提高抽速的真空高阀的制作方法

本实用新型涉及真空设备使用的控制阀领域，具体涉及一种提高抽速的真空高阀。

背景技术：

真空镀膜技术，是在真空条件下采用物理或化学的方法，使物体表面获得所需要的膜体。真空镀膜技术根据其采用的方法不同可分为:蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等。为了获得更好的镀膜效果，更快地获得所要的真空度，在真空镀膜室和真空泵方面作了很多改进，但在真空阀方面一直没什么大的改进，而目前要快速达到最终真空高阀的真空度，一般通过多个泵设置成主泵和前置泵的方式来达到，能耗高，抽速也没快多少。

技术实现要素：

本实用新型主要解决的技术问题在于，提供一种提高抽速的真空高阀，且达到同样的真空度时能耗还低。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提高抽速的真空高阀，包括阀体、气缸和阀罩盖，所述阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、预抽真空阀连接口，所述真空容器连接口经所述阀体内与所述预抽真空阀连接口连通；所述阀体上设置所述气缸，气缸与所述阀体连接处密封连接；所述气缸的气缸轴伸入到所述阀体内，气缸轴设有阀罩盖，所述阀罩盖朝向所述预抽真空阀连接口，能在所述气缸轴驱动下关闭或打开所述预抽真空阀连接口；所述真空高阀还包括至少一个预抽真空阀，预抽真空阀通过阀体上的预抽真空阀连接口与阀体相连通。

作为本实用新型提高抽速的真空高阀的进一步改进，预抽真空阀设有一个，预抽真空阀的真空度低于真空高阀最终的真空度，预抽真空阀呈与阀体相同形状，预抽真空阀的阀本体上的在预抽真空阀连接口的相对位置上设有高真空泵连接口。这样等于在原先高真空泵与阀体之间增设了一个协助抽真空的预抽真空阀，在正式开始抽真空前阀罩盖不打开（处于关闭状态）先对预抽真空阀抽真空，这样无需只需简单抽真空一会，让预抽真空阀达到一定的真空度，然后在保持真空泵继续工作的情况下打开阀罩盖，由于预抽真空阀此时已经具备一定的真空度，阀体内的空气具备向空气稀薄的预抽真空阀内移动的趋势，这样预抽真空阀起到了帮助抽真空的作用，并且使得整个抽真空过程具备一个梯度，这样其实整个过程能耗低，且提高了抽速。

作为本实用新型提高抽速的真空高阀的另一种改进，预抽真空阀设有一个，预抽真空阀的真空度高于真空高阀最终的真空度，预抽真空阀呈与阀体相同形状，预抽真空阀的阀本体与阀体的规格一致。这样的设置可以根据阀体的尺寸及最初的真空度和目标真空度计算出预抽真空阀应该达到的真空度，能耗并未减少，但可以把对预抽真空阀抽真空的过程放在其他准备活动之前，正式抽速时间能够得到减少，但不推荐，毕竟预抽真空阀的真空度是远高于真空高阀最终的真空度的，整体能耗较大。

作为本实用新型提高抽速的真空高阀的进一步改进，预抽真空阀设有两个，依次连通，靠近阀体的那个预抽真空阀通过预抽真空阀连接口与阀体连通，远离阀体的那个预抽真空阀与靠近阀体的那个预抽真空阀通过一根管道连通，管道与远离阀体的那个预抽真空阀以及靠近阀体的那个预抽真空阀一体成型；远离阀体的那个预抽真空阀的真空度高于靠近阀体的那个预抽真空阀。这样是将整体抽真空的过程分成三个梯度，通过依次打开两个预抽真空阀及阀体实现随着时间的流逝逐渐提高真空度的方式，提高了抽速且降低了整个抽真空过程的能耗。

为了进一步提高抽速，可在阀体内设置风扇，在抽真空时同时驱动风扇转动，虽然随着阀体内的空气越来越稀薄风扇吹出的风越来越小，但在刚开始由于阀体内空气很多，因此在初始阶段配合预抽真空阀，能够极大地加速刚开始的抽速，使得整体抽真空所需时间减小。

本实用新型通过预抽真空阀的设置，给抽真空过程一个梯度，预抽真空阀的设置起到协助推动抽真空过程的作用，使得抽真空更迅速，达到同样的真空度时能耗较以前的技术方案低。

附图说明

图1为本实用新型提高抽速的真空高阀实施例一的结构示意图；

图2为图1刚开始抽气时的使用状态示意图（图示中圆圈表示空气分子）；

图3为图1抽气结束时的状态示意图；

图4为本实用新型实施例二初始状态示意图；

图5为图4中阀罩盖经气缸驱动打开后一段时间的状态示意图；

图6为本实用新型实施例三刚开始抽气时的使用状态示意图；

图7为图6抽气结束时的状态示意图。

图中：1、阀体 2、气缸 3、管道 4、真空容器连接口 5、预抽真空阀连接口 6、气缸轴 7、阀罩盖 8、预抽真空阀 9、高真空泵连接口 8-1、阀本体。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的以及效果有更加清楚地了解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

实施例一：

如图1至图3所示（图2、图3中最右边表示真空泵），提高抽速的真空高阀，包括阀体1、气缸2和阀罩盖7，所述阀体1内为中空结构，阀体1上设有真空容器连接口4、预抽真空阀连接口5，所述真空容器连接口4经所述阀体1内与所述预抽真空阀连接口5连通；所述阀体1上设置所述气缸2，气缸2与所述阀体1连接处密封连接；所述气缸2的气缸轴6伸入到所述阀体1内，气缸轴6设有阀罩盖7，所述阀罩盖7朝向所述预抽真空阀连接口5，能在所述气缸轴6驱动下关闭或打开所述预抽真空阀连接口5；所述真空高阀还包括至少一个预抽真空阀8，预抽真空阀8通过阀体1上的预抽真空阀连接口5与阀体1相连通。预抽真空阀8设有一个，预抽真空阀8的真空度低于真空高阀最终的真空度，预抽真空阀8呈与阀体1相同形状，预抽真空阀8的阀本体8-1上的在预抽真空阀连接口5的相对位置上设有高真空泵连接口9。

实施例二：

与实施例一的不同在于：如图4、图5所示，预抽真空阀8设有一个，预抽真空阀8的真空度高于真空高阀最终的真空度，预抽真空阀8呈与阀体1相同形状，预抽真空阀8的阀本体8-1与阀体1的规格一致。

实施例三：

与实施例一的不同在于：如图6、图7所示，预抽真空阀8设有两个，依次连通，靠近阀体1的那个预抽真空阀8通过预抽真空阀连接口5与阀体1连通，远离阀体1的那个预抽真空阀8与靠近阀体1的那个预抽真空阀8通过一根管道3连通，管道3与远离阀体1的那个预抽真空阀8以及靠近阀体1的那个预抽真空阀8一体成型；远离阀体1的那个预抽真空阀8的真空度高于靠近阀体1的那个预抽真空阀8。

以上内容是结合具体的优选技术方案对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。