1.一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：包括压电陶瓷、复合菱形位移放大机构、桥型位移放大机构、运动平台和固定框架，所述压电陶瓷安装在所述复合菱形位移放大机构内，四个所述复合菱形位移放大机构均平行设置且分别位于所述固定框架的四角，所述运动平台位于所述固定框架的中心处，所述运动平台的两侧面通过两个所述桥型位移放大机构分别与位于所述运动平台两侧的所述复合菱形位移放大机构连接。
2.根据权利要求1所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：所述复合菱形位移放大机构包括四个斜边柔性梁、刚性上端面、刚性下端面、输出端面和固定端面，所述输出端面和所述固定端面对称设置，所述刚性上端面和所述刚性下端面对称设置，且所述输出端面与所述固定端面的连线与所述刚性上端面与所述刚性下端面之间的连线垂直，四个所述斜边柔性梁依次将所述刚性上端面、所述刚性下端面、所述输出端面和所述固定端面连接并组成菱形结构，所述固定端面与所述固定框架的内侧面固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：四个所述复合菱形位移放大机构分为两组，包括第一复合菱形位移放大机构组和第二复合菱形位移放大机构组，所述第一复合菱形位移放大机构组或所述第二复合菱形位移放大机构组内的两个所述复合菱形位移放大机构分别位于同一条直线，所述第一复合菱形位移放大机构组和所述第二复合菱形位移放大机构组对称设置在所述运动平台的第一侧和第二侧。
4.根据权利要求2所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：所述斜边柔性梁包括多个平行设置的柔性臂，多个所述柔性臂层叠设置，且相邻的柔性臂之间设置有间隙。
5.根据权利要求3所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：两个所述桥型位移放大机构分别设置在所述运动平台的第一侧和第二侧，所述桥型位移放大机构包括两个柔性梁，两个所述柔性梁的刚性输入端分别与所述第一复合菱形位移放大机构组/第二复合菱形位移放大机构组的两个输出端刚性连接，两个所述柔性梁的刚性输出端分别与所述运动平台的第一侧面/第二侧面固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：所述第一复合菱形位移放大机构的两个输出端之间的距离大于所述运动平台的第一侧面的长度，两个所述柔性梁均倾斜设置。
7.根据权利要求5所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：还包括导向机构，四个所述导向机构均与所述第一复合菱形位移放大机构组和所述第二复合菱形位移放大机构组之间的连线垂直设置，所述导向机构的第一端与所述固定框架固定连接，四个所述导向机构的第二端分别与四个所述复合菱形位移放大机构位移放大机构的输出端刚性连接。
8.根据权利要求5所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：所述复合菱形位移放大机构的所述斜边柔性梁与所述刚性上端面和所述刚性下端面的连接处、所述桥型位移放大机构的所述柔性梁与所述运动平台的连接处均采用柔性铰链连接。
9.根据权利要求1所述的一种XYθ平面三自由度精密定位平台，其特征在于：所述固定框架的四角设置有固定螺纹孔，所述运动平台上设置有试件安装孔。