一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉的制作方法

文档序号:10988128
一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉。主要解决了现有扩散炉中加工出来的硅片技术参数一致性较差的问题。一种用于扩散炉的推舟装置,推舟装置包括硅舟,硅舟置于悬臂推拉舟机构上,悬臂推拉舟机构均匀排列有栅栏,栅栏置于硅舟四周,栅栏外侧面设有棱角结构,还涉及一种设有推舟装置的扩散炉,推舟装置置于扩散炉本体内,通过扩散炉本体内的导轨固定连接,扩散炉本体顶部设有净化柜。该用于扩散炉的推舟装置结构设计合理简单,设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部,减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量,提高加工出来的硅片的技术参数的一致性,设有漏斗状抽气罩,排掉出舟时散发有毒气体。
【专利说明】
一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉
技术领域
[0001]本实用新型涉及光伏技术领域,具体涉及一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉。
【背景技术】
[0002]随着晶体硅太阳能电池制作技术的日益发展与成熟,在保证现有电池产品光电转换效率及质量的基础上如何有效降低制造成本、提高自身产品市场竞争力已成为光伏界各电池生产厂家决策者所普遍关注和急需解决的一个世纪问题。
[0003]扩散炉是大规模集成电路制造过程中用于对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。在对硅片进行加工时,硅片一般是放置在硅舟中,硅舟放置于扩散炉内,然而加工过程中,硅舟两端的硅片与硅舟中间的硅片技术参数差异较大,甚至会导致加工出来的硅片出现不合格。因此,常用的扩散炉加工出来的硅片技术参数一致性较差。
【实用新型内容】
[0004]为了克服【背景技术】的不足,本实用新型提供一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉,主要解决了现有扩散炉中加工出来的硅片技术参数一致性较差的问题,该用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉结构设计合理简单,硅舟四周设有设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部,从而减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量,提高加工出来的硅片的技术参数的一致性,提高硅片质量,同时设有扩散炉本体内设有漏斗状抽气罩,排掉出舟时散发的大量高温有毒气体,确保作业的安全性能。
[0005]本实用新型所采用的技术方案是:一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉,所述推舟装置包括硅舟,所述硅舟置于悬臂推拉舟机构上,所述悬臂推拉舟机构均匀排列有栅栏,所述栅栏置于硅舟四周,栅栏外侧面设有棱角结构。
[0006]所述悬臂推拉舟机构包括有伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构。
[0007]所述推舟装置置于扩散炉本体内,通过扩散炉本体内的导轨固定连接,所述扩散炉本体顶部设有净化柜,所述扩散炉本体靠近净化柜顶部设有漏斗状抽气罩,所述抽气罩外接抽风系统。
[0008]本实用新型的有益效果是:由于采取上述技术方案,有效改善了现有的气体减压阀密封性能差的问题,该用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉结构设计合理简单,硅舟四周设有设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部,从而减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量,提高加工出来的硅片的技术参数的一致性,提高硅片质量,同时设有扩散炉本体内设有漏斗状抽气罩,排掉出舟时散发的大量高温有毒气体,确保作业的安全性能。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图。
[0010]图2为图1中栅栏3的结构示意图。
[0011]图3为扩散炉结构示意图。
[0012]图中1、硅舟;2、悬臂推拉舟机构;3、栅栏;4、棱角结构;10、推舟装置;11、扩散炉本体;12、导轨;13、净化柜;14、抽风罩。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型实施例作进一步说明。
[0014]如图1结合图2、图3所示,一种用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉,所述推舟装置包括硅舟I,所述硅舟I置于悬臂推拉舟机构2上,所述悬臂推拉舟机构2均匀排列有栅栏3,所述栅栏3置于硅舟I四周且高于硅舟I高度,栅栏3外侧面设有棱角结构4,所述棱角结构4优先选用等长多边形结构,棱角结构4阻挡气流直接吹向娃片内部的同时,使气流由于受到棱角结构4的阻挡,通过反射原理流向各个方向,使气流均匀进入硅舟I内部,提高加工出来的硅片的技术参数的一致性。
[0015]所述悬臂推拉舟机构2包括有伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构。
[0016]所述推舟装置10置于扩散炉本体11内,通过扩散炉本体11内的导轨12固定连接,通过伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构推动推舟装置10沿导轨12整体移动。所述扩散炉本体11顶部设有净化柜13,所述扩散炉本体11靠近净化柜13顶部设有漏斗状抽气罩14,所述抽气罩14外接抽风系统,所述净化柜13连接漏斗状抽油罩14,净化柜13内设有净化液,所述净化液为碱性溶液或酸性溶液,用于中和扩散炉内硅片反应所生成的酸性气体或碱性气体,以达到净化废气的作用,所述抽风罩14用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体,环保。
[0017]漏斗状抽气罩14能更均匀的收集扩散炉本体I内毒气,提高毒气的收集排出效率。
[0018]本实用新型有效改善了现有的气体减压阀密封性能差的问题,该用于扩散炉的推舟装置及设有该装置的扩散炉结构设计合理简单,硅舟四周设有设有棱角结构的栅栏能够阻挡气流直接吹向硅舟内部,从而减小硅舟上硅片受不均匀气流而导致的不合格品量,提高加工出来的硅片的技术参数的一致性,提高硅片质量,同时设有扩散炉本体内设有漏斗状抽气罩,排掉出舟时散发的大量高温有毒气体,确保作业的安全性能。
[0019]各位技术人员须知:虽然本实用新型已按照上述【具体实施方式】做了描述,但是本实用新型的发明思想并不仅限于此实用新型,任何运用本发明思想的改装,都将纳入本专利专利权保护范围内。
【主权项】
1.一种用于扩散炉的推舟装置,所述推舟装置包括硅舟(1),其特征在于:所述硅舟(I)置于悬臂推拉舟机构(2)上,所述悬臂推拉舟机构(2)均匀排列有栅栏(3),所述栅栏(3)置于硅舟(I)四周,栅栏(3)外侧面设有棱角结构(4)。2.根据权利要求1所述的一种用于扩散炉的推舟装置,其特征在于:所述悬臂推拉舟机构(2)包括有伺服电机、减速机、同步带及同步带的传动机构。3.一种设有推舟装置的扩散炉,其特征在于:如权利要求1所述的推舟装置(10)置于扩散炉本体(11)内,通过扩散炉本体(11)内的导轨(12)固定连接,所述扩散炉本体(11)顶部设有净化柜(I 3)。4.根据权利要求3所述的一种设有推舟装置的扩散炉,其特征在于:所述扩散炉本体(11)靠近净化柜(13)顶部设有漏斗状抽气罩(14),所述抽气罩(14)外接抽风系统。
【文档编号】H01L31/18GK205680695SQ201620275210
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年4月5日 公开号201620275210.6, CN 201620275210, CN 205680695 U, CN 205680695U, CN-U-205680695, CN201620275210, CN201620275210.6, CN205680695 U, CN205680695U
【发明人】蔡伦
【申请人】温州巨亮光伏科技有限公司
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