夹紧装置的制作方法

本发明的实施例涉及一种装置，更详细地涉及一种夹紧装置。

背景技术：

目前普遍使用以移动性为基础的电子设备。作为移动型电子设备，除移动电话等小型电子设备以外，近年来广泛使用平板电脑。

为了支持各种功能且为了给用户提供图像或影像等视觉信息，这种移动型电子设备包括显示部。最近，随着用于驱动显示部的其他器件的小型化，显示部在电子设备中所占的比重呈现出逐渐增加的趋势，并且还开发能够从平整的状态以规定的角度弯曲的结构。

为了形成这种显示部，可使用各种沉积装置。此时，在这种沉积装置中可使用掩模组件。掩模组件一般可通过在掩模框架上配置掩模片的状态下将掩模片以拉伸的状态固定到掩模框架来制造。此时，为了拉伸掩模片而开发出各种装置。

技术实现要素：

本发明的实施例提供一种夹紧装置。

本发明的一实施例公开一种夹紧装置，该夹紧装置包括：夹紧框架部；第一导向部，设置于夹紧框架部的上方；夹紧部，能够进行线性移动地设置于所述第一导向部，通过改变所述夹紧部与所述夹紧框架部之间的距离来夹紧掩模片；和第一线性驱动部，与所述夹紧部连接以使所述夹紧部进行线性运动。

在本实施例中，可进一步包括第一弹性部，所述第一弹性部配置于所述夹紧框架部与所述夹紧部之间且对所述夹紧部提供恢复力。

在本实施例中，所述第一导向部可包括：第一线性导向部，插入到所述夹紧部中且导向所述夹紧部的移动；和第一固定部，形成为从所述第一线性导向部突出且定位所述第一弹性部。

在本实施例中，所述夹紧部可包括：移动块，插入有所述第一导向部，且沿所述第一导向部进行线性运动；和夹紧块，配置为与所述夹紧框架部相对且设置于所述移 动块的末端。

在本实施例中，所述第一线性驱动部可包括：第一加压部，与所述夹紧部接触；第一连接连杆，与所述第一加压部连接且能够转动地连接于所述第一导向部；第一旋转连杆，与所述第一连接连杆连接以使所述第一连接连杆进行运动；第一线性移动块，与所述第一旋转连杆连接且在所述夹紧框架部上进行线性运动；和第一驱动部，与所述第一线性移动块连接以使所述第一线性移动块进行运动。

在本实施例中，所述第一线性驱动部可进一步包括：弹性部固定部件，设置于所述第一驱动部的末端且安装于所述第一线性移动块上，并且固定在所述第一线性移动块上；和线性弹性部，配置于所述弹性部固定部件与所述第一线性移动块之间。

在本实施例中，可进一步包括第二导向部，所述第二导向部设置于所述夹紧框架部且导向所述第一线性移动块的运动。

在本实施例中，所述第一连接连杆可形成为至少被折弯一次。

在本实施例中，所述第一旋转连杆可包括：减震导向连杆，与所述第一线性移动块连接；移动连杆，与所述减震导向连杆及所述第一连接连杆连接；和连接弹性部，设置于所述减震导向连杆与所述移动连杆之间。

在本实施例中，可进一步包括：基座框架部，与所述夹紧框架部上下排列；第三导向部，设置于所述基座框架部且连接所述基座框架部和所述夹紧框架部，并且导向所述夹紧框架部的线性运动；运动部，能够进行线性运动地设置于所述基座框架部；荷载测定部，配置于所述运动部与所述夹紧框架部之间，且用于测定在所述夹紧框架部进行运动时施加到所述夹紧框架部的荷载；和第二线性驱动部，设置于所述基座框架部，且与所述运动部连接以使所述运动部进行线性运动。

在本实施例中，可进一步包括第四导向部，所述第四导向部设置于所述运动部与所述基座框架部之间。

在本实施例中，所述第二线性驱动部可包括：固定框架，固定设置于所述基座框架部；和第二驱动部，设置于所述固定框架上且与所述运动部连接。

在本实施例中，所述荷载测定部可包括：第一连接部件，连接于所述运动部；荷载测定传感器，与所述第一连接部件连接；第二连接部件，配置为与所述第一连接部件相对且连接所述荷载传感器和所述夹紧框架部；和第二弹性部，配置于所述第二连接部件与所述夹紧框架部之间以及所述第二连接部件与所述荷载测定传感器之间中的至少一处。

从下面的附图、权利要求书及发明的详细说明中应能明确理解除前述内容以外的其他方面、特征及优点。

这种常规且具体的方面可通过使用系统、方法和计算机程序、或者系统、方法和计算机程序的任何组合来实施。

本发明的实施例能够增加空间效率，且能牢固地夹紧掩模片。

附图说明

图1是表示本发明的一实施例的夹紧装置的剖视图。

图2是表示设置有图1所示的夹紧装置的掩模组件制造装置的示意图。

图3是表示本发明的另一实施例的夹紧装置的剖视图。

具体实施方式

本发明可进行多种变更，并且可具有多种实施例，在附图中示意地表示特定实施例，并在以下具体实施方式中进行详细说明。若结合附图而参照在以下详细描述的实施例，则会明确本发明的效果、特征以及实现它们的方法。但是，本发明并不限定于以下所公开的实施例，而是能够以多种方式实现。

下面，参照附图对本发明的实施例进行详细说明。在参照附图进行说明时，相同或相应的结构要素使用相同的附图标记，并且省略对该结构要素的重复说明。

在下面的实施例中，第一、第二等用语并不是限定性含义，而是出于将一个结构要素与其他结构要素区别的目的来使用。

在下面的实施例中，关于单数形式的表述，若在文章中不是明确地表示其他含义，则该单数形式的表述也包括复数形式的含义。

在下面的实施例中，“包括”或“具有”等用语意味着说明书中所记载的特征或结构要素的存在，并不是用来事先排除一个以上的其他特征或结构要素附加的可能性。

在附图中为了方便说明，可能会放大或缩小结构要素的尺寸。例如，为了方便说明，任意表示图中所示的各结构的尺寸及厚度，因此本发明并不是必须限定于图示的内容。

在下面的实施例中，x轴、y轴及z轴并不限定于直角坐标系上的三个轴，还可以用包括它的广义来解释该x轴、y轴及z轴。例如，x轴、y轴及z轴可彼此正交，但还可以指彼此不正交的互不相同的方向。

在某种实施例可由不同方式实现的情况下，还可以与所说明的顺序不同地执行特定的工艺顺序。例如，连续说明的两个工序可以基本上同时执行，并且还可以以与所说明的顺序相反的顺序进行。

图1是表示本发明的一实施例的夹紧装置的剖视图。图2是表示设置有图1所示夹紧装置的掩模组件制造装置的示意图。

参照图1和图2，夹紧装置100可包括夹紧框架部110、第一导向部120、夹紧部130、第一弹性部140、第一线性驱动部150、第二导向部160、基座框架部171、第三导向部172、运动部173、荷载测定部180、第二线性驱动部190和第四导向部174。

夹紧框架部110可包括：夹紧框架111，能够进行线性运动地连接于基座框架部171；以及安装部112，设置于夹紧框架111的末端。安装部112设置为与夹紧部130的末端相对，从而能够夹紧掩模片S。

第一导向部120可设置为固定在夹紧框架111上。此时，第一导向部120可包括第一线性导向部121，该第一线性导向部121插入到夹紧部130中且导向夹紧部130的移动。第一线性导向部121可从夹紧框架111沿高度方向(或图1中的Z方向)形成。

此外，第一导向部120可包括第一固定部122，该第一固定部122形成为从第一线性导向部121突出且定位第一弹性部140。此时，第一固定部122可从第一线性导向部121向安装部112侧沿夹紧框架111的长度方向突出。在第一固定部122上可形成有第一插入槽122a以插入第一弹性部140的一部分。

夹紧部130由于插入有第一导向部120，夹紧部130能够沿第一导向部120的一部分进行线性运动。此时，夹紧部130可包括移动块131，该移动块131插入有第一线性导向部121，因此沿第一线性导向部121进行线性运动。在移动块131上可形成有供第一线性导向部121插入的第一插入孔131a，并且形成有与第一插入槽122a相对形成的第二插入槽131b以插入第一弹性部140的一部分。

夹紧部130可包括与移动块131结合的夹紧块132。此时，夹紧块132配置为与安装部112相对，并且可通过销等结合到移动块131。

第一弹性部140可配置于移动块131与第一固定部122之间。此时，第一弹性部140在移动块131运动时能够对移动块131提供恢复力。这种第一弹性部140可由橡胶、有机硅或金属等弹性材质形成，并且可由弹簧或杆形状等形成。但是，下面为了方便说明，以第一弹性部140为金属材质的压缩弹簧的情况为准进行详细说明。

第一线性驱动部150可包括第一加压部151、第一连接连杆152、第一旋转连杆153、第一线性移动块154和第一驱动部155。

第一加压部151随着第一驱动部155的运动而进行运动，从而能够对夹紧部130施力。此时，第一加压部151可以能够旋转地设置于第一连接连杆152上，从而与移动块131保持面接触。

第一连接连杆152可以能够旋转地设置于第一导向部120的末端。此时，第一连接连杆152的非末端的部分可设置于第一导向部120，以使第一连接连杆152能够旋转。

第一连接连杆152可形成为至少被折弯一次。例如，关于第一连接连杆152，从第一连接连杆152中与第一导向部120连接的部分至第一连接连杆152中与第一加压部151连接的部分为止可以水平地形成，并且从第一连接连杆152中与第一导向部120连接的部分至第一连接连杆152中与第一旋转连杆153连接的部分为止可以倾斜地形成。特别是，从第一连接连杆152中与第一导向部120连接的部分至第一连接连杆152中与第一旋转连杆153连接的部分为止可形成为沿图1中的Z方向侧上升。

在第一连接连杆152上可形成有第二插入孔152a以供第一导向部120插入。此时，在第二插入孔152a中可插入第一导向部120的末端，第一连接连杆152的一部分可配置为包围第一导向部120，从而第一连接连杆152能够旋转地设置于第一导向部120的末端。

从第一连接连杆152中与第一导向部120连接的部分至第一连接连杆152中与第一加压部151连接的部分为止的距离可形成为小于从第一连接连杆152中与第一导向部120连接的部分至第一连接连杆152中与第一旋转连杆153连接的部分为止的距离。

第一旋转连杆153可包括减震导向连杆153a、移动连杆153b和连接弹性部153c。此时，减震导向连杆153a可以能够旋转地连接于第一线性移动块154。特别是，减震导向连杆153a可插入到第二导向部160的内部。

移动连杆153b可与减震导向连杆153a和第一连接连杆152连接。此时，在移动连杆153b与减震导向连杆153a之间可设置有连接弹性部153c。由于连接弹性部153c与上面所说明的第一弹性部140相同或相似，下面省略详细说明。但是，为了方便说明，下面以连接弹性部153c形成为环状且被插入到设置于移动连杆153b与减震导向连杆153a所连接的部分的情况为准进行详细说明。

第一线性移动块154可连接于减震导向连杆153a。此时，第一线性移动块154可设置于在夹紧框架111上设置的第二导向部160。具体而言，第二导向部160可由彼此面对的两个板形成。此时，在彼此面对的板的内部可插入减震导向连杆153a的末端。此外，在第二导向部160的外表面可以包围第二导向部160的方式设置有第一线性移动块154。在这种情况下，在第二导向部160的表面可形成有导向孔160a，该导向孔160a用于插入并导向将第一线性移动块154与减震导向连杆153a连接的销。因此，如上所述的销能够通过导向孔160a连接第一线性移动块154和减震导向连杆153a，并且能够将第一线性移动块154的运动传递给减震导向连杆153a。

第一驱动部155可包括：第一螺杆导向架155a，连接于第一线性移动块154；第一螺杆155b，与第一螺杆导向架155a连接；和第一电动机155c，与第一螺杆155b连接以使第一螺杆155b旋转。此时，第一电动机155c可固定设置于在夹紧框架111上设置的第一电动机固定部175。

基座框架部171可配置于夹紧框架部110的下侧。基座框架部171可设置于外部装置。

在基座框架部171与夹紧框架111之间可设置有第三导向部172。此时，第三导向部172可由多种形式形成。例如，第三导向部172可包括直线运动导轨、气动滑块、交叉滚子导轨、交叉滚子工作台和磁悬浮单元中的至少一种。但是，下面为了方便说明，以第三导向部172包括直线运动导轨的情况为准进行详细说明。

运动部173可以能够线性运动地设置于基座框架部171。此时，运动部173可以与荷载测定部180连接，并且可以与第二线性驱动部190连接，从而随着第二线性驱动部190的动作而进行线性运动。

荷载测定部180可包括：第一连接部件181，能够旋转地连接于运动部173；及荷载测定传感器182，设置为与第一连接部件181连接。此外，荷载测定部180可包括与荷载测定传感器182和夹紧框架111连接的第二连接部件183。荷载测定部180可包括配置于第二连接部件183与夹紧框架111之间及第二连接部件183与荷载测定传感器182之间中的至少一处的第二弹性部184。此时，由于第二弹性部184与第一弹性部140相同或相似，因此下面省略详细的说明。此外，下面以在第二连接部件183与夹紧框架111之间及第二连接部件183与荷载测定传感器182之间均设置有第二弹性部184的情况为准进行详细说明。

如上所述的第二弹性部184能够通过运动部173的运动对夹紧框架111施力。此时，在彼此相对设置的第二弹性部184之间以固定在夹紧框架111上的方式可设置有其他固定托架185，用于支撑每一个第二弹性部184。

第二线性驱动部190可包括固定设置于基座框架部171的固定框架191。此外，第二线性驱动部190可包括第二驱动部192，该第二驱动部192设置于固定框架191上并与运动部173连接。此时，第二驱动部192可包括：第二电动机192a，固定在固定框架191上；第二螺杆192b，与第二电动机192a连接且一部分插入到运动部173中；和第二螺杆导向架192c，固定设置于运动部173且插入有第二螺杆192b。

第四导向部174可配置于运动部173与基座框架部171之间。此时，第四导向部174可形成为与第三导向部172相同或相似。但是，下面为了方便说明，以第四导向部174与第三导向部172相同地包括直线运动导轨的情况为准进行说明。

另外，如上所述的夹紧装置100可设置于掩模组件制造装置10中。此时，掩模组件制造装置10可包括腔室1、焊接部2、支撑部3、夹紧装置100、显示部4和控制部5。

简单观察如上所述的掩模组件制造装置10的动作，则在将掩模框架F安装于支撑部3上之后，可将掩模片S夹紧到夹紧装置100中。此时，掩模片S在被夹紧到夹紧装置100中之后能够沿长度方向拉伸。

在如上进行拉伸之后，焊接部2可以焊接结合掩模片S和掩模框架F。之后，可通过切割掩模片S的一部分来制造掩模组件M。

在进行如上所述的操作期间，显示部4可通过感测掩模片S与掩模框架F的位置来排列掩模片S和掩模框架F中的至少一个的位置。此外，显示部4可通过拍摄焊接位置等来确认焊接是否准确等。

控制部5可控制掩模组件制造装置10的各结构要素。此时，可在夹紧装置100上另行具备控制部5，作为其他实施例，还可以在掩模组件制造装置10上另行具备该控制部5。此外，还可以具备多个控制部5，在夹紧装置100和掩模组件制造装置10上分别具备控制部5，从而分别控制各结构要素。

另外，下面对夹紧掩模片S的方法进行详细说明。

首先，在备有掩模片S的情况下，可将掩模片S的一端配置于夹紧部130与夹紧框架部110之间。

在完成掩模片S的配置后，可通过使第一驱动部155工作来使第一线性移动块154移动。具体而言，当第一电动机155c工作时，第一螺杆155b进行旋转，从而能够使第一螺杆导向架155a运动。此时，第一螺杆导向架155a能够沿图1中的X方向移动，第一线性移动块154能够沿第二导向部160向与第一螺杆导向架155a相同的方向移动。

当第一线性移动块154如上进行移动时，第一线性移动块154能够使减震导向连杆153a进行移动和旋转。此外，也能使与减震导向连杆153a连接的移动连杆153b与减震导向连杆153a一起移动和旋转。此时，从第一线性移动块154至移动连杆153b的末端为止的垂直距离会逐渐变大。因此，在减震导向连杆153a旋转的情况下，能够使第一连接连杆152沿逆时针方向旋转。

当第一连接连杆152如上进行旋转时，第一加压部151能够朝向图1的下侧对移动块131施力。此时，移动块131能够靠近夹紧框架111，并且夹紧块132能够与安装部112彼此靠近而夹紧掩模片S。

特别是，在如上所述的情况下，移动块131能够沿第一线性导向部121向图1中 的Z方向的相反方向移动。即，移动块131能够沿第一线性导向部121向图1的下侧移动。

在如上完成夹紧后，可通过使第二电动机192a工作来使第二螺杆192b旋转，并且随着第二螺杆192b的旋转来使第二螺杆导向架192c移动。此时，第二螺杆导向架192c能够沿图1中的X方向移动。

当第二螺杆导向架192c进行移动时，固定有第二螺杆导向架192c的运动部173也能够沿图1中的X方向移动。随着运动部173的移动，荷载测定部180也一同移动，并且能够使夹紧框架部110与运动部173沿相同的方向运动。此时，第三导向部172能够使夹紧框架部110和基座框架部171能够彼此相对运动。此外，第四导向部174能够使基座框架部171和运动部173能够彼此相对运动。因此，在基座框架部171被固定的状态下，夹紧框架部110和运动部173能够分别运动。

如上所述，当夹紧框架部110和基座框架部171进行运动时，被夹紧到夹紧块132与安装部112的掩模片S能够沿图1中的X方向拉伸。此时，夹紧装置100设置于掩模片S的两端，能够沿彼此相反的方向拉拽掩模片S。

在进行如上的操作期间，荷载测定传感器182可测定施加到掩模片S的拉伸力的大小。此时，可向控制部5传送测定出的拉伸力，控制部5可通过将测定出的拉伸力与已设定的拉伸力进行比较来控制第二驱动部192的工作。

另外，在完成如上操作之后，如上所述那样可将掩模片S焊接到掩模框架F之后解除掩模片S的夹紧。

具体而言，控制部5可控制第二驱动部192中止工作或者控制第二驱动部192进行与上述相反的工作。之后，控制部5可控制第一驱动部155进行与上述相反的工作。

当第一电动机155c与上述相反地进行旋转时，第一螺杆155b进行旋转，从而能够使第一螺杆导向架155a移动。此时，第一螺杆导向架155a能够沿与图1中的X方向相反的方向(或从图1中的右侧向左侧方向)移动。

在这种情况下，第一旋转连杆153能够与上述相反地移动的同时进行旋转，并且第一连接连杆152也与上述相反地沿图1中的顺时针方向旋转。此时，能够去除由第一加压部151对移动块131施加的力，并且第一弹性部140在被压缩的状态下能够对移动块131施力。此外，移动块131能够沿第一线性导向部121向图1中的Z方向(或图1中的上侧方向)移动。由此，夹紧块132能够与安装部112相隔离以解除对掩模片S的夹紧。

如上所述的夹紧装置100能够使夹紧块132沿装置的垂直方向进行线性运动，从而在对掩模片S进行夹紧时，通过夹紧块132与掩模片S的面接触来最大限度地减小 掩模片S的变形。

夹紧装置100可通过垂直排列用于进行对掩模片S的夹紧动作和施加拉伸力的动作的装置，来最大限度地减小夹紧装置100的设置空间。

夹紧装置100可通过将从第一连接连杆152的旋转中心至两端为止的距离形成为彼此不同的距离来适用杠杆原理，从而在对掩模片S进行夹紧时，也能以较小的力来进行对掩模片S的夹紧。特别是，夹紧装置100可通过在第一驱动部155中消耗较少的能量来进行对掩模片S的夹紧。

图3是表示本发明另一实施例的夹紧装置的剖视图。

参照图3，夹紧装置200可包括夹紧框架部210、第一导向部220、夹紧部230、第一弹性部240、第一线性驱动部250、第二导向部260、基座框架部271、第三导向部272、运动部273、荷载测定部280、第二线性驱动部290和第四导向部274。

此时，由于夹紧框架部210、第一导向部220、夹紧部230、第一弹性部240、基座框架部271、第三导向部272、运动部273、荷载测定部280、第二线性驱动部290和第四导向部274与上述图1和图2中所说明的结构相同或相似，因此省略详细说明。

第一线性驱动部250可包括第一加压部251、第一连接连杆252、第一旋转连杆253、第一线性移动块254、弹性部固定部件256、线性弹性部257和第一驱动部255。此时，由于第一加压部251和第一线性移动块254与上述图1和图2中所说明的结构相同或相似，因此省略详细说明。

第一连接连杆252的一端可以与第一加压部251能够转动地连接。此外，第一连接连杆252的另一端可以与第一旋转连杆253能够旋转地连接。第一连接连杆252的一部分可以能够旋转地连接于第一线性导向部221的末端。此时，在第一连接连杆252上可形成有第二插入孔252a以插入第一线性导向部221。

第一连接连杆252可形成为至少一部分被折弯。具体而言，第一连接连杆252可形成为沿图3中的X方向具有不同的倾斜方向。

从第一连接连杆252的一端至第一连接连杆252中与第一线性导向部221结合的部分为止的距离可形成为小于从第一连接连杆252的另一端至第一连接连杆252中与第一线性导向部221结合的部分为止的距离。因此，第一连接连杆252能够执行如杠杆的作用。

第一旋转连杆253可形成为一体。此时，第一旋转连杆253的一端可以与第一连接连杆252的另一端能够旋转地连接。而且，第一旋转连杆253的另一端可以与第一线性移动块254能够旋转地连接。此时，第一旋转连杆253的另一端可以插入到第二导向部260的内侧的方式配置。

第一线性移动块254可以包围第二导向部260的侧面的方式配置。此时，在第二导向部260上可形成有导向孔260a，该导向孔260a用于插入并导向用于连接第二导向部260和第一旋转连杆253的销。

第一线性移动块254可形成为一部分被折弯。具体而言，第一线性移动块254可包括与夹紧框架部210平行的部分和以与夹紧框架部210垂直的方式突出的部分。

弹性部固定部件256可配置为与第一线性移动块254的一部分相对，该第一线性移动块254的一部分为垂直于夹紧框架部210而形成的部分。此时，弹性部固定部件256可配置为与第一线性移动块254的一表面相隔规定间隔。特别是，弹性部固定部件256和第一线性移动块254可通过其他连接部件258连接为彼此相隔的状态。

线性弹性部257可配置于弹性部固定部件256与第一线性移动块254之间。此时，线性弹性部257可由如橡胶、金属和有机硅等弹性材质形成。此外，线性弹性部257可形成为杆、圆柱和弹簧等形状。但是，为了方便说明，下面以线性弹性部257为金属材质的压缩弹簧的情况为准进行详细说明。

第一驱动部255可包括第一电动机255c、第一螺杆255b和第一螺杆导向架255a。此时，第一电动机255c可固定在设置于夹紧框架211的第一电动机固定部275上。此外，第一螺杆导向架255a可固定设置于弹性部固定部件256。

另外，如上的夹紧装置200可设置于掩模组件制造装置(未图示)中，并且用于如上所述的工序中。此时，由于各工序中的工作与上述图1和图2中说明的工作相同或相似，因此下面省略详细的说明，并对掩模片(未图示)的夹紧和松开进行详细说明。

首先，观察夹紧掩模片S的过程，则当第一电动机255c工作时，第一螺杆255b进行旋转，从而能够使第一螺杆导向架255a沿图3中的X方向移动。此时，第一螺杆导向架255a能够对弹性部固定部件256施力，从而对线性弹性部257施力。特别是，线性弹性部257能够比初始长度变短。

线性弹性部257对第一线性移动块254施力，从而第一线性移动块254能够沿图3中的X方向移动。当第一线性移动块254移动时，第一旋转连杆253的另一端能够随着第一线性移动块254沿图3中的X方向移动。此时，第一旋转连杆253的一端能够沿图3中的逆时针方向旋转，随着第一旋转连杆253的旋转，第一连接连杆252的另一端能够沿图3中的逆时针方向旋转。此外，第一连接连杆252的一端也能够与第一连接连杆252的另一端沿相同的方向旋转。

当如上那样第一连接连杆252旋转时，第一加压部2514能够向夹紧块232侧移动，并沿与图3中的Z方向相反的方向对移动块231施力。此时，移动块231能够沿第一 线性导向部221向与图3中的Z方向相反的方向进行线性运动。夹紧块232能够与移动块231一同移动并靠近安装部212，从而夹紧掩模片S。

当完成掩模片S的夹紧时，固定在固定框架291上的第二电动机292a开始工作。此时，随着第二电动机292a的工作，第二螺杆292b进行旋转，第二螺杆292b能够使第二螺杆导向架292c移动。

运动部273能够与第二螺杆导向架292c一同移动。此时，与第一连接部件281、第二连接部件283和荷载测定传感器282连接的夹紧框架211能够与运动部273沿相同的方向移动。因此，掩模片S能够在被夹紧的状态下拉伸。

另外，在如上那样完成掩模片S的拉伸之后，可将掩模片S焊接并固定于掩模框架F上。之后，夹紧装置200可以松开掩模片S。

具体而言，可以与上述所说明的方法相反的方式执行松开掩模片S的方法。当第一电动机255c与上述相反地工作时，第一螺杆255b旋转，并且能够使第一螺杆导向架255a沿与图3中的X方向相反的方向移动。此时，连接部件258与第一螺杆导向架255a一同移动，并且连接部件258能够使弹性部固定部件256移动。此外，弹性部固定部件256能够使第一线性移动块254沿图3中的X方向移动。

在如上那样第一线性移动块254移动的情况下，第一连接连杆252和第一旋转连杆253能够分别与上述相反地移动，并且第一加压部251能够解除施加到移动块231的力。

在解除施加到移动块231的力的情况下，固定于第一固定部222上的第一弹性部240能够对移动块231提供恢复力。此时，移动块231能够沿第一线性导向部221向图3中的Z方向进行线性运动。

在如上那样移动块231移动的情况下，夹紧块232能够与安装部212相隔，并且松开掩模片S。

因此，夹紧装置200能够使夹紧块232沿装置的垂直方向进行线性移动，从而在对掩模片S进行夹紧时，通过夹紧块232与掩模片S的面接触来最大限度地减小掩模片S的变形。

夹紧装置200可通过垂直排列进行对掩模片S的夹紧动作和施加拉伸力的动作的装置，来最大限度地减小夹紧装置200的设置空间。

夹紧装置200可通过将第一连接连杆252的旋转中心至两端为止的距离形成为彼此不同的距离来适用杠杆原理，从而在对掩模片S进行夹紧时，也能以较小的力来进行对掩模片S的夹紧。特别是，夹紧装置200可通过在第一驱动部255中消耗较少的能量来进行对掩模片S的夹紧。

如上所述，本发明参照附图中图示的一实施例进行了说明，但这只不过是示例，本发明所属技术领域的技术人员应能理解，基于上述实施例可进行各种变形以及实施例的变形。因此，本发明真正的技术保护范围应由所附的权利要求书的技术思想来确定。

附图标记说明

10：掩模组件制造装置

100、200：夹紧装置

110、210：夹紧框架部

120、220：第一导向部

130、230：夹紧部

140、240：第一弹性部

150、250：第一线性驱动部

160、260：第二导向部

171、271：基座框架部

172、272：第三导向部

173、273：运动部

174、274：第四导向部

180、280：荷载测定部

190、290：第二线性驱动部