一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台的制作方法

文档序号:19789529发布日期:2020-01-24 14:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,包括:

定平台(1);

第一微动平台(2),其通过第一柔顺机构(3)与所述定平台(1)连接,所述第一柔顺机构(3)使所述第一微动平台(2)沿横向微动;

第二微动平台(4),其通过第二柔顺机构(5)与所述第一微动平台(2)连接,所述第二柔顺机构(5)使所述第二微动平台(4)沿纵向微动。

2.如权利要求1所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述定平台(1)呈圆环形。

3.如权利要求2所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述第一微动平台(2)呈圆环形,所述第一微动平台(2)的外径小于所述定平台(1)的内径。

4.如权利要求3所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述第二微动平台(4)呈圆形,所述第二微动平台(4)的直径小于所述第一微动平台(2)的内径。

5.如权利要求4所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述定平台(1)、所述第一微动平台(2)、所述第二微动平台(4)呈嵌套式结构。

6.如权利要求1所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述第一柔顺机构(3)包括沿纵向对称设置的一对第一柔顺组件,所述第一柔顺组件连接所述定平台(1)和所述第一微动平台(2)。

7.如权利要求6所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述第一柔顺组件包括第一压电陶瓷驱动器(301)、第一柔顺四杆机构(302)、第一柔顺平行导向机构(303),所述第一压电陶瓷驱动器(301)固定在所述定平台(1)上,所述第一压电陶瓷驱动器(301)沿横向伸缩,驱动所述第一柔顺四杆机构(302)发生横向变形,所述第一柔顺平行导向机构(303)产生纵向的变形,以弥补所述第一柔顺四杆机构(302)发生横向变形引起的纵向缩短。

8.如权利要求1所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述第二柔顺机构(5)包括沿横向对称设置的一对第二柔顺组件,所述第二柔顺组件连接所述第一微动平台(2)和所述第二微动平台(4)。

9.如权利要求8所述的可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,其特征在于,所述第二柔顺组件包括第二压电陶瓷驱动器(501)、第二柔顺四杆机构(502)、第二柔顺平行导向机构(503),所述第二压电陶瓷驱动器(501)固定在所述第一微动平台(2)上,所述第二压电陶瓷驱动器(501)沿纵向伸缩,驱动所述第二柔顺四杆机构(502)发生纵向变形,所述第二柔顺平行导向机构(503)产生横向的变形,以弥补所述第二柔顺四杆机构(502)发生纵向变形引起的横向缩短。

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