真空狭缝阀门的制作方法

本发明属于真空镀膜技术领域，涉及真空室隔离技术，具体地说，涉及一种用于卷对卷柔性带材真空镀膜生产线中隔离真空室的真空狭缝阀门。

背景技术：

在卷对卷柔性带材真空镀膜生产线中，带材的长度达数千米，设备的两端是圆筒形的收放料台，由于膜层结构的要求，生产线长达几十米。在进行镀膜的过程中，带材顺次进出一个或多个真空室。在生产结束时，设备中部的镀膜工艺区需要继续保持真空状态，而设备的收放料台需要恢复大气状态。故真空狭缝阀门需要在不断开破坏带材的情况下，实现相邻真空室的真空隔离。

带材的宽度远远大于其厚度，带材通过的槽口外形也是宽度大于其高度。因此，在本领域内通常将具备此特征的阀门称为“狭缝阀”。

公开号为CN 102374295 A的中国发明专利公开了一种用于真空室模块的狭缝阀，具体公开了一种狭缝阀组件设置为用于附连至真空室模块以在闭合位置密封模块的壁部中的槽开口，以及在打开位置提供通过槽开口的通路。该阀组件包括可旋转的轴，其在打开旋转位置与闭合旋转位置之间被旋转促动器驱动。伸长的密封板在轴的闭合旋转位置中在槽开口上抵靠模块壁部密封。至少一个臂部部件使密封板与轴连接。臂部部件与轴一起旋转并且可枢转地附连到密封板上。密封板相对于臂部部件被偏置至铰接位置。该发明专利中的狭缝阀闭合时，密封板与基质的前进方向呈垂直状态，若使用在卷对卷柔性带材真空镀膜生产线容易对带材造成损坏，更甚者会切断带材。其密封板上有可压缩的密封件，而密封面是不可压缩的刚性表面，若夹着带材一起密封时，带材与不可压缩的刚性表面之间会产生一个不可密封的死区，从而产生气体泄露，导致密封不严，致使真空密封效果不好。

技术实现要素：

本发明针对现有技术存在的损坏带材、真空密封效果差等上述问题，提供了一种真空狭缝阀门，该阀门在不破坏带材的情况下，解决不同真空室之间的真空密封。

为了达到上述目的，本发明提供了一种真空狭缝阀门，包括：

阀门本体，阀门本体上设有用于输送带材的通道，阀门本体内部设有真空容纳腔；

放置于真空容纳腔内的阀体组件，阀体组件设有用于输送带材的通道，且设于阀体组件上的通道与设于阀门本体上的通道连通；阀体组件密封面与带材前进方向的夹角为10-45度，阀体组件密封面的通道出口围绕有至少一条可压缩的密封件；

放置于真空容纳腔内部的阀板组件，所述阀板组件与所述阀体组件配合，阀板组件密封面与带材前进方向的夹角为10-45度，阀板组件密封面上设有与阀体组件密封面上密封件相对应的可压缩的密封件；

设置于阀门本体外部的执行器，所述执行器的驱动杆穿过阀门本体与阀板组件连接，用于带动阀板组件移动。

进一步的，与阀门本体连接的阀体组件连接面的通道进口围绕有至少一条密封件，阀体组件通过密封件与阀门本体密封连接。

进一步的，所述执行器与阀门本体之间设有密封装置，所述执行器的驱动杆穿过密封装置与所述阀板组件连接。

优选的，所述密封装置包括密封座和安装于密封座内的密封圈。

进一步的，所述执行器的驱动杆与阀板组件之间连接有过渡缓冲装置。

优选的，所述过渡缓冲装置包括安装于阀板组件上的底座和与执行器的驱动杆连接的过渡铰链，过渡铰链通过销轴与底座连接。

进一步的，所述真空容纳腔内还放置有用于限制阀板组件运动的限位装置，所述限位装置安装于阀体组件边缘。

优选的，设于阀门本体上的通道和设于阀体组件上的通道均为矩形通道。

优选的，所述阀体组件和阀门组件均由金属材料制作而成。

优选的，所述金属材料为碳钢、不锈钢、铝合金中的一种或几种。

进一步的，阀体组件密封面的通道出口围绕有至少两条可压缩的密封件时，阀体组件密封面上相邻两条密封件之间、或阀板组件密封面上相邻两条密封件之间连接有真空泵，在阀门关闭时，启动真空泵使密封件之间形成梯度真空。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

(1)本发明真空狭缝阀门中，阀体组件密封面和阀板组件密封面均为斜面，且与带材前进方向的夹角为10-45度，在阀门闭合时，阀体组件与阀板组件紧密贴合，带材只发生小角度的平缓弯折，不会损坏带材，同时阀体组件和阀板组件之间的密封件发生压缩，由于带材较薄(厚度约0.4mm以下)，可实现夹带密封。

(2)本发明用于密封的密封件同时设于阀体组件和阀板组件上，进行密封时，阀体组件上的密封件与阀板组件上的密封件相互作用，均在阀板组件下落后被压缩，增大了密封件之间的接触面积，减小了漏气空间，提高了密封效果，保证相邻真空室之间的压力差。

(3)本发明执行器与阀门本体之间采用密封装置密封，对外部大气与执行器的气缸之间以及外部大气与阀门本体之间进行密封，保证执行器的气缸与阀门本体的密封性，确保真空容纳腔的真空状态，进一步提高了密封效果。

附图说明

图1为本发明一实施例中阀门本体的结构示意图。

图2为本发明一实施例中阀体组件的结构示意图。

图3为本发明一实施例中阀体组件的剖面结构示意图。

图4为本发明一实施例中阀板组件的结构示意图。

图5为本发明一实施例中阀板组件的剖面结构示意图。

图6为本发明一实施例中执行器的结构示意图。

图7为本发明一优选实施例中阀体组件的结构示意图。

图8为本发明另一实施例中密封装置的结构示意图。

图9为本发明又一实施例中过渡缓冲装置的结构示意图。

图10为本发明一最优实施例的结构示意图。

图11为本发明图10所示实施例中传送带材时阀门开启后的状态示意图。

图12为本发明图10所示实施例中传送带材时阀门闭合后的状态示意图。

图中，1、阀门本体，101、第一通道，102、第二通道，103、真空容纳腔，2、带材，3、阀体组件，301、第三通道，302、阀体组件密封面，303、第一密封件，304，第二密封件，305、阀体组件连接面，306、第五密封件，4、阀板组件，401、阀板组件密封面，402、第三密封件，403、第四密封件，5、执行器，501、气缸杆，6、密封装置，601、密封座，602、密封圈、7、过渡缓冲装置，701、底座，702、过渡铰链，703、销轴，8、限位装置。

具体实施方式

下面，通过示例性的实施方式对本发明进行具体描述。然而应当理解，在没有进一步叙述的情况下，一个实施方式中的元件、结构和特征也可以有益地结合到其他实施方式中。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“左”、“右”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

参见图1至图6，在本发明一实施例中，提供了一种真空狭缝阀门，包括：

阀门本体1，阀门本体1上设有用于输送带材2的通道，所述通道包括设于阀门左侧壁上的第一通道101和设于阀门右侧壁上的第二通道102，阀门本体1内部设有真空容纳腔103，第一通道101和第二通道102均与真空容纳腔103连通；

放置于真空容纳腔103内的阀体组件3，阀体组件3设有用于输送带材2的第三通道301，且第三通道301与第一通道101连通；阀体组件密封面302与带材2前进方向的夹角为30度，阀体组件密封面302的通道出口围绕有两条可压缩的密封件，分别为第一密封件303和第二密封件304；

放置于真空容纳腔103内的阀板组件4，所述阀板组件4与所述阀体组件3配合，阀板组件密封面401与带材2前进方向的夹角为30度，阀板组件密封面401上设有与阀体组件密封面302上密封件相对应的可压缩的密封件，分别为第三密封件402和第四密封件403，其中，第三密封件402与第一密封件303相对应，第四密封件403与第二密封件304相对应；

设置于阀门本体1外部的执行器5，所述执行器5为气缸，所述执行器的驱动杆位气缸的气缸杆501，气缸的气缸杆501穿过阀门本体1与阀板组件4连接，用于带动阀板组件4移动。

为了阀体组件与阀门本体之间的密封，参见图7，在本发明一优选实施例中，与阀门本体1连接的阀体组件连接面305的通道进口围绕有一条密封件，为第五密封件306，阀体组件3通过第五密封件306与阀门本体1密封连接。

为了实现外部大气与执行器和阀门本体之间的密封，在本发明另一实施例中，所述执行器5与阀门本体1之间设有密封装置，所述执行器5的气缸杆501穿过密封装置与所述阀板组件4连接。参见图8，在本发明一优选实施例中，所述密封装置包括密封座601和安装于密封座601内的密封圈602。

执行器在带动阀板组件下落时后，阀板组件会压缩密封件，为了使密封件受力均匀，在本发明又一实施例中，所述执行器的气缸杆与阀板组件之间连接有过渡缓冲装置。参见图9，在本发明一优选实施例中，所述过渡缓冲装置包括安装于阀板组件4上的底座701和与执行器5的气缸杆501连接的过渡铰链702，过渡铰链702通过销轴703与底座701连接。

为了使阀板组件上的密封件与阀体组件上的密封件对应，参见图10，在本发明某一实施例中，所述真空容纳腔103内还设有用于限制阀板组件4运动的限位装置8，所述限位装置8安装于阀体组件3边缘。

为了进一步保证阀体组件与阀板组件之间的密封效果，在本发明某一优选实施例中，在第一密封件303和第二密封件304之间、或第三密封件402和第四密封件403之间连接真空泵，在阀门关闭时，启动真空泵使密封件之间形成梯度真空。

为了便于带材的传输，在发明某一优选实施例中，设于阀门本体上的通道和设于阀体组件上的通道均为矩形通道。

在上述实施例中，所述阀体组件和阀门组件均由金属材料制作而成，作为优选，所述金属材料为碳钢、不锈钢、铝合金中的一种或几种。

参见图10，在本发明一最优实施例中，包含上述实施例中的所有技术特征。本实施例中的真空狭缝阀门在进行带材输送过程中，当开启阀门时，执行器带动阀板组件上移，并通过限位装置限制阀板组件的运动，开启阀门后，带材可以自由通过阀门，阀门开启后的状态参见图11；当关闭阀门时，执行器带动阀板组件下移，并通过限位装置限制阀板组件的运动，阀门关闭后，阀板组件和阀体组件上密封件受压缩紧密贴合，密封件夹带密封，阀门关闭后的状态参见图12。

在上述实施例中，所述密封件均采用密封胶圈。

在上述实施例中，所述的限位装置可以为挡块、导向柱等具有限位功能的结构件。

在上述实施例中，可以根据带材的材料和性质设计阀板组件和阀门组件，调整阀板组件密封面和阀门组件密封面与带材前进方向的角度，可以在10-45度之间进行调整，可以调整为10度、15度、20度、25度、35度、40度、45度等不同的角度，已达到能够在不破坏带材的情况下，解决对不同真空室间的真空密封。

上述实施例用来解释本发明，而不是对本发明进行限制，在本发明的精神和权利要求的保护范围内，对本发明做出的任何修改和改变，都落入本发明的保护范围。