气体流量控制阀的制作方法

本发明涉及一种气体流量控制阀，其使用于使燃料气体燃烧的燃气设备中，并控制燃料气体的气体流量。

背景技术：

在使燃料气体燃烧的燃气设备中，有时需要在较小的气体流量范围内精细地控制气体流量。例如，在燃气炉具中，为了防止在煮炖烹调中烧焦，需要精细地火力控制成文火。因此，在燃气炉具等的燃气设备中，作为用于控制燃料气体的气体流量的控制阀，采用能够在较小的气体流量范围内成为细流量的针式的气体流量控制阀。

针式的气体流量控制阀具有细长的圆柱形状的阀杆、形成于阀杆的顶端侧的尖细形状的流量控制部以及供流量控制部的顶端侧插入的阀孔。并且，在使阀杆沿轴向进退移动时，通过使在细长形状的流量控制部与阀孔之间形成的间隙的面积变化，能够进行精细的流量控制。此外，圆柱形状的阀杆由阀轴承保持为能够沿轴向进退移动的状态，阀杆的外周面与阀轴承的内周面之间的间隙被橡胶制的o型密封圈保持气密。

当使阀杆沿轴向进退移动时，嵌入阀杆的o型密封圈相对于阀轴承的内周面滑动。或者，在o型密封圈嵌入阀轴承侧的情况下，o型密封圈相对于阀杆的外周面滑动。因此，为了防止伴随该滑动产生的o型密封圈的磨耗、热损伤等，o型密封圈在涂布了润滑脂的状态下进行组装(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-032873号公报

技术实现要素：

发明要解决的问题

但是，上述针式的气体流量控制阀存在如下的问题，即，在长期使用燃气设备时，对燃料气体的气体流量的控制变得困难，特别是在较小的气体流量范围内难以进行精细的气体流量的控制。因此，对其原因进行了详细的调查，结果发现其原因在于，在为了进行气体流量的控制而反复使阀杆进退移动时，涂布于o型密封圈的润滑脂移动到形成于阀杆的顶端的流量控制部，从而使流量控制部与阀孔之间的间隙缩窄。并且，进行了更加详细的调查，其结果也明确了润滑脂能够移动到本来不应到达的流量控制部的机理。

本发明是基于上述新得到的见解而完成的，其目的在于提供一种即使在燃气设备被长期使用的情况下也能够在较小的流量范围内精细地控制燃料气体的气体流量的气体流量控制阀。

用于解决问题的方案

为了解决上述课题，本发明的气体流量控制阀采用了如下结构。即，

该气体流量控制阀使用于使燃料气体燃烧的燃气设备中，并对所述燃料气体的气体流量进行控制，该气体流量控制阀的特征在于，

其具有：

阀杆，其形成为圆柱形状；

流量控制部，其以尖细形状形成于所述阀杆的顶端侧；

阀孔，其供所述流量控制部的顶端侧插入；

阀轴承，其通过使所述阀杆贯穿，将该阀杆保持为能够沿轴向进退移动的状态；

o型密封圈，其将所述阀杆的外周面与所述阀轴承的内周面之间保持气密，并且涂布有润滑脂；以及

驱动部，其使所述阀杆进退移动，

在所述阀杆的引入部与所述流量控制部之间的位置形成有将该阀杆的轴径扩径为台阶状的扩径壁，其中，该引入部是在通过该阀杆进退移动而被引入所述阀轴承内的部分。

在该本发明的气体流量控制阀中，在将形成于阀杆的顶端侧的尖细形状的流量控制部插入于阀孔的状态下使阀杆进退移动，来使形成于流量控制部与阀孔之间的间隙的大小发生变化，从而控制气体流量。阀杆被阀轴承支承并能够沿轴向进退移动，阀杆的外周面与阀轴承的内周面之间被o型密封圈保持气密，并且在o型密封圈涂布有润滑脂。此外，阀杆的外周面的一部分成为因阀杆进退移动而被引入阀轴承内的引入部，在该引入部与流量控制部之间的位置形成有将阀杆的轴径扩径为台阶状的扩径壁。

像上述那样，伴随阀杆的进退移动而被引入阀轴承内的部分直到引入部为止，因此，本来不会认为涂布于o型密封圈的润滑脂会移动到形成于阀杆的顶端侧的流量调整部。原本对于涂布于o型密封圈的润滑脂来说，也未涂布有能到达流量调整部那么多量的润滑脂。但是发现如下情形，即，润滑脂在阀杆的外周面附着的部分的形状成为舌形状，在使阀杆进退移动时，润滑脂集中地向舌形状的顶端供给，其结果是，舌形状的顶端部分细长地延伸，不久润滑脂进入到阀杆的顶端的流量调整部，以上的详细说明见后述。因而，若在阀杆的引入部与流量控制部之间的位置预先设置将阀杆的轴径扩径为台阶状的扩径壁，则当细长地延伸的舌形状的顶端到达扩径壁时，在此之前朝向流量控制部的润滑脂的流动被扩径壁阻挡而方向转换为横向。并且，由于润滑脂自集中于舌形状的顶端部分到达流量控制部，且供给的润滑脂的绝对量较少，因此，若利用扩径壁使润滑脂的流动的方向朝向横向，则就不会发生越过扩径壁而到达流量控制部的情况。因此，即使在反复进行阀杆的进退移动的情况下，也不会发生涂布于o型密封圈的润滑脂进入到阀杆的顶端的流量控制部。其结果是，即使在搭载于燃气设备的气体流量控制阀被长期使用的情况下，也能够在较小的流量范围内精细地控制燃料气体的气体流量。

此外，也可以是，在上述的本发明的气体流量控制阀中，通过在阀杆的外周面穿设障碍槽，而将障碍槽的靠流量控制部侧的侧壁面设为扩径壁。

如此一来，仅通过在阀杆的外周面穿设障碍槽，就能够简单地形成扩径壁。

此外，也可以是，在阀杆的外周面穿设有障碍槽的本发明的气体流量控制阀中，以障碍槽的与扩径壁所在侧相反的一侧的侧壁面到达引入部的内侧这样的槽宽度来穿设障碍壁。

当使阀杆进退移动时，附着于阀杆的外周面的润滑脂被阀轴承的端面刮出，从而产生朝向流量控制部的润滑脂的流动，以上的详细说明见后述。因而，若预先将障碍槽的槽宽度设为使与扩径壁所在侧相反的一侧的侧壁面到达引入部的内侧这样的槽宽度，则在使阀杆后退直到障碍槽的侧壁面与阀轴承的端面对齐，然后，即便使阀杆进一步后退，也不会发生润滑脂阀被轴承的端面刮出的情况。因此，能够抑制朝向流量控制部的润滑脂的流动，能够进一步可靠地防止润滑脂进入流量控制部。

此外，也可以是，在上述的本发明的气体流量控制阀中，通过在阀杆的外周面突出设置障碍壁，而将障碍壁的靠引入部侧的侧壁面设为扩径壁。

如此一来，仅通过在阀杆的外周面突出设置障碍壁，就能够简单地形成扩径壁。

附图说明

图1是表示本实施例的气体流量控制阀1的外观形状的立体图。

图2是表示本实施例的气体流量控制阀1的内部构造的分解组装图。

图3是表示本实施例的气体流量控制阀1使阀芯10进退移动而控制气体流量的情形的说明图。

图4是表示当长期使用以往的气体流量控制阀9时润滑脂13g进入阀杆91的顶端侧的流量控制部12而难以进行精细的气体流量控制的理由的说明图。

图5是表示在本实施例的气体流量控制阀1中使用的阀芯10的形状的说明图。

图6是表示在本实施例的气体流量控制阀1中能够防止润滑脂13g进入阀杆11的顶端侧的流量控制部12的理由的说明图。

图7是关于在将本实施例的气体流量控制阀1设为了最大流量时穿设于阀杆11的障碍槽14的一部分进入阀轴承22内的理由的说明图。

图8是表示在变形例的气体流量控制阀1中使用的阀芯10的形状的说明图。

图9是表示在变形例的气体流量控制阀1中能够防止润滑脂13g进入阀杆11的顶端侧的流量控制部12的理由的说明图。

附图标记说明

1、气体流量控制阀；10、阀芯；11、阀杆；11a、引入部；12、流量控制部；13、o型密封圈；13g、润滑脂；14、障碍槽；14a、底部；14b、扩径壁；14c、侧壁；15、障碍壁；15a、扩径壁；20、主体外壳；21a、阀室；22、阀轴承；30、阀孔板；31、阀孔；40、主阀单元；42、主阀；50、驱动单元。

具体实施方式

图1是表示本实施例的气体流量控制阀1的外观形状的立体图。如图所示，本实施例的气体流量控制阀1具有：主体外壳20；阀孔板30，其安装于主体外壳20；主阀单元40，其安装于阀孔板30；阀芯10，其插入于主体外壳20的阀轴承22并能够进退移动；以及驱动单元50，其用于使阀芯10进退移动。如图中较粗的单点划线的箭头所示，燃料气体从在主阀单元40的侧面竖立设置的流入管道40p向主阀单元40的内部流入，经过形成于阀孔板30的未图示的阀孔流入到主体外壳20的内部，然后，从在主体外壳20的侧面竖立设置的流出管道20p流出。并且，通过使用驱动单元50来使阀芯10进退移动，从而能够控制燃料气体的气体流量。

图2是表示本实施例的气体流量控制阀1的内部构造的分解组装图。如图所示，主体外壳20具有：中空的圆筒形状的主体部21；阀室21a，其形成于主体部21的内部；中空的圆筒形状的阀轴承22，其相对于主体部21设为同轴状；以及中空的流出管道20p，其从主体部21朝向侧方竖立设置。

此外，阀孔板30是在中央形成有圆形的阀孔31的呈大致圆板形状的构件，通过将从单面侧突出设置的圆板形状的装配部30a插入主体外壳20的阀室21a而组装于主体外壳20。

阀芯10具有圆柱形状的阀杆11和形成于阀杆11的顶端侧的尖细形状的流量控制部12，在与流量控制部12所在侧相反的一侧的端部形成有嵌合于驱动单元50的嵌合部11h。此外，在阀杆11的外周面的中间的位置嵌入有橡胶制的o型密封圈13，并且，在流量控制部12的近前侧的位置穿设有围绕阀杆11的外周面一周的障碍槽14。阀杆11的外径比形成于主体外壳20的阀轴承22的内径小，且当将阀杆11插入阀轴承22时，能够使阀杆11在阀轴承22内进退移动。此外，阀杆11的外周面与阀轴承22的内周面之间利用o型密封圈13保持气密。并且，在将阀孔板30组装于主体外壳20的状态下将阀芯10插入阀轴承22时，形成于阀杆11的顶端侧的流量控制部12的顶端插入阀孔板30的阀孔31内。

驱动单元50内置有未图示的电动机、齿轮机构等，当驱动电动机时，能够借助阀芯10的嵌合部11h使阀芯10进退移动。另外，在本实施例中，驱动单元50对应于本发明的“驱动部”。

主阀单元40是在主阀外壳41组装有主阀42的构造，主阀42的阀杆42a成为向形成于主阀外壳41的内部的主阀室41a突出的状态。并且，流入管道40p与主阀室41a连通。此外，如前述那样，在阀孔板30突出设置有用于安装主体外壳20的装配部30a，在与突出设置有装配部30a的侧相反的一侧的面也突出设置有未图示的装配部。主阀单元40以该装配部嵌入主阀室41a的内周的方式安装于阀孔板30。在主阀42开阀的状态下，阀杆42a引入，成为阀杆42a的顶端部42b与阀孔板30的阀孔31分开的状态，当主阀42闭阀时，阀杆42a突出，成为阀杆42a的顶端部42b抵接于阀孔板30而将阀孔31封闭的状态。此外，阀孔板30的厚度设定为如下这样的厚度，即，在阀杆42a的顶端部42b将阀孔31封闭的状态下，即使阀杆11的流量控制部12插入阀孔31内，流量控制部12的顶端也不会与阀杆42a的顶端部42b干涉。

图3是表示通过本实施例的气体流量控制阀1使阀杆11进退移动而控制气体流量的动作的说明图。在图3的(a)中示出使阀杆11最大程度进入的状态。在该状态下，形成于阀杆11的顶端侧的流量控制部12进入阀孔31内而将阀孔31封闭，其结果是，成为燃料气体无法通过阀孔31的全闭状态。但是，像前述那样，由于流量控制部12是顶端变细的形状，因此，当使阀杆11后退时，流量控制部12的外周面与阀孔31的内周面分开，在流量控制部12与阀孔31之间产生间隙，燃料气体通过该间隙。

图3的(b)表示通过阀杆11后退而在流量控制部12与阀孔31之间产生间隙的状态。此外，由图中较粗的虚线所示的箭头表示燃料气体经过在流量控制部12与阀孔31之间产生的间隙并流动的情形。由于流量控制部12与阀孔31之间的间隙较小，因此，通过间隙的燃料气体的流量也减少，因而，如果是在燃气炉具中，则能够调为所谓的文火状态。此外，若使阀杆11进一步后退，则流量控制部12与阀孔31之间的间隙变大，燃料气体的流量增加，相反，若使阀杆11前进，则流量控制部12与阀孔31之间的间隙变小，燃料气体的流量减少。因而，通过使阀杆11进退移动，能够在较小的流量范围内精细地控制燃料气体的流量。此外，由于阀轴承22的内周面与阀杆11之间利用o型密封圈13保持气密，因此，即便使阀杆11进退移动，燃料气体也不会从阀杆11与阀轴承22之间泄漏。

图3的(c)表示使阀杆11后退到最大程度的状态。在该状态下，流量控制部12与阀孔31之间的间隙变得最大。其结果是，如图中由较粗的虚线的箭头所示那样，通过间隙的燃料气体的流量也变为最大。此外，即便使阀杆11进退移动，阀轴承22的位置也不会变动，因此，当使阀杆11进退移动时，成为阀杆11收纳在阀轴承22内的状态的部分进行移动。即，在图3的(a)所示的全闭状态下，阀杆11的靠近离嵌合部11h的部分收纳在阀轴承22内，但在图3的(c)所示的全开状态下，成为了靠近流量控制部12的部分被引入阀轴承22内而收纳在阀轴承22内的状态。并且，当从图3的(c)所示的全开状态成为图3的(a)的全闭状态时，此次成为阀杆11的靠近嵌合部11h的部分被引入阀轴承22内而收纳在阀轴承22内的状态。因而，在图3的(c)中对阀杆11标注斜线来表示的部分成为能够被引入阀轴承22内的部分(即引入部11a)。此外，阀杆11的长度形成得比引入部11a长，流量控制部12经由比引入部11a靠外侧的(因而不会被引入阀轴承22内的)阀杆11设于其顶端。

在此，众所周知，o型密封圈13以涂布有润滑脂13g的状态组装。因而，能够想到，成为在阀轴承22的内周面附着有润滑脂13g的状态，在阀杆11能够被引入阀轴承22内的部分即引入部11a也附着有润滑脂13g。但是，难以容易地想到在设于离开引入部11a的位置的流量控制部12附着有润滑脂13g。但发现存在如下的情况，即，实际上，涂布于o型密封圈13的润滑脂13g在使阀杆11进退移动期间被运送到设于离开引入部11a的位置的流量控制部12，从而使流量控制部12与阀孔31之间的间隙缩窄。以下关于这一点详细地进行说明。

图4是关于附着于o型密封圈13的润滑脂13g被运送到流量控制部12的机理的说明图。图4的(a)表示在气体流量控制阀1中刚刚将以往的阀杆91组装之后的状态(即，使阀杆91进退移动之前的状态)。另外，为了便于说明，通过在比阀杆91的中心轴靠上侧的位置破坏阀轴承22，以显现阀杆91的表面的状态来表示。此外，在为了组装涂布有润滑脂13g的阀杆91而将该阀杆91插入阀轴承22内的阶段，能够想到在阀轴承22与阀杆91之间附着有润滑脂13g，但为了便于理解，在图4的(a)中表示为，润滑脂13g附着于o型密封圈13的附近，但未附着于远离o型密封圈13的部位。

当从图4的(a)所示的状态(在此为全闭状态)使阀杆91后退时，o型密封圈13也在阀轴承22内后退。这时，附着于阀轴承22的内周面的润滑脂13g被后退的o型密封圈13拖曳，结果在多处被拉长为舌形状。在图4的(b)中，为了易于理解润滑脂13g被拉长为舌形状的情形，表示阀杆91后退到全开状态的情形。此外，在阀轴承22的内周面与阀杆91的外周面之间只有微小的间隙，因此，附着于阀轴承22的内周面的润滑脂13g也立刻附着于阀杆91的外周面。

然后，当为了使燃料气体的气体流量减少而使阀杆91前进时，如图4的(c)所示，在此之前存在于阀轴承22内且附着有润滑脂13g的部分出现在阀轴承22之外。但是，在该阶段，阀杆91的附着有润滑脂13g的部分是刚才被引入到阀轴承22内的部分，因此，并不是润滑脂13g被运送到图3的(c)所示的引入部11a之外。

但是，如图4的(c)所示，在阀杆91的附着有润滑脂13g的部分出现在阀轴承22之外的状态下，当欲使阀杆91后退时，附着于阀杆91的润滑脂13g成为被阀轴承22的端面刮出这样的状态。图4的(c)中所示的涂黑的箭头表示阀轴承22的端面欲将附着于阀杆91的润滑脂13g刮出的部位。当然，在附着于阀杆91的润滑脂13g中，由于存在于阀杆91与阀轴承22的间隙的润滑脂13g的一部分因移动被阀杆91引出，因此，该润滑脂13g不会厚厚地附着于阀杆91的表面。但是，在阀杆91进退移动时，无法避免阀杆91或多或少地进行晃动的动作，因此，在使阀杆91后退时，附着于阀杆91的润滑脂13g的一部分被阀轴承22的端面刮出。并且，被刮出的润滑脂13g与朝向在阀杆91中还未附着润滑脂13g的部分流动相比，更容易朝向已附着润滑脂13g的部分流动，因此，被刮出的润滑脂13g向舌形状的顶端供给。其结果是，舌形状的顶端集中地伸展下去。

图4的(d)表示从图4的(c)所示的状态使阀杆91后退，其结果，润滑脂13g的一部分被阀轴承22的端面刮出并呈舌形状伸展的状态。当从该状态使阀杆91前进时，如图4的(e)所示，附着有润滑脂13g的舌形状的部分出现在阀轴承22之外。这时的舌形状是在使阀杆91后退时润滑脂13g的一部分被刮出而使舌形状的顶端部分细长地伸展而成的形状。并且，当从该状态再次使阀杆91后退时，附着于阀杆91的润滑脂13g的一部分被阀轴承22的端面刮出，其结果是，附着有润滑脂13g的舌形状的部分进一步细长地伸展。图4的(e)中所示的涂黑的箭头表示在使阀杆91后退时阀轴承22的端面将润滑脂13g的一部分刮出的部位。此外，在图4的(f)中示出了使阀杆91后退之后的状态。

如此，在以往的气体流量控制阀1中，在为了控制气体流量而反复使阀杆91进退移动时，涂布于o型密封圈13的润滑脂13g被一点一点地向外侧刮出去。并且，明确到，被刮出的润滑脂13g集中地向舌形状的顶端供给，其结果是，舌形状的顶端细长地延伸，不久被运送到流量控制部12。即，虽然涂布于o型密封圈13的润滑脂13g是一点点的量，但润滑脂13g能够到达远离阀轴承22的流量控制部12的理由被认为是，润滑脂13g集中地向舌形状的顶端供给。并且，当长期使用燃气设备时在较小的气体流量范围内难以进行精细的气体流量的控制的原因被认为是，通过这样的机理被运送的润滑脂13g使流量控制部12与阀孔31之间的间隙狭窄。因此，在本实施例的气体流量控制阀1中，为了避免润滑脂13g被运送到流量控制部12，将阀芯10的形状设为了如下的形状。

图5的(a)是表示内置于本实施例的气体流量控制阀1的阀芯10的外形形状的说明图。此外，在图5的(b)中，作为参考，也示出了以往的阀芯90的外形形状。若将图5的(a)所示的本实施例的阀芯10与图5的(b)所示的以往的阀芯90进行比较则明显可知，在本实施例的阀芯10中，在流量控制部12的近前侧的阀杆11的外周面上周状地穿设有截面呈矩形形状的障碍槽14。因此，在从障碍槽14的底部14a看左右的侧壁14b、14c时，阀杆11的轴径变小的部分(即障碍槽14的底部14a)成为在侧壁14b、14c的部分处使阀杆11的轴径以台阶状扩径而成的状态。在本实施例中，在这些左右的侧壁14b、14c中，顶端侧(形成有流量控制部12的侧)的侧壁14b对应于本发明的“扩径壁”。因此，以下将顶端侧的侧壁14b称作扩径壁14b。如图5的(a)所示，扩径壁14b形成于引入部11a的外侧。因此，如图3的(c)所示，即使在阀杆11以最大程度被引入的状态下，扩径壁14b也不会被引入阀轴承22的内部。

另一方面，由于与扩径壁14b所在侧相反的一侧的侧壁14c形成于引入部11a的内侧的位置，因此，在阀杆11以最大程度被引入时，侧壁14c成为被引入阀轴承22的内部的状态。另外，在本实施例中设为侧壁14c形成于引入部11a的内侧的结构，但侧壁14c也可以与扩径壁14b同样地形成于引入部11a的外侧。

图6是关于能够通过在阀芯10的阀杆11设置扩径壁14b来避免o型密封圈13的润滑脂13g进入流量控制部12的理由的说明图。即使在具有扩径壁14b的本实施例的阀芯10的情况下，像前面使用图4进行说明的那样，当反复使阀杆11进退移动时，涂布于o型密封圈13的润滑脂13g被阀轴承22的端面刮出并一点一点地向流量控制部12运送。其结果是，附着有润滑脂13g的舌形状的部分的顶端一点一点地向流量控制部12延伸。

但是，在本实施例的气体流量控制阀1中，在流量控制部12的近前侧的阀杆11形成有扩径壁14b。因此，向流量控制部12延伸来的润滑脂13g的流动在扩径壁14b的作用下方向转换为朝向横向的流动。图6中由较粗的虚线所示的箭头表示在扩径壁14b的作用下发生变化的润滑脂13g的流动。并且，像前面使用图4进行说明的那样，作为润滑脂13g集中地向舌形状的顶端供给的结果是能够到达流量控制部12，但润滑脂13g的量本身没有那么多。因此，如图6所示，若利用扩径壁14b将润滑脂13g的流动的方向方向转换为横向，则就不会发生润滑脂13g越过扩径壁14b而进入流量控制部12的情况。其结果是，在本实施例的气体流量控制阀1中，即使在长期地反复使阀杆11进退移动的情况下，也能够在较小的气体流量范围内精细地控制气体流量。

另外，在上述的本实施例的气体流量控制阀1中，将障碍槽14的宽度设为与供o型密封圈13嵌入的槽的宽度相同的尺寸，或者设为供o型密封圈13嵌入的槽的宽度以上的尺寸。如此一来，认为是能够有富余地将涂布于o型密封圈13的润滑脂13g收纳于障碍槽14内，因此，能够可靠地防止润滑脂13g到达流量控制部12。

此外，像前面使用图5的(a)进行说明的那样，在本实施例的气体流量控制阀1中，扩径壁14b形成于引入部11a的外侧，但与扩径壁14b所在侧相反的一侧的侧壁14c形成于引入部11a的内侧。通过这样设置，在使阀杆11后退时，能够抑制附着于阀杆11的润滑脂13g被阀轴承22的端面刮出。

图7是表示通过使扩径壁14b的相反侧的侧壁14c形成于引入部11a的内侧从而能够抑制由阀轴承22的端面刮出润滑脂13g的理由的说明图。在图7的(a)中示出在侧壁14c露出于阀轴承22之外的状态下使阀杆11后退的情形。在该状态下，在图中由涂黑的箭头所示的部位，阀轴承22的端面将附着于阀杆11的润滑脂13g刮出。但是，如图7的(b)所示，当阀杆11进一步后退并使侧壁14c位于与阀轴承22的端面相同的位置时，即便使阀杆11更进一步后退，如图7的(c)所示，由于障碍槽14潜入阀轴承22的内侧，因此，润滑脂13g也不会被阀轴承22的端面刮出。即，若像本实施例的阀芯10这样使侧壁14c形成于引入部11a的内侧的位置，则能够在润滑脂13g不会被阀轴承22的端面刮出的前提下使阀杆11从图7的(b)所示的位置后退到图7的(c)所示的位置。其结果是，能够抑制由阀轴承22的端面将润滑脂13g刮出，因此，即使长期地反复使阀杆11进退移动，也能够回避润滑脂13g进入流量控制部12而对气体流量的精细的调节带来障碍的情况。

在上述的本实施例中，说明了通过在阀杆11的顶端侧(形成有流量控制部12的一侧)穿设障碍槽14来形成扩径壁14b的结构。但是，只要在阀杆11的引入部11a的外侧的比流量控制部12靠近前侧的位置形成有使阀杆11的轴径扩径为台阶状的部分即可，因而，也可以通过从阀杆11突出设置障碍壁15来将障碍壁15的侧面设为扩径壁14b，替代在阀杆11穿设障碍槽14。

图8是表示使这样的障碍壁15从阀杆11突出设置的变形例的阀芯10的外观形状的说明图。如图所示，在变形例的阀芯10中，在引入部11a的外侧的比流量控制部12靠近前侧的位置从阀杆11突出设置有障碍壁15。因此，在从引入部11a的一侧观察时，障碍壁15的侧面成为使阀杆11的轴径扩径为台阶状而成的扩径壁15a。并且，即使在使用了这样的变形例的阀芯10的情况下，也能够防止涂布于o型密封圈13的润滑脂13g因阀杆11的进退移动而进入流量控制部12。即，如图9中较粗的虚线的箭头所示，能够利用扩径壁15a将附着于阀杆11的表面的润滑脂13g向细长的舌形状的顶端流动的流动方向改变为横向。因此，不会发生润滑脂13g越过扩径壁15a而到达流量控制部12的情况，因此，即使在长期地反复使阀杆11进退移动的情况下，也能够在较小的气体流量范围内将气体流量精细地控制。

以上说明了本实施例和变形例的气体流量控制阀1，但本发明并不限定于上述的实施例和变形例，在不脱离其主旨的范围内，能够以多种方式来实施。