1.一种流体控制器用加热装置,其特征在于,
具备:筒状的加热单元,其将流体控制器的需要加热的部分包围;以及隔热部件,其将加热单元包围,
加热单元具有分别固定有加热器的一对导热部件,各导热部件以从两侧夹持流体控制器的方式安装并能够彼此结合,隔热部件形成为筒状的一体部件。
2.根据权利要求1所述的流体控制器用加热装置,其特征在于,
各导热部件借助从相对于夹持流体控制器的方向正交的方向的一方螺合的螺纹部件而结合。
3.根据权利要求1或2所述的流体控制器用加热装置,其特征在于,
隔热部件通过将具有挠性的带状片材卷绕于加热单元而形成为筒状。
4.一种流体控制装置,其特征在于,
具备:流量控制器;设置于流量控制器的一侧的开闭阀;对流量控制器以及开闭阀进行支承的多个通路块;对多个通路块进行支承的支承部件;以及开闭阀的加热装置,
开闭阀的加热装置为权利要求1至3中任一项所述的流体控制器用加热装置。
5.根据权利要求4所述的流体控制装置,其特征在于,
在对开闭阀进行支承的通路块的与流量控制器相反侧的端面上设置有管接头部,加热单元具有与对开闭阀进行支承的通路块的侧面抵接的突出部分。