技术总结
本发明公开了一种XYθ平面三自由度精密定位平台，包括压电陶瓷、复合菱形位移放大机构、桥型位移放大机构、运动平台和固定框架，压电陶瓷安装在复合菱形位移放大机构内，四个复合菱形位移放大机构均平行设置且分别位于固定框架的四角，运动平台位于固定框架的中心处，运动平台的两侧面通过两个桥型位移放大机构分别与位于运动平台两侧的复合菱形位移放大机构连接。本发明通过四个复合菱形位移放大机构和两个桥型位移放大机构的组合，使该平台具备两个平动和一个转动自由度，并通过两级位移放大以及不同的驱动组合来实现三个平面自由度运动，使其结构简单和紧凑，且输出位移大。
技术研发人员：凌明祥;刘谦;李思忠;黎启胜;郑星;曹军义
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院总体工程研究所
文档号码：201610839891
技术研发日：2016.09.22
技术公布日：2016.12.07