一体式高速超精密定位二维平台的制作方法

技术特征：

1.一体式高速超精密定位二维平台，包括底座，其特征在于：所述的底座上设置有浮动平台和平台支持底座，平台支持底座上设置有X轴宏动平台，平台支持底座与X轴宏动平台之间设置有X轴平台前导轨副和X轴平台后导轨副，X轴宏动平台上设置有Y轴宏动平台，X轴宏动平台与Y轴宏动平台之间设置有Y轴平台右导轨副和Y轴平台左导轨副，Y轴宏动平台上设置有XY微动平台，浮动平台上设置有复合音圈电机定子，复合音圈电机定子内设置有复合音圈电机转子，复合音圈电机转子内设置有复合旋转电机转子，复合旋转电机转子内设置有复合旋转电机定子，复合旋转电机转子的前端设置有转子齿轮，Y轴宏动平台上设置有连接平台，连接平台的下部设置有齿条，齿条与转子齿轮啮合连接，X轴宏动平台的一侧面设置有导轨，导轨上设置有滑块，滑块与复合旋转电机定子固定连接。

2.根据权利要求1所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的浮动平台包括上平台和下平台，上平台和下平台之间设置有左导轨副和右导轨副，左导轨副和右导轨副为滑动导轨副，下平台的中间位置设置有台阶状凹槽，台阶状凹槽的前后面设置有前挡块和后挡块，前挡块和后挡块之间设置有左导杆和右导杆，左导杆和右导杆的中部设置有中央挡块，中央挡块与上平台连接，左导杆上设置有左前弹簧和左后弹簧，右导杆上设置有右前弹簧和右后弹簧。

3.根据权利要求2所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的中央挡块与前挡板之间设置有前阻尼器，中央挡块与后挡板之间设置有后阻尼器。

4.根据权利要求1所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的Y轴平台右导轨副和Y轴平台左导轨副为滑动导轨副，X轴平台前导轨副和X轴平台后导副为滑动导轨副。

5.根据权利要求1所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的复合音圈电机转子与复合旋转电机转子之间设置有左滑动轴承和右滚动轴承。

6.根据权利要求1所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的复合旋转电机转子与转子齿轮固定连接。

7.根据权利要求1所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的Y轴宏动平台靠近连接平台的一侧设置有粗光栅玻璃尺读头，Y轴宏动平台的另一侧设置有精光栅玻璃尺读头，X轴宏动平台的上表面的Y轴方向设置有Y轴平台左光栅尺和Y轴平台右光栅尺，X轴宏动平台下部X轴方向设置有X轴平台前光栅尺和X轴平台后光栅尺，平台支撑底座的前侧面固定设置有粗光栅玻璃尺读头，平台支撑底座的后侧面固定设置有精光栅玻璃尺读头。

8.根据权利要求7所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的Y轴宏动平台的粗光栅玻璃尺读头与Y轴平台左光栅尺对齐，Y轴宏动平台的精光栅玻璃尺读头与Y轴平台右光栅尺对齐，平台支撑底座的粗光栅玻璃尺读头与X轴平台前光栅尺对齐，平台支撑底座的精光栅玻璃尺读头与X轴平台后光栅尺对齐。

9.根据权利要求1所述的一体式高速超精密定位二维平台，其特征在于：所述的XY微动平台与Y轴宏动平台通过柔性铰链连接，XY微动平台上设置有X轴压电驱动器和Y轴压电驱动器。