置；在另一实施例中，支流路和连接流路沿与主流路垂直相交的方向布置，而副流路则平行于主流路布置。
还有，在本发明中，主流路布置在本体的一侧或贯穿本体。
此外，按照本发明，作为用于按分支的方式从主流路供应流体并循环流体的管路中的多路阀来说，提供一包括一本体和致动器的多路阀，该本体有三个分别由主流路侧阀室、副流路侧阀室和循环流路侧阀室组成的阀室及一连接流路、一主流路、一支流路、一副流路和一循环流路，该连接流路与主流路侧阀室和副流路侧阀室连通，该主流路与布置在主流路侧阀室的底部的中间的主流路侧连通口和布置在循环流路侧阀室的底部的中间的循环流路侧连通口连通，该支流路与主流路侧阀室连通，该副流路与布置在副流路侧阀室的底部的中间的副流路侧连通口连通，该循环流路与循环流路侧阀室连通，该致动器有一分别打开和关闭主流路侧连通口、副流路侧连通口和循环流路侧连通口的阀体(以下称为第二发明)。
还有，在上述发明的优选的实施例中，支流路、连接流路和副流路都沿与主流路垂直相交的方向布置。
此外，在另一实施例中，支流路和连接流路都沿与主流路垂直相交的方向布置，而副流路则平行于主流路布置。
还有，在上述发明中，支流路、主流路侧阀室，连接流路和副流路侧阀室的底面彼此齐平，而循环流路和循环流路侧阀室的底部彼此齐平。
图1为纵向剖视图，它示出本发明的第一实施例；图2为纵向剖视图，它示出主流路侧连通口关闭和副流路侧连通口打开的情况；图3为图1的本体的透视图；图4为图3的本体的平面图；图5仅为本体的平面图，它示出第一发明的第二实施例；图6仅为本体的平面图，它示出第一发明的第三实施例；图7仅为本体的平面图，它示出第一发明的第四实施例；图8为外观图，它示出采用第一发明的第三实施例的化学流体支供应管路；图9为沿三个致动器固定在本体上的图12的A-A线的剖视图和一纵向剖视图，它示出按照第二发明的多路阀的主流路侧打开和副流路侧关闭的情况；图10为沿三个致动器固定在本体上的图12的B-B线的剖视图和一纵向剖视图，它示出按照第二发明的多路阀的主流路侧打开和循环流路侧关闭的情况；图11为一致动器的纵向剖视图；图12仅为本体的平面图，它示出第二发明的第一实施例；图13为图12中的本体的透视图；图14仅为本体的平面图，它示出第二发明的第二实施例；
图15为外观图，它表示采用第二发明的第一实施例的流体支供应管路；图16为外观图，它示出在采用第二发明的第一实施例的流体支供应管路中，按照各自的连通口的打开和关闭的组合的流体的流动，而且，符号◎代表打开的阀，符号代表关闭的阀；图17为外观图，它示出采用双通阀的现有技术的化学液体支供应管路；图18为外观图，它示出采用三通阀的现有技术的化学液体支供应管路；图19为外观图，它示出采用双通阀的现有技术的化学液体支供应管路；图20为外观图，它示出采用三通阀的现有技术的化学液体支供应管路。
在各个图中，参考数字1代表本体，在其上部设置一圆柱形主流路侧阀室14和一圆柱形副流路侧阀室15，它们用一个连接流路11彼此连通。参考数字8代表只与主流路侧连通口12连通的主流路，该连通口布置在主流路侧阀室14的底部的中间。也就是说，如图3所示，主流路只布置在本体的一侧。参考数字9代表与副流路侧连通口13连通的副流路，该连通口沿垂直方向布置在副流路侧阀室15的底部的中间。参考数字10代表与主流路侧阀室14连通并位于本体1的与副流路9相反的一侧的支流路。连接流路11如此形成，以使其底面与阀室14和15的底面都齐平，而且，支流路10还如此形成，以使其底面与主流路侧阀室14的底面齐平。因此，在各阀室、连接流路和支流路中都没有流体滞留区。如图1至3所示，主流路8位于与副流路9、支流路10和连接流路11垂直相交的方向。也就是说，副流路9、支流路10和连接流路11如此放置，以使这些流路彼此平行。主流路侧连通口12和副流路侧连通口13的开口边缘或周向部分与阀座部分25、37一起形成，该阀座部分与后述的致动器2、3的阀体22、36压接和分开。主流路侧阀室14的直径大于主流路侧连通口12和阀体22的直径，同样，副流路侧阀室15的直径大于副流路侧连通口13和阀体36的直径。
在此实施例中，在本体1的两侧一体地形成从本体1突出的结合部分42、43，在其中，延伸有副流路9和支流路10。主流路8也做有这种结合部分(见图3)。为了将配管48连至结合部分42上，首先将配管48装配在结合部分42的前端45上，然后将盖式螺母46的阴螺纹47与结合部分42的外周上的阳螺纹44拧在一起，以夹紧配管48的端部。主流路8和支流路10同样也装有配管。此外，对于本体1与配管48的连接构造，并不限于此实施例，也可以采用其它一般的连接构造。
致动器2和3通过贯穿螺栓/螺母(未示出)固定在本体的上部上。由于两个致动器都用同样的方式固定在本体上，故以致动器2为代表作出说明。
参考数字4代表一缸体，它有一在缸体内的圆柱状的缸部分16和在缸体的下表面上的圆柱形突起部分17，在缸部分16的底部的中间设置一通孔18，以贯穿突起部分17。在通孔18的内周上安装一○形圈32。在缸体4的侧面上，分别设置一对致动流体供应口28、29，以分别与缸部分16的上部和下部连通。
参考数字5代表一缸盖，它在其底面上有一设有○形圈33的圆柱形突起19并通过将圆柱形突起19经由○形圈33插入缸部分16的上部而连至缸体4上。在此实施中，由本体1、缸体4和缸盖5组成的三个部分通过贯穿螺栓/螺母(未示出)一体地固定。
参考数字6代表一活塞，在其外周上安装一○形圈31，活塞可经由○形圈31滑动地插入缸部分16中，以上下移动。在活塞的下端面中间，一体地设置一杆部20，它可滑动地贯穿并伸入缸体4的通孔18中，而杆部20的前端侧设有连接部分21，在其上连有隔膜7的阀体22。还有，通过活塞6的上表面、缸部分16的内周表面和缸盖5的下表面界定一个上空间26，通过活塞6的下表面、杆部分20的外周表面和缸部分16的内底面界定一个下空间27。
参考数字7代表一个隔膜，在其上在其下表面的中间一体地设置阀体22，该阀体在布置在本体1上的阀座部分25也就是主流路侧连通口12的开口的周边上压接和分开，该阀体22通过螺钉连至活塞6的杆部20的前端上。在隔膜7的外周上设置一圆柱形薄膜23，该圆柱形薄膜23还在其上端的外周设有一个环形突起24。该圆柱形薄膜23通过本体1的主流路侧阀室14的内周和缸体4的突起17的外周夹紧，而环形突起24则进一步插入布置在本体1的主流路侧阀室14的上部和内周部分上的台阶部分30中，并被主流路侧阀室14的内周和缸体4的突起17的外周夹紧。隔膜7的形状并不限于此实施例，因此，可以采用由本体1和缸部16夹紧的薄膜，并且还可以采用风箱式的隔膜。
再有，至于致动器的构造，只要致动器有打开和关闭主流路和副流路的连通口的阀体，就可以采用在其内部备有弹簧的构造，因此不特别限于此实施例。虽然优先在主流路侧和副流路侧单独设置致动器，但是，也可以一体地在两个流路侧设置致动器，因此，致动器的安装不特别受限制。
此外，作为本体等的材料，可以有用氟树脂诸如聚四氟乙烯(以后称为PTFE)或四氟乙烯-全氟烷基乙烯醚共聚物(以后称为PFA)，因为氟树脂有优越的耐化学特性，并且溶出很少的杂质。不过，也可以采用其它塑料诸如聚氯乙烯或聚丙烯，和也可使用金属，因此，用于本体等的材料并不特别受限制。
还有，作为隔膜的材料，虽然优先使用氟树脂诸如PTFE、PFA，但是也可以采用橡胶或金属，因此，材料并不特别受限制。
接着在下面说明按照本发明的多路阀的操作。
图1示出主流路侧连通口12打开而副流路侧连通口13关闭的情况。在此情况下，主流路8中的流体流至支流路10、连接流路11和副流路侧阀室15中。在此情况下，如果致动流体(例如压缩空气等)经过致动器2的致动流体供应口28从缸体的外面被送入上部空间26中，则活塞6被致动流体的压力往下压，以使连至活塞上的杆部分20被往下拉，因此，连至杆部分20的下端上的阀体22被压靠在阀座部分25上，以关闭主流路侧连通口12。另一方面，如果致动流体按反向从致动器3的致动流体供应口41被送入下空间39中，则活塞34被致动流体的压力向上推，以使连至活塞上的杆部分35被向上拉，而连至杆部分35的下端上的阀体36则与阀座部分37分开，由此，副流路侧连通口13成为打开的情况(图2的情况)。
图2为主流路侧的连通口12关闭，而副流路侧的连通口13打开的情况。在此情况下，副流路9中的流体流至副流路侧阀室15、连接流路11、主流路侧阀室14和支流路10中。在此情况下，如果致动流体(例如压缩空气等)经过致动器3的致动流体供应口48从致动器的外面被注入上空间38中，则活塞34被致动流体的压力往下压，以使连至活塞上的杆部分35被往下拉，而连至杆部分35的下端上的阀体36则被压靠在阀座部分37上，由此，副流路侧的连通口13成为关闭的情况。另一方面，如果致动流体按反向从致动器2的致动流体供应口29被注至下空间27，则活塞6被致动流体的压力往上推，以使连至活塞上的杆部分20被往上拉，而连至杆部分20的下端上的阀体22则与阀座部分25分开，由此，主流路侧的连通口12成为打开的情况(图1的情况)，例如，在按照此实施例的阀用于从主流路8侧供应浆液的管路的情况，一清洗液体被从副流路9侧供应，并从支流路10排出，在图1的情况，浆液经过主流路侧的阀室14从支流路10被排出，但是，浆液滞流在连接流路11和副流路侧的阀室15中。不过，在此情况下，如果主流路侧的流通口12关闭，则副流路侧的连通口13就打开(图2的情况)，清洗液体从副流路9侧流动，滞留的浆液从支流路10排放，以使阀的内部可以被洗净。在此实施例中，由于支流路10、主流路侧的阀室14、连接流路11和副流路侧的阀室15的底面都如上所述设计成彼此齐平的，故滞留区的体积非常小，而且，由于各个流路都是按直线形成的，故压力损失小，从而可得到卓越的洗净效果。
图4为为了参考而示出的图3的平面图。
图5仅仅为本体1的平面图，它示出本发明的第二实施例。它与第一实施例的差别在于，在本体1的同一侧设置副流路9，平行于主流路8。至于第二实施例的操作，只是在副流路9中流动的流休的流动方向改变成与连接流路11垂直的方向，因此，操作的说明将略去，因为，操作是与第一图6仅仅为本体1的平面图，它示出本发明的第三实施例。它与第一实施例的差别在于，主流路8布置成贯穿本体1。由于主流路8中的流体连续流动或循环，故即使主流路侧的连通口12关闭，即使具有高沉淀特性的流体如浆液在主流路8中流动，浆液也不太可能沉淀。至于在其它情况下的操作，则由于它与第一实施例中的相同，故其说明将略去。
在如上所述的常用技术中，采用第三实施例的用于化学液体的支供应管路的外观图示于图8中。从图中可以看出，将图8的布置与图17和18所示的传统管路相比，可以减少阀与三通管的数目，也就是说，按照本发明的一个阀就足以满足要求。因此，可以简化配管管路，配管空间变小，可以容易地进行施工。
图7仅仅为本体1的平面图，它示出本发明的第四实施例。此实施例如此构造，以使在图6的实施例中，副流路9布置成贯穿本体1，平行于主流路8。下面将说明此实施例的操作。现在，在主流路侧的连通口12打开而副流路侧的连通口13关闭的情况下，流入主流路8的流体，除了主流路8以外，还流过主流路侧的阀室14，并流至支流路10侧。还有，如果主流路侧的连通口12关闭，而副流路侧的连通口13打开，则主流路8中的流体只在主流路8中流动。在此情况下，如果清洗液例如流入副流路9中，则清洗液经过副流路9流出，同时经过副流路侧的阀室13，连接流路11和主流路侧的阀室14从支流路10排出。
接着在下面参考图9至16说明本发明的第二发明的实施例。
图9为沿图12的A-A线的剖视图，它示出一第一实施例，其中，三个致动器都固定在一个本体上，在一个按照本发明的多路阀中，主流路侧打开，而副流路侧则关闭。图10为沿图12的B-B线的剖视图，其中，三个致动器都固定在本体上，主流路侧打开，循环流路侧关闭。图11为致动器的剖视图。图12为按照第二发明的多路阀的本体的平面图。图13为图12的本体的立体透视图。图14为按照第二发明的多路阀的第二实施例的本体的平面图。
在各图中，参考数字101代表本体，在其上部设置主流路侧的圆柱形阀室113、副流路侧的阀室114和循环流路侧的阀室115，而且主流路侧的阀室113和副流路侧的阀室114用连接流路109彼此连通。参考数字105代表主流路，它与主流路侧的连通口110和布置在循环流路侧的阀室115的底部的中间的循环流路侧的连通口112连通。参考数字106代表副流路，它与布置在副流路侧的阀室114的底部的中间的副流路侧的连通口111连通。参考数字107代表支流路，它与主流路侧的阀室113连通，并相对于本体101位于副流路106的相反侧。参考数字108代表循环流路，它与循环流路侧的阀室115连通并相对于本体101位于主流路105的相反侧。支流路107，主流路侧的阀室113，连接流路109和副流路侧的阀室114的底面都布置成彼此齐平，同样，循环流路108和循环流路侧的阀室115的底面也都布置成彼此齐平。因此，在本体中没有流体滞留区。如同图9、10和12所示，主流路105沿与副流路106、支流路107和连接流路109垂直相交的方向布置，并且平行于循环流路108。也就是说，副流路106、支流路107和连接流路109布置成彼此平行。还有，主流路110、副流路111和循环流路112侧的连通口110、111和112的各自的开口边缘或周边都与阀座部分一起形成，在该阀座部分上压接和分开致动器102、103和104的阀体116、117和118。主流路侧的阀室113的直径大于主流路侧的连通口110和阀体116的直径，同样，副流路侧的阀室114的直径大于副流路侧的连通口111和阀体117的直径。还有，同样，循环流路侧的阀室115的直径大于循环流路侧的连通口112和阀体118的直径。
在此实施例中，结合部分142一体地形成，以从本体101的侧面突起，主流路105、副流路106、支流路107和循环流路108分别延伸至其内部。为了将一配管147连至在其内具有副流路106的结合部分142上，首先将配管147配合在结合部分142的前端144上，然后将盖式螺母145的阴螺纹146与结合部分142的外周上的阳螺纹拧在一起，以夹紧并固定配管147的端部。配管147还以同样的方式连至主流路105、支流路107和循环流路108上。另外，本体101和配管147的连接构造并不限于此实施例，因此，可以采用其它一般的连接构造。
致动器102、103和104都通过贯穿螺栓/螺母(未示出)固定在本体101的上部上。由于这三个致动器有同样的构造，故在下面说明致动器102，以作为代表。
在图11中，参考数字122代表缸体，其中设置圆柱形缸部分126，并在其下表面上设置圆柱形突起127，同时设置一通孔128，以从缸部分126的底部的中间贯穿突起127。在通孔128的内周上配合一○形圈141。而且，在缸体122的侧面上设置一对用于致动流体的供应口136、137，它们分别与缸部分126的上部和下部连通。
参考数字123代表一缸盖，它在其下部有一圆柱形突起129，在突起的周边上安装一○形圈139，圆柱形突起129通过经由○形圈139将圆柱形突起129插入缸部分126的上部而连至缸体122上。在此实施例中，本体101、缸体122和缸盖123都通过贯穿螺栓/螺母(未示出)固定。
参考数字124代表一活塞，在其外周上安装一○形圈140，活塞124经由○形圈140可滑动地配合安装在缸部分126中，并上下移动。在活塞的下端的中间一体地设置一杆部分130，它可滑动地经过缸体122的通孔128伸出，并且在杆部分130的前端部分上设置一连接部分131，隔膜125的阀体116就连接在该连接部分上。还有，通过活塞124的上表面、缸部分126的内周和缸盖123的下表面界定一个上空间134，通过活塞124的下表面、杆部分130的外周和缸部分126的内周和底面界定一个下空间135。
参考数字125代表一隔膜，在其下表面的中间一体地设置一阀体116，它在设置在本体1的下表面的中间的阀座部分119、即主流路侧的连通口110的开口边缘上压接和分开，阀体116通过螺纹连至活塞124的杆部分130的前端上。在隔膜125的外周上设置一圆柱形薄膜132，在其上端的外周上设置一环形突起133。圆柱形薄膜132通过本体101的主流路侧的阀室113的内周和缸体122的突起127的外周被夹紧，另外，环形突起133配合在布置在主流路侧的阀室113的内周的上部上的台阶部分138中，并通过本体101的主流路侧的阀室113的内周和缸体122的突起127的外周被夹紧、固定。隔膜125的构造并不限于此实施例，因此，所有具有被本体1和缸体122夹紧的薄膜的构造都可以使用，并且还可以使用风箱式的构造。
此外，至于致动器的构造，可以采用其内部装有弹簧等的构造，只要它具有能分别打开和关闭主流路、副流路和循环流路侧的连通口的阀体，因此，致动器的构造并不限于此实施例。还有，虽然优选使具有这些阀体的致动器分开安装在主流路侧、副流路侧和循环流路侧，但是，这三个致动器也可以一体地设置，因此，致动器的安装并不特别受限制。
此外，作为用于本体等的材料，可以优先使用氟树脂诸如聚四氟乙烯(以后称为PTFE)或四氟乙烯-全氟烷基乙烯醚共聚物(以后称为PFA)，因为氟树脂溶出很少的杂质，不过，也可以采用其它塑料诸如聚氯乙烯或聚丙烯，和也可采用金属，因此用于本体等的材料并不特别受限制。还有，作为用于隔膜的材料，虽然优先使用氟树脂诸如PTFE或PFA，但也可以使用橡胶或金属，因此，材料并不特别受限制。
接着在下面说明按照此实施例的多路阀的操作。
此外，由于这些致动器102、103和104都相同，故代表性地说明致动器102的操作。
现在，在主流路侧的连通口110如图9所示打开的情况，如果致动流体(例如压缩空气)从缸体的外面经过致动器102的致动流体供应口136被注入上空间134中，则活塞124被致动流体的压力往下推，以使连至活塞上的杆部分130被往下拉，而连至杆部分130的下端上的阀体116则被压靠在阀座部分119上，由此，主流路侧的连通口110关闭。在此情况下，在与图10有关连的主流路105中流动的流体被切断。与之相反，在主流路侧的连通口110关闭的情况下，如果致动流体从致动器102的致动流体供应口137注入下空间135，则活塞124被致动流体的压力往上推，以使连至活塞上的杆部130被往上拉，而连至杆部130的下端的阀体116则与阀座部分119分开，由此使主流路侧的连通口110打开。也就是说，在主流路105中流动的流体朝支流路107流出。
例如，如果在一管路中使用按照此实施例的阀，其中，从主流路105供应浆液，从副流路106供应清洗液，然后从支流路107排放浆液和清洗液，以从循环流路108排放主流路105中的流体(此处为浆液)并循环或处理浆液，浆液经过主流路侧的阀室113并从支流路107排出，但浆液在图9和10的情况则滞留在连接流路109和副流路侧的阀室114中。不过，在此情况下，如果主流路侧的连通口110关闭，而副流中侧的连通口111打开，则清洗液从副流路106流动，滞留的浆液从支流路107排出，从而能进行阀的洗净。还有，主流路中的流体的循环和关闭可以通过循环流路侧的连通口112的打开和关闭来实现。在此实施例中，由于支流路107，主流路侧的阀室113，连接流路109和副流路侧的阀室114的底面都如上所述设计成彼此齐平，并且同样由于循环流路108和循环流路侧的阀室115的底面也都设计成彼此齐平的，因此滞流区的体积非常小，并且，由于各个流路都做成直线的，故压力损耗小，因此，可以得到卓越的清洗效果。
图12仅仅为按照本发明的多路阀的本体的平面图。
图13为图12所示的用于参考的立体透视图。
图14仅仅为本体101的平面图，它示出本发明的第二实施例。
与第一实施例的区别在于，副流路106平行于主流路105设置并在本体101的同一侧。至于操作，只是在副流路106中流动的流体的流动方向改变成垂直于连接流路109的方向，并且，由于操作与第一实施例相似，故省去操作的说明。
图15示出一外观图，其中，在传统的管路中采用了按照第二发明的第一实施例的阀。它示出流体处于这样的情况的方向，即在图9和10中，主流路侧的连通口关闭，而副流路侧和循环流路侧的连通口则打开。如图所示，与图19和图20所示的传统的管路相比，可以减少阀和三通管的数目，即一个按照本发明的阀就足以满足要求。因此，配管管路可以简化，配管空间显著变小，而且可以容易进行施工。
图16示出流体处于这样的情况的方向，即考虑将注意力集中在主流路中的流体流动时(包括上述说明)，组合各个连通口的打开与关闭。显然，阀可以在必要时用于改变流体的方向，因此该阀是非常有用的。
按照本发明的多路阀有如上所说明的构造，因此，通过采用它，可以得到下列卓越的效果。
(1)在主流路侧的阀关闭而副流路侧的阀打开的情况下，当清洗液从副流路流动时，残余的化学液体等可以有效地被洗净并排放，因为流路是直线状的，而流路的底面是彼此齐平的，其结果为，用于多路阀的流路的清洗时间可以大大地缩短。
(2)在主流路和副流路设置成贯穿本体的情况下，即使主流路侧和副流路侧的连通口关闭，各自的流体仍可保持流动或循环，因此，本发明的多路阀也可用于具有高沉淀特性的流体如浆液。
(3)由于阀设置在循环流路侧，在主流路中流动的流体可自由循环或被切断，因此，本发明的多路阀也可用于具有高沉淀特性的流体如浆液。
(4)由于三个致动器独立操作，故本发明的多路阀可在各种用途中使用。
(5)由于多路阀的构造是紧凑的，与传统的多路阀相比，配管管路中的阀和三通管的数目可以减少，因此，配管管路可以简化，配管空间大小减小，而且可以容易进行施工。
(6)由于将氟树脂如PTFE或PEA等用作本体和隔膜的材料，提高了耐化学药品的能力，而且杂质的溶出少。本发明的多路阀可优先用于半导体工业中的超纯(软化)水管路和用于各种化学药品管路。
权利要求
1.一多路阀包括一个本体和致动器，所述本体有通过一个连接通道相连通的一主流路侧阀室和一副流路侧阀室以及一主流路、一支流路和一副流路，所述主流路与布置在主流路侧阀室的底部的中间的主流路侧连通口连通，所述支流路与主流路侧阀室连通，所述副流路与布置在副流路侧阀室的底部的中间的副流路侧连通口连通，所述致动器有分别用于打开和关闭主流路侧连通口和副流路侧连通口的阀体。
2.如权利要求1的多路阀，其特征为，支流路和连接流路沿与主流路垂直相交的方向布置，而副流路则平行于支流路布置。
3.如权利要求1的多路阀，其特征为，支流路和连接流路沿与主流路垂直相交的方向布置，而副流路则平行于主流路布置。
4.如权利要求1至3的任一项的多路阀，其特征为，主流路布置在本体的一侧或贯穿本体。
5.如权利要求1至3的任一项的多路阀，其特征为，副流路布置在本体的一侧或贯穿本体。
6.一多路阀包括一本体和致动器，所述本体有三个分别由主流路侧阀室、副流路侧阀室和循环流路侧阀室组成的阀室、一连接流路、一主流路、一支流路、一副流路和一循环流路，所述连接流路与主流路侧阀室和副流路侧阀室连通，所述主流路分别与布置在主流路侧阀室的底部的中间的主流路侧连通口和布置在循环流路侧阀室的底部的中间的循环流路侧连通口连通，所述支流路与主流路侧阀室连通，所述副流路与布置在副流路侧阀室的底部的中间的副流路侧连通口连通，所述循环流路与循环流路侧阀室连通，所述致动器固定在本体上部并有用于分别打开和关闭主流路侧连通口、副流路侧连通口和循环流路侧连通口的阀体。
7.如权利要求6的多路阀，其特征为，支流路、连接流路和副流路都沿与主流路垂直相交的方向布置。
8.如权利要求6的多路阀，其特征为，支流路和连接流路都沿与主流路垂直相交的方向布置，而副流路则平行于主流路布置。
9.如权利要求6的多路阀，其特征为，支流路、主流路侧阀室，连接流路和副流路侧阀室的底面彼此齐平，以及循环流路和循环流路侧阀室的底部彼此齐平地形成。
全文摘要
本发明的多路阀包括一本体和各个驱动多个布置在本体内的阀体的致动器。本体有主流路侧的阀室和副流路侧的阀室，它们通过连接流路彼此连通，本体还有一主流路、一支流路和一副流路，所述主流路与布置在主流路侧的阀室的底部中间的连通口连通，所述支流路与主流路侧的阀室连通，所述副流路与布置在副流路侧的阀室的底部中间的连通口连通。主流路和副流路侧的连通口分别设有由致动器驱动的开关阀体。
文档编号F16K41/10GK1463342SQ02802168
公开日2003年12月24日 申请日期2002年6月18日 优先权日2001年6月21日
发明者花田敏广, 滨田健志 申请人:旭有机材工业株式会社