专利名称：高真空微调阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种阀门，尤其是ー种真空微调阀。
背景技术：
高真空微调阀是用来向真空系统中充气，可精确调节进气流量，以控制和调节系统内的真空度。參照图2，现有技术中的高真空微调阀，又称针型阀，其阀芯部分为ー锥形针，靠螺杆传动来调节锥形针和孔的缝隙长度，改变阀座流导值。其通过向真空系统中充气并可精确调节进气流量，以控制和调节系统内的真空度。 由于其阀芯部分为针形结构，在エ艺上，有加工难的缺陷；在使用中有易断裂、易损坏、寿命不长、微调可靠性不强的缺陷。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术中的上述缺陷，提供一种エ艺性好、控制方便、微调性能可靠的高真空微调阀。本实用新型所述的高真空微调阀，包括阀体、阀芯杆以及连接气管，所述阀芯杆为圆柱形，所述阀芯杆的下端设有ー坡面。所述的阀芯杆，其坡面坡度为10至15度。所述阀体的内壁设有凹槽，所述凹槽内设有轴套，所述轴套上设有与所述连接气管联通的通气ロ。所述轴套外还设有密封圏。本实用新型所产生的有益效果为采用圆柱形的阀芯杆结构，并设有坡面，既具备可靠的微调效果，又增强了阀芯的強度，増加了微调阀的使用寿命。
图I为本实用新型结构示意图；图2为现有技术中高真空微调阀(针型阀)。
具体实施方式
如图I所示，本实用新型为ー种高真空微调阀，包括阀体I、阀芯杆2、连接气管3以及底座4。其中，阀芯杆2设于阀体I内，两者通过螺钉固定配合。阀体I的内壁设有凹槽，其内设有轴套11，轴套11外还设有密封圈13，以确保其与阀芯杆2间的密封效果。在轴套11上设有与连接气管3联通的通气ロ 12。底座4设有通孔41，阀芯杆2为圆柱形并且底部设有ー坡面，该坡面的最佳实施坡度为10至15度，阀体I与底座4通过螺纹配合连接，在工作时，通过两者的螺杆传动，调节阀芯杆2和底座4通孔41之间缝隙的大小，从而改变阀座流导值。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种修改或补充抑或采用类似的方式替代，但不会偏离本实用新型的精神或者超越所 附权利要求书所定义的范围。
权利要求1.高真空微调阀，包括阀体(I)、阀芯杆(2)以及连接气管(3)，其特征在干所述阀芯杆(2)为圆柱形，其下部设有ー坡面。
2.根据权利要求I所述的高真空微调阀，其特征在于所述的阀芯杆(2)，其坡面坡度% 10至15度。
3.根据权利要求I所述的高真空微调阀，其特征在于所述阀体(I)的内壁，设有凹槽，所述凹槽内设有轴套(11)，所述的轴套上设有与所述连接气管(3)联通的通气ロ(12)。
4.根据权利要求I所述的高真空微调阀，其特征在于所述轴套(11)外设有密封圈(13)。
专利摘要本实用新型涉及一种阀门，尤其是一种真空微调阀,其发明目的是提供一种工艺性好、控制方便、微调性能可靠的高真空微调阀。本实用新型所述的高真空微调阀，包括阀体、阀芯杆以及连接气管，其特征在于所述阀芯杆为倒圆台形。采用倒圆台形的阀芯杆结构，既可以达到传统针型微调阀的微调效果，又增强了阀芯的强度，增加了微调阀的使用寿命及可靠性。
文档编号F16K1/38GK202451848SQ201220033880
公开日2012年9月26日 申请日期2012年2月3日 优先权日2012年2月3日
发明者张前淞, 方保华 申请人:上海磊航机械制造有限公司