一种斜向推拉挡板阀的制作方法

本发明涉及阀门领域，特别是涉及一种斜向推拉挡板阀。

背景技术：

在各类多腔室真空设备中，托盘在各腔室内穿梭，以进行不同工艺处理。由于各个腔室功用不同，一定时间内，各腔室压力，气体成分不尽相同；为此各腔室之间在一定条件和一定时间内需要进行隔离。

目前市面上用于隔离各腔室的机械开闭阀体大致可以分为三类：

一、插板阀

以外接型插板阀为例，其原理为插板阀的阀板自腔体贯穿口一侧插入贯穿口另一侧，在阀体内部压紧密合后，腔体两侧隔离。

但由于插板阀基本为外置型，所以需要向专业厂商定制，其价格昂贵。

二、翻板阀

翻板阀有腔体外置型和腔体内置型两种，原理为阀板随着转轴转动，转动一定角度时，阀板完全盖住腔体贯穿口对应区域，并且在该区域内密封。

但由于翻板阀有内置型外置型，阀板是随着转轴转动的，要多次调试安装轴、阀板的位置及反转角度，以使得阀板完全密封贯穿口，其安装调试繁琐。

三、组合阀

组合阀的样式多样，常见的多用于设备最外侧load(装载)腔室及unload(卸载)腔室。阀板先整体远离腔体贯穿口，然后整体向贯穿口90度方向平移让出用于传送的贯穿口。

但因为组合阀的运动方式为先x方向然后y方向，整体运动控制要两步，所以需要至少两组驱动；且其体积较大，一般只限用于设备的最外侧。

为此，设计了一种能够克服上述体积大、结构繁、价格贵缺点的斜向推拉挡板阀。

技术实现要素：

本发明主要解决的技术问题是提供一种斜向推拉挡板阀，能够解决各腔室之间隔离及贯通的问题，还降低了安装调试难度、减少了调试时长，且结构简单、容易控制、使用成本低。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种斜向推拉挡板阀，应用于具有多腔室的真空设备中，所述真空设备的每个腔室上均具有相连通的贯穿口；斜向推拉挡板阀包括用于密封封闭贯穿口的隔离挡板，用于辅助隔离挡板封闭贯穿口的多个导向机构，以及用于控制隔离挡板是否封闭贯穿口的多个推拉机构；多个导向机构均固定安装在腔室内靠近所述贯穿口的位置，且多个导向机构沿贯穿口的长度方向分布；所述推拉机构倾斜设置在所述腔室上，所述推拉机构的数量与所述导向机构的数量相等；多个推拉机构分别与多个导向机构一一相对，且多个推拉机构与多个导向机构分别位于所述贯穿口的两侧；所述隔离挡板位于所述腔室内，所述隔离挡板固定在所述推拉机构上；所述推拉机构伸长推动所述隔离挡板向所述贯穿口靠近，当推拉机构与所述导向机构接触做相应的位置调整后，推拉机构停止推动，所述隔离挡板封闭所述贯穿口；所述推拉机构缩短拉动所述隔离挡板打开并远离所述贯穿口，直至隔离挡板不在贯穿口的延伸范围内，推拉机构停止拉动。

优选的，所述导向机构包括固定安装在所述腔体内侧壁上的滚轮底座，以及可转动的设置在所述滚轮底座上的导向滚轮；所述滚轮底座与所述腔体的内侧壁之间形成有避让口，所述导向滚轮的外轮廓凸出位于该避让口内。

优选的，所述滚轮底座呈l型，滚轮底座的一端通过底座螺丝与所述腔体的内侧壁固定连接，滚轮底座的另一端与所述导向滚轮可转动连接。

优选的，所述推拉机构包括气缸、气缸座和外密封圈；所述气缸座固定安装在所述腔体的外侧壁上；所述外密封圈位于所述气缸座与所述腔体之间，所述外密封圈嵌设在所述气缸座上；所述气缸固定安装在所述气缸座的倾斜面上，所述气缸的活塞杆加长设置为推拉杆，推拉杆穿过气缸座以及腔体外壁伸向所述贯穿口；所述推拉杆上与所述气缸相连的一端为连接端，所述推拉杆上伸入所述腔体内的一端为伸入端，所述伸入端到第一腔体的距离小于所述连接端到第一腔体的距离；所述推拉杆的伸入端上设置有阀板座，所述阀板座通过活动轴与所述推拉杆的伸入端旋转连接；所述阀板座上对应所述导向滚轮的一侧倾斜设置为斜平面，该斜平面平行于所述推拉杆的轴线。

优选的，所述隔离挡板包括阀板和内密封圈；所述阀板上远离所述贯穿口的外表面同时与多个推拉机构的阀板座固定连接，所述阀板上对应所述贯穿口的内表面嵌设有所述内密封圈，且所述阀板与所述内密封圈均大于所述贯穿口。

优选的，所述推拉杆上套设有一个弹簧座和一个螺母；所述推拉杆外侧壁上靠近所述阀板座的位置设有一圈外螺纹，该外螺纹与所述螺母的内螺纹相配合；所述弹簧座位于所述螺母与所述阀板座之间，所述弹簧座一端与所述螺母固定连接，所述弹簧座另一端固定设置有两个弹簧，两个弹簧关于所述推拉杆的轴线对称；所述弹簧的两端分别抵在所述弹簧座和所述阀板座上。

优选的，所述气缸座通过固定螺丝固定安装在所述腔体的外侧壁上。

优选的，所述真空设备中两个相连的腔室分别为第一腔室和第二腔室，所述第一腔室的内部压强小于所述第二腔室的内部压强；所述斜向推拉挡板阀固定安装在所述第二腔室上。

优选的，当所述第一腔室为最端部的腔室、即没有所述第二腔室时，所述斜向推拉挡板阀设置在第一腔室的外部，所述导向机构固定安装在所述第一腔室的外侧壁上靠近贯穿口的位置，所述推拉机构通过支撑板固定在所述第一腔室上。

本发明的有益效果是：本发明能够解决各腔室之间隔离及贯通的问题，可根据腔体大小自行设计制作，价格成本低；采用斜向推拉的驱动结构降低了调试难度，斜平面与导向滚轮的结构设计减少了调试时长；并且采用的是直线式驱动，结构简单，体积较小，控制容易。

附图说明

图1是本发明一种斜向推拉挡板阀处于封闭贯穿口状态时的结构示意图；

图2是本发明一种斜向推拉挡板阀处于打开贯穿口状态时的结构示意图；

图3是图2中p向视角的结构示意图。

附图中各部件的标记如下：1、第一腔室；2、第二腔室；3、贯穿口；4、导向机构；41、导向滚轮；42、滚轮底座；421、避让口；43、底座螺丝；5、推拉机构；51、气缸；52、推拉杆；53、气缸座；531、倾斜面；54、固定螺丝；55、外密封圈；56、弹簧座；57、螺母；58、弹簧；59、阀板座；591、斜平面；6、隔离挡板；61、阀板；63、内密封圈；64、活动轴；7、内部传送边界线。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1至图3，本发明实施例包括：

一种斜向推拉挡板阀，应用于具有多腔室的真空设备中；所述真空设备中两个相连的腔室分别为第一腔室1和第二腔室2，所述第一腔室1的内部压强小于所述第二腔室2的内部压强；所述第一腔室1与所述第二腔室2之间具有连通第一腔室1与第二腔室2的贯穿口3，贯穿口3可供真空设备内的传送托盘进行来回移动；所述斜向推拉挡板阀安装在所述第二腔室2上。所述斜向推拉挡板阀包括：用于密封封闭贯穿口3的隔离挡板6，用于辅助隔离挡板6封闭贯穿口3的两个导向机构4，以及用于控制所述隔离挡板6是否封闭贯穿口3的两个推拉机构5。

两个所述导向机构4对称安装在所述第二腔室2内靠近所述贯穿口3的位置，且两个导向机构4分别位于所述贯穿口3两端，即两个导向机构4是沿贯穿口3的长度方向分布，以便于配合隔离挡板6封闭贯穿口3。所述导向机构4包括导向滚轮41、滚轮底座42和底座螺丝43；所述滚轮底座42呈l型，所述滚轮底座42的一端通过所述底座螺丝43与所述第二腔体的内侧壁固定连接，滚轮底座42的另一端可转动的设置有一对所述导向滚轮41，当然该导向滚轮41也可以是单个，位于滚轮底座42的中心；所述滚轮底座42与所述第二腔体的内侧壁之间形成有避让口421，所述导向滚轮41的外轮廓凸出位于该避让口421内；避让口421可以让隔离挡板6的端部无障碍插入，导向滚轮41可以辅助限制隔离挡板6封闭贯穿口3并与第二腔体的内侧壁密封配合。

两个所述推拉机构5分别与两个所述导向机构4一一相对，且所述推拉机构5与所述导向机构4分别位于所述贯穿口3的两侧。所述推拉机构5包括气缸51、气缸座53、固定螺丝54和外密封圈55；所述气缸座53通过所述固定螺丝54固定安装在所述第二腔体的外侧壁上；所述外密封圈55位于所述气缸座53与所述第二腔体之间，以保证气缸座53与第二腔体之间的密封性；所述外密封圈55嵌设在所述气缸座53上，以方便加工以及安装；所述气缸51固定安装在所述气缸座53的倾斜面531上，所述气缸51的活塞杆加长设置为推拉杆52，推拉杆52穿过气缸座53以及第二腔体外壁伸向所述贯穿口3；所述推拉杆52上与所述气缸51相连的一端为连接端，所述推拉杆52上伸入所述第二腔体内的一端为伸入端，所述伸入端到第一腔体的距离小于所述连接端到第一腔体的距离。所述推拉杆52的伸入端上设置有阀板座59，所述阀板座59通过活动轴64与所述推拉杆52的伸入端旋转连接，即阀板座59可绕活动轴64的轴线转动；所述阀板座59上对应所述导向滚轮41的一侧倾斜设置为斜平面591，且该斜平面591平行于所述推拉杆52的轴线；在推拉杆52推出时，阀板座59的斜平面591可抵在导向滚轮41上，使与阀板座59固定相连的隔离挡板6向第一腔体和第二腔体的贯穿口3处受力，保证内隔离挡板6紧压在第二腔体的贯穿口3处，确保密封性。

所述隔离挡板6包括阀板61和内密封圈63；所述阀板61上远离所述贯穿口3的外表面对应与两个所述推拉机构5固定连接，所述阀板61上对应所述贯穿口3的内表面嵌设有所述内密封圈63，且所述阀板61与所述内密封圈63均大于所述贯穿口3，以保证隔离挡板6抵在贯穿口3处时，阀板61与第二腔体内侧壁之间的密封性。

所述推拉杆52上套设有一个弹簧座56和一个螺母57；所述推拉杆52外侧壁上靠近所述阀板座59的位置设有一圈外螺纹，该外螺纹与所述螺母57的内螺纹相配合，以使螺母57与推拉杆52之间能够螺纹连接；所述弹簧座56位于所述螺母57与所述阀板座59之间，所述弹簧座56一端与所述螺母57固定连接，所述弹簧座56另一端固定设置有两个弹簧58，两个弹簧58关于所述推拉杆52的轴线对称；所述弹簧58的两端分别抵在所述弹簧座56和所述阀板座59上，这样隔离挡板6可以围绕活动轴64做轻微转动，调节隔离挡板6的角度位置，以使阀板61与第二腔体的内侧壁平齐，保证密封性，同时也给了导向滚轮41抵住斜平面591的运动活动范围。

两个气缸51动作同时推动两个推拉杆52，隔离挡板6逐渐向贯穿口3靠近，当阀板座59与导向滚轮41接触做相应的位置调整后，导向滚轮41可以通过阀板座59限制隔离挡板6充分抵在第二腔体上以完全密封贯穿口3，如图1所示，此时两个气缸51也停止推动相应的推拉杆52。两个气缸51动作同时拉动两个推拉杆52，隔离挡板6打开贯穿口3并逐渐远离贯穿口3和导向滚轮41，直至隔离挡板6到达避让位置，如图2所示；隔离挡板6在避让位置能够避让第二腔体内传送托盘的运动轨迹(即内部传送边界线7形成的范围空间，该范围空间也是贯穿口的延伸范围)，以便于传送托盘的移动。

当所述第一腔室1为最端部的腔室、即没有所述第二腔室2时，所述斜向推拉挡板阀设置在第一腔室1的外部，所述导向机构4固定安装在所述第一腔室1的外侧壁上靠近贯穿口3的位置，所述推拉机构5通过支撑板固定安装在所述第一腔室1上。

本发明能够解决各腔室之间隔离及贯通的问题，可根据腔体大小自行设计制作，价格成本低；采用斜向推拉的驱动结构降低了调试难度，斜平面591与导向滚轮41的结构设计减少了调试时长；并且采用的是直线式驱动，结构简单，体积较小，控制容易。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。