一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及扩散炉中晶片自动进出炉定位技术领域，具体涉及一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置。
【背景技术】
[0002]已涂敷杂质源的晶片在常温下是不能形成半导体器件所需的PN结，必须置于扩散炉在高温下进行扩散。将晶片用石英勾手动送至扩散炉恒温区，晶片移动速率不均匀，硅片易产生形变，造成扩散后硅片脱片过程中碎片多，同时扩散后硅片结面不平整，结深不均
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【发明内容】
[0003]为了解决上述问题，本实用新型提出了一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，设计简单，使用方便，保证晶片在进出炉过程中内外温差较小，有利于减小热应力，扩散后硅片碎片少，且结面线性良好，结深一致性好。
[0004]为了达到上述发明目的，本实用新型提出了以下的技术方案:
[0005]—种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，它包括扩散炉、滑座、调速电机、滑块、丝杆、机械臂、推拉杆、机械手，其特征是扩散炉一侧装有滑座，滑座内装有滑块，滑块内装有丝杆，丝杆一端装有调速电机，滑座外侧装有推拉杆，推拉杆一端通过圆销连接滑块上端，推拉杆另一端穿过导轮支撑连接机械臂，机械臂下端连接机械手；滑座上端左侧装有第一停止感应光偶，滑座上端右侧装有第二停止感应光偶，第一停止感应光偶右侧10cm处装有减速感应光偶，推拉杆右端上面装有感应块。
[0006]所述的导轮支撑包括支架和导轮，支架装在扩散炉侧面位于滑座左侧，支架内部设计长方形通道，通道内部上端和下端分别装有导轮，导轮中间开有V型环槽。
[0007]所述的推拉杆是方形钢杆。
[0008]所述的机械手包括销杆、锁紧螺钉、固定夹、活动夹、螺钉和橡胶垫，销杆一端贯穿机械臂下端，锁紧螺钉旋紧装在机械臂底部把销杆固定压紧，销杆另一端连接固定夹，固定夹是L型状，固定夹上端装有活动夹，螺钉从固定夹下端贯穿且上端旋入活动夹内，活动夹和固定夹内侧都开有V型夹口，V型夹口内侧装有橡胶垫。
[0009]本实用新型的优点是设计简单，使用方便，通过本装置可以匀速控制物品进入扩散炉，保证晶片在进出炉过程中内外温差较小，有利于减小热应力，扩散后硅片碎片少，且结面线性良好，结深一致性好。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的正视示意图。
[0011]图2是本实用新型的侧视示意图。
【具体实施方式】
[0012]为了对本发明进一步的说明，下面结合说明书附图来介绍:
[0013]参照附图，一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，它包括扩散炉1、滑座2、调速电机3、滑块4、丝杆5、机械臂6、推拉杆7、机械手8，扩散炉1 一侧装有滑座2，滑座2内装有滑块4，滑块4内装有丝杆5，丝杆5 —端装有调速电机3，滑座2外侧装有推拉杆7，推拉杆7 —端通过圆销9连接滑块4上端，推拉杆7另一端穿过导轮支撑10连接机械臂6，机械臂6下端连接机械手8 ;滑座2上端左侧装有第一停止感应光偶11，滑座2上端右侧装有第二停止感应光偶12，第一停止感应光偶11右侧10cm处装有减速感应光偶13，推拉杆7右端上面装有感应块14。
[0014]所述的导轮支撑10包括支架和导轮15，支架装在扩散炉1侧面位于滑座2左侧，支架内部设计长方形通道，通道内部上端和下端分别装有导轮15，导轮15中间开有V型环槽。
[0015]所述的推拉杆7是方形钢杆。
[0016]所述的机械手8包括销杆81、锁紧螺钉82、固定夹83、活动夹84、螺钉85和橡胶垫86，销杆81 —端贯穿机械臂6下端，锁紧螺钉82旋紧装在机械臂6底部把销杆81固定压紧，销杆81另一端连接固定夹83，固定夹83是L型状，固定夹83上端装有活动夹84，螺钉85从固定夹83下端贯穿且上端旋入活动夹84内，活动夹84和固定夹83内侧都开有V型夹口，V型夹口内侧装有橡胶垫86。
[0017]本实用新型的使用时，通过机械手把石英勾夹紧，石英勾另一端就勾住推拉舟，启动本装置，在调速电机运行带动丝杆旋转，丝杆旋转带动滑块在滑座内移动，滑块带动推拉杆移动，推拉杆带动机械臂，机械臂带动机械手，从而机械手按照设计的运行速度匀速进入扩散炉内，当推拉杆外侧端部的感应块到达第二停止感应光偶下端时，调速电机停止，这时说明推拉舟内产品也已经完成扩散，调速电机反转，先快速旋转，使推拉舟快速往回拉，当推拉杆外侧端部感应块被减速感应光偶感应到，调速电机开始减速运行，推拉舟则开始减速拉出，当推拉杆上的感应块被第一停止感应光偶检测到，调速电机就会停止，此时推拉舟也被拉出；将本装置安装于扩散炉一侧，靠炉口一端装上机械手(用于夹住进炉石英勾)，另一端连接调速电机，调整电机引出线接调速控制器(控制进出炉速率)，调速控制器安装于扩散炉控制器面板上。然后在本装置对应位置固定两个光偶，加贴一方块磁铁，磁铁与光偶感应，以控制机械臂行程，保证机械臂推舟时将硅舟置于恒温区中心位置。PN扩散碎片数由每批(总量500片)3.5片减少到1.2片；显结后硅片结面更为平整均一。手动进出炉δ xj=xjmax-xjmin=4.5 μπι;自动机械手进出炉 δ xj=xjmax-xjmin=l.6 ym(XJ 测试取三点，δ xj是最大值减最小值。
【主权项】
1.一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，它包括扩散炉、滑座、调速电机、滑块、丝杆、机械臂、推拉杆、机械手，其特征是扩散炉一侧装有滑座，滑座内装有滑块，滑块内装有丝杆，丝杆一端装有调速电机，滑座外侧装有推拉杆，推拉杆一端通过圆销连接滑块上端，推拉杆另一端穿过导轮支撑连接机械臂，机械臂下端连接机械手；滑座上端左侧装有第一停止感应光偶，滑座上端右侧装有第二停止感应光偶，第一停止感应光偶右侧10cm处装有减速感应光偶，推拉杆右端上面装有感应块。2.根据权利要求1所述的一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，其特征是所述的导轮支撑包括支架和导轮，支架装在扩散炉侧面位于滑座左侧，支架内部设计长方形通道，通道内部上端和下端分别装有导轮，导轮中间开有V型环槽。3.根据权利要求1所述的一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，其特征是所述的推拉杆是方形钢杆。4.根据权利要求1所述的一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置，其特征是所述的机械手包括销杆、锁紧螺钉、固定夹、活动夹、螺钉和橡胶垫，销杆一端贯穿机械臂下端，锁紧螺钉旋紧装在机械臂底部把销杆固定压紧，销杆另一端连接固定夹，固定夹是L型状，固定夹上端装有活动夹，螺钉从固定夹下端贯穿且上端旋入活动夹内，活动夹和固定夹内侧都开有V型夹口，V型夹口内侧装有橡胶垫。
【专利摘要】本实用新型涉及一种扩散进出炉自动推拉舟系统装置。它包括扩散炉、滑座、调速电机、滑块、丝杆、机械臂、推拉杆、机械手，扩散炉一侧装有滑座，滑座内装有滑块，滑块内装有丝杆，丝杆一端装有调速电机，滑座外侧装有推拉杆，推拉杆一端通过圆销连接滑块上端，推拉杆另一端穿过导轮支撑连接机械臂，机械臂下端连接机械手；滑座上端左侧装有第一停止感应光偶，滑座上端右侧装有第二停止感应光偶，第一停止感应光偶右侧10cm处装有减速感应光偶，推拉杆右端上面装有感应块。优点是简单方便，通过本装置匀速控制物品进入扩散炉，保证晶片在进出炉过程中内外温差较小，减小热应力，扩散后硅片碎片少，且结面线性良好，结深一致性好。
【IPC分类】H01L21/687, H01L21/677
【公开号】CN204966475
【申请号】CN201520559602
【发明人】陈许平
【申请人】南通皋鑫电子股份有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年7月30日