专利名称：中空旋转平台减速器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种减速器，尤其涉及一种直接结合承盘并达到稳 定驱动功效的中空旋转平台减速器。
技术背景现有的减速器作为中介，借由内部所设各个齿轮之间的齿数比，使 马达所输出的高转速降低后，再输出作为驱动装置。上述种类的减速器如中国台湾专利证书号第M242613号「减速器改 良结构」新型专利案，或者如中国台湾专利公告号468737号「泛用型中 空轴齿轮减速机」新型专利案，皆设有一输出端、 一输入端，并且内部 于输出输入端之间设有减速齿轮组，借此将马达的高转速降低后，再输 出作为驱动装置。然而上述的减速器使用于驱动晶圆设备等需要精密度以及稳定的装 置时，由于输出端是以皮带或链条等传动件连动工作物承盘旋转，因此 其中造成损耗而产生较大的震动，造成生产上的问题，加上一般减速器 所选用的轴承较不具轴径向负载的稳定特性，使得传动的稳定性以及精 密度更大打折扣。由于现有减速器是以间接的方式带动装置，并且选用的轴承较不具 稳定性，因此在驱动晶圆设备等需要精密度以及稳定的装置时，会产生 震动以及不精确的问题，造成生产良率上的困扰。 实用新型内容本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上 述缺陷，而提供一种中空旋转平台减速器，其具有直接驱动晶圆设备以 及驱动时稳定的功效。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种中空旋转平台减速器，其特征在于，包括一基座，分别组装设
于该基座内的一从动轴、 一交叉滚子轴承、 一减速传动件以及一主动轴， 其中该基座为水平设置的板块，其内部形成一容室，该容室包括一于 顶端开口的输出装设部、 一于底端开口的输入装设部，以及一位于输出装设部与输入装设部之间而与两者相通的中介装设部；该从动轴垂直设 置于该输出装设部，于该从动轴顶端的部分形成一结合构造；该交叉滚 子轴承是结合于该从动轴与该输出装设部的周壁之间；该减速传动件是 枢设于该中介装设部并与该从动轴啮合；该主动轴是垂直枢设于该输入 装设部并与该减速传动件啮合，于该主动轴的底端部分形成一供马达结 合的联结构造。前述的中空旋转平台减速器，其中从动轴对应所述中介装设部而于 周围形成一从动齿轮，所述减速传动件设有一轴杆，该轴杆垂直枢设于 所述中介装设部，该轴杆于一侧对应该从动齿轮形成一小齿盘，以小齿 盘与从动齿轮啮合，该轴杆于另一侧形成一大齿盘，所述主动轴对应该 大齿盘而于周围形成一主动齿轮，以该主动齿轮与该减速传动件的大齿 盘啮合。前述的中空旋转平台减速器，其中从动轴的顶端伸出所述基座的顶 面，所述结合构造是数个环绕而间隔形成于该从动轴顶面的螺孔。当本实用新型使用时，是以基座穿置结合于一基础板，将一马达结 合于输入装设部的底部，使马达的轴杆结合于主动轴的联结构造，并将 一工作物承盘结合于从动轴顶部的结合构造，当马达启动时，带动主动 轴经由减速传动件减速后驱动从动轴旋转，使结合于从动轴的工作物承 盘转动。本实用新型由于是以从动轴直接结合带动工作物承盘等需要驱动旋 转的装置或构造旋转，因此中间不会经过皮带或链条等传动件的损耗， 具有直接传动而旋转动作较为稳定的功效。并且本实用新型受益于交叉 滚子轴承的轴向径向负载佳且动作精确等特性，使得从动轴在转动的过 程中能够稳定地旋转且负载较大，为使用者提供一种稳定不震动以及精 确的减速器。以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型较佳实施例的立体外观示意图。图2是本实用新型较佳实施例的立体分解示意图。图3是本实用新型较佳实施例的剖面图。图4是本实用新型较佳实施例的装设实施示意图。图中标号说明10基座1l底板1111嵌放部1112下密封环11 2下嵌槽11 2 l轴承11 3穿孔1131固接肩部12顶盖12 l顶孔12 1 l轴承12 2上嵌槽12 2 1轴承12 3第三嵌槽12 3 1轴承12 4锁孔13锁固环131上嵌放部13 2上密封环14容室141输出装设部14 2中介装设部14 3输入装设部2o从动轴2l底管件211从动齿轮21 2下嵌放部22顶管件22 1螺孔22 2上肩部30交叉滚子轴承40减速传动件4l轴杆42小齿盘43大齿盘5o主动轴5l主动齿轮52插孔6o基础板7O马达7l轴杆80工作物承盘具体实施方式
本实用新型是一种中空旋转平台减速器，请参看
图1至图3的较佳 实施例，其包括一基座1 0 ，分别组装设于基座1 0内的一从动轴2 0 、 一交叉滚子轴承3 0 、 一减速传动件4 0以及一主动轴5 0，其中该基座l 0包括一底板1 1、 一结合于底板上的顶盖l 2以及结合 于顶盖的锁固环l 3,其中底板l l为水平设置的板体，其沿同一方向 依序设有一圆形的底孔l 1 1、 一圆形的下嵌槽l 1 2以及一圆形的穿 孔l 1 3，于底孔l 1 l底侧的周围形成一环直径较大的嵌放部l 1 1 1 ，于嵌放部1111内嵌设一下密封环1112，于下嵌槽1 1 2内 嵌设一水平设置的轴承l 12 1，于穿孔l 1 3的底端周缘内凹形成一 环状的固接嵌放部l13 1。顶盖l 2是盖体，其以底缘螺锁于基座l 0顶部的周缘，顶盖l 2 与基座1 0之间形成一容室14，容室1 4对应底孔111、下嵌槽1 1 2以及穿孔1 1 3的位置分别形成一输出装设部14 1、 一中介装设 部1 4 2以及一输入装设部14 3。顶盖1 2在对应输出装设部1 4 1以及底孔1 1 1的位置穿设一圆 形的顶孔12 1，顶孔1 2 1的直径大于底孔111，并且于顶侧的周 围形成一环直径较大的下嵌放部12 11,顶盖对应中介装设部1 4 2 以及下嵌槽1 1 2的位置于底面凹设一圆形的上嵌槽12 2，于上嵌槽 内嵌设一水平设置的轴承12 2 1，并且顶盖对应输入装设部1 4 3以 及穿孔1 1 3的位置于底面凹设一圆形的第三嵌槽12 3，于第三嵌槽 1 2 3内嵌设一水平设置的轴承12 3 1，顶盖1 2于顶面设有数个供 螺锁固定的锁孔l 2 4。锁固环l 3是内径约等于顶孔1 2 l直径的圆形环体，其是螺锁于 顶孔l 2 l顶端的周缘，并且锁固环l 3于内側面的底侧对应下嵌放部 12 11形成一环直径较大的上嵌放部13 1，上嵌放部1 3 1与下嵌 放部l 2 1 l直径相同，借此一同构成圆环形的嵌放空间。该从动轴2 0是垂直设置于输出装设部1 4 l的管杆体，其并以顶 底端穿设于顶孔l 2 l以及底孔l 1 l的中间，从动轴2 0包括一底管 件2 1以及一结合于底管件2 1顶端的顶管件2 2 ，底管件2 1是垂直 设置的管杆体，其底端外径较小而穿置于底孔1 1 1并抵靠于下密封环
1 1 1 2达到密封效果，底管件2 l对应中介装设部l 4 2的下侧于周 面向外凸伸形成一从动齿轮2 1 1，而底管件2 l周面的顶侧对应下嵌 放部1 2 1 1内凹形成一直径较小的下嵌放部2 1 2 。顶管件2 2为与底管件2 l配合的垂直设置管体，并以底面螺锁于 底管件2 l的顶面，顶管件2 2的顶端由顶孔1 2 l伸出锁固环l 3的 顶面，并于顶面环绕而间隔设有数个作为结合构造的螺孔2 2 1,顶管 件2 2于外周面的底侧对应底管件2 l的下嵌放部2 1 2内凹设形成一 直径较小的上嵌放部2 2 2，上嵌放部2 2 2与下嵌放部1 2 1 1的直 径相同，借此一同构成圆环形的嵌放空间。该交叉滚子轴承3 0的内环是嵌设于从动轴2 0的上嵌放部2 2 2 与下嵌放部12 11，而交叉滚子轴承3 0的外环是嵌设于基座1 0的 上嵌放部1 3 1与下嵌放部12 11,借此，交叉滚子轴承3 0结合于 从动轴2 0与基座1 0之间，由于交叉滚子轴承3 0具有负载大，精密 度高以及轴向径向承载力佳等特点，使从动轴2 O能稳定且精确地枢设 于基座1 0 。设有一上密封环13 2，上密封环1 3 2是嵌设于锁固环1 3内舰IJ，并分别以底部以及内侧抵靠于交叉滚子轴承3 O以及顶管件2 2的外周面。该减速传动件4 0设有一垂直设置的轴杆4 1,轴杆4 l顶底端分 别结合于两轴承12 2 1、 112 1，借此垂直枢设于中介装设部1 4 2，该轴杆于底侧对应从动齿轮2 1 l形成一直径较小的小齿盘4 2， 以小齿盘4 2与从动齿轮2 1 l啮合，轴杆4 l于上侧形成一直径较大 的大齿盘4 3。该主动轴5 O是垂直设置的杆体，其顶端结合于第三嵌槽l 2 3内 的轴承12 3 1，借此垂直枢设于输入装设部14 3，主动轴5 0对应 大齿盘4 3于周面的顶侧形成一主动齿轮5 1 ，以主动齿轮5 l与减速 传动件4 0的大齿盘4 3啮合，并且主动轴5 0的底端伸抵穿孔1 1 3 处，于该底端形成一作为联结构造的插孔5 2。当本实用新型使用时，请参看
图1至图4的较佳实施例，是以基座 1 0顶盖1 2顶面的锁孔1 2 4提供螺锁，使基座l O穿置结合于一基
础板6 0 ,并将一马达7 0结合于固接肩部1 1 3 1处，使马达7 0轴 心位朝上伸设的轴杆7 1结合于主动轴5 0的插孔5 2 ，最后将一工作 物承盘8 0螺锁结合于从动轴2 0顶部的螺孔2 2 1。当马达7 0启动时，带动主动轴5 0经由减速传动件4 O减速后， 带动从动轴2 O旋转，使结合于从动轴2 0的工作物承盘8 O转动，由 于本实用新型是以从动轴2 0直接带动工作物承盘8 0，因此具有直接 传动而旋转较为稳定的功效，并且受益于交叉滚子轴承3 O的设置，使 得从动轴2 0在转动的过程中较为稳定且负载较大，提供一种稳定以及 精确的减速器以供使用者利用。
权利要求1.一种中空旋转平台减速器，其特征在于，包括一基座，分别组装设于该基座内的一从动轴、一交叉滚子轴承、一减速传动件以及一主动轴，其中该基座为水平设置的板块，其内部形成一容室，该容室包括一于顶端开口的输出装设部、一于底端开口的输入装设部，以及一位于输出装设部与输入装设部之间而与两者相通的中介装设部；该从动轴垂直设置于该输出装设部，于该从动轴顶端的部分形成一结合构造；该交叉滚子轴承是结合于该从动轴与该输出装设部的周壁之间；该减速传动件是枢设于该中介装设部并与该从动轴啮合；该主动轴是垂直枢设于该输入装设部并与该减速传动件啮合，于该主动轴的底端部分形成一供马达结合的联结构造。
2.根据权利要求l所述的中空旋转平台减速器，其特征在于所述 从动轴对应所述中介装设部而于周围形成一从动齿轮，所述减速传动件 设有一轴杆，该轴杆垂直枢设于所述中介装设部，该轴杆于一侧对应该 从动齿轮形成一小齿盘，以小齿盘与从动齿轮啮合，该轴杆于另一侧形 成一大齿盘，所述主动轴对应该大齿盘而于周围形成一主动齿轮，以该 主动齿轮与该减速传动件的大齿盘啮合。
3 .根据权利要求1或2所述的中空旋转平台减速器，其特征在于 所述从动轴的顶端伸出所述基座的顶面，所述结合构造是数个环绕而间 隔形成于该从动轴顶面的螺孔。
专利摘要一种中空旋转平台减速器，其是设有一基座，基座为内部形成容室的水平板块，于容室内枢设一从动轴、一与从动轴啮合的减速传动件及一与减速传动件啮合的主动轴，其中从动轴与基座之间设有一交叉滚子轴承，并且于露出基座的顶部设有一结合构造，主动轴于露出基座的端部形成一供马达结合的联结构造；本实用新型是以结合构造结合工作物承盘而直接驱动工作物承盘转动，借此具有较佳的转动稳定度，并且受益于交叉滚子轴承的设置，使本实用新型驱动运作时的精密度以及稳定度更佳。
文档编号F16H1/20GK201027907SQ20072000555
公开日2008年2月27日 申请日期2007年3月9日 优先权日2007年3月9日
发明者王恩德 申请人:鼎缢有限公司