防止微型阀中的堵塞的方法
【技术领域】
[0001]本发明总体涉及用于控制流体通过流体回路的流动的微型阀。特别地，本发明涉及在这样的微型阀中清洁和防止对污染物的不期望堵塞的改进方法，所述污染物包括污染物颗粒。本发明还涉及在滑阀中清洁和防止对污染物的不期望堵塞的改进方法，所述污染物包括污染物颗粒。
【背景技术】
[0002]一般而言，微机电系统是这样一种系统，它不仅包括电气部件和机械部件两者，而且又在物理上较小，其通常包括具有一般在大约10微米的范围内或更小的尺寸的特征。术语“微机械加工”通常被理解为涉及这样的微机电系统设备的三维结构和运动部件的生产。在过去，微机电系统中使用改良的集成电路(例如，计算机芯片)制造技术(诸如化学蚀亥IJ)和材料(诸如硅半导体材料)，所述材料被微机械加工以提供这些非常小的电气和机械部件。然而，最近，其他的微机械加工技术和材料已变得可用。
[0003]如本文所使用的，术语“微机械加工设备”指的是包括具有的尺寸一般在约十微米的范围内或更小的特征的设备，并且由此至少部分地通过微机械加工形成。同样如本文所使用的，术语“微型阀”指的是包括具有的尺寸一般在约十微米的范围内或更小的特征的阀，并且由此至少部分地通过微机械加工形成。最后，术语“微型阀设备”指的是包括微型阀并且还包括其他部件的微机械加工设备。应当注意的是，如果不是微型阀的部件包括在所述微型阀设备内，这些其他部件可以或者是微机械加工部件或者是标准尺寸(即更大)部件。类似地，微机械加工设备可既包括微机械加工部件又包括标准尺寸部件。
[0004]多种微型阀结构在本领域中已知用于控制流体通过流体回路的流动。一种公知的微型阀结构包括可移动构件，其支撑在设置于阀体中的封闭的内部空腔内，用于在关闭位置与打开位置之间进行枢转或其他运动。当置于关闭位置时，所述可移动构件基本上堵塞了另外与第二流体端口流体连通的第一流体端口，从而防止流体在第一与第二流体端口之间的流动。当置于打开位置时，所述可移动构件基本没有堵塞第一流体端口与第二流体端口的流体连通，从而允许流体在第一与第二流体端口之间流动。
[0005]在这种常规的微型阀结构中，已经发现的是，在一些情况下，流体端口可变得堵塞有污染物，使得所述微型阀至少部分地不起作用。另外，已经发现的是，在一些情况下，滑阀可变得堵塞有污染物，使得所述滑阀至少部分地不起作用。由此，所期望的是提供一种清洁、疏通并且防止微型阀中的流体端口的不期望堵塞的方法，以及类似地提供一种清洁、疏通并且防止滑阀中的不期望堵塞的方法。
【发明内容】
[0006]本发明总体涉及用于控制流体通过流体回路的流动的微型阀。特别地，本发明涉及在这样的微型阀中清洁和防止通过污染物颗粒的不期望堵塞的改进方法。本发明还涉及在构造为混合滑阀中的先导阀的微型阀中清洁和防止由污染物的不期望堵塞、并且防止在滑阀中由污染物颗粒的不期望堵塞的改进方法。在一个实施例中，从在流体系统中的阀上清洁污染物颗粒的方法包括，包括响应于除过热上的变化之外的流体系统中条件上的变化而将所述阀的阀流量控制元件从第一位置移动到第二位置。
[0007]当考虑附图阅读时，本发明的多种优点从以下详细描述中对本领域技术人员将变得显而易见。
【附图说明】
[0008]图1是一种微型阀的基本结构的分解透视图，所述微型阀包括盖板、中间板和基板。
[0009]图2是显示为组装好的图1所示的微型阀的基本结构的透视图。
[0010]图3是在图1和图2中所示的盖板的内表面的平面图。
[0011]图4是在图1和图2中所示的中间板的平面图。
[0012]图5是在图1和图2中所示的基板的内表面的平面图。
[0013]图6是在图3中所示的盖板的内表面的一部分的透视图。
[0014]图7是在图5中所示的基板的内表面的一部分的透视图。
[0015]图8是显示为组装好的在图3至图7中所示的盖板、中间板和基板的剖切正视图。
[0016]图9是将根据本发明的改进方法应用到其上的一种制冷系统的实施例的框图。
[0017]图10是在图9中所示的微型阀先导的滑阀的一个实施例的剖切正视图。
[0018]图11是示出根据本发明的改进方法的第一实施例的流程图。
[0019]图12是示出根据本发明的改进方法的第二实施例的流程图。
[0020]图13是根据本发明的清洁方案的图形表示。
[0021]图14是示出根据本发明的改进方法的第三实施例的流程图。
[0022]图15是示出根据本发明的改进方法的第四实施例的流程图。
【具体实施方式】
[0023]现在参考附图，在图1至图8中示出了常规微型阀1的基本结构。所示出的微型阀1包括盖板2、中间板3和基板4。盖板2具有外表面5和内表面6。盖板2还具有一个或多个穿过其中形成的开口(两个这样的开口 2a和2b在所示实施例中示出)，以本领域公知的方式，所述开口允许一根或多根导电线(未示出)在其中穿过。中间板3具有第一表面7和第二表面8。基板4具有内表面9和外表面10。基板4还具有一个或多个穿过其中形成的开口(三个这样的开口 4a、4b和4c在所示实施例中示出)，以本领域公知的方式，所述开口允许流体流入或流出所述微型阀1。
[0024]当微型阀1如图2所示而组装好时，盖板2的内表面6接合中间板3的第一表面7，并且基板4的内表面9接合中间板3的第二表面8。所述盖板2、中间板3和基板4可以任何期望的方式保持在这种朝向中。例如，盖板2和/或基板4的部分可以被粘接到中间板3，诸如通过熔合粘接、化学粘接或物理粘接(诸如，机械紧固件和/或粘接剂)。盖板2、中间板3和基板4可由任何期望的材料或材料的组合构成。例如，所述盖板2、中间板3和基板4可以由硅和/或类似材料构成。
[0025]用于微型阀1的盖板2的内表面6的结构在图3和图6中详细地示出。如在那里示出的，盖板2包括设置在其内表面6上的总体上用11标示的致动器腔。所示出的致动器腔11包括上致动器臂腔部分11a、中致动器臂腔部分11b、下致动器臂腔部分11c、致动器肋腔部分lld、致动器脊腔部分lie、致动器铰接腔部分Ilf。上致动器臂腔部分11a具有设置在其中的一对凹入区域12a、12b。所示致动器腔11还具有一个或多个设置在其中的压力平衡凹陷13。
[0026]盖板2具有第一密封结构14a，其从致动器腔11的底表面延伸，并且完全地绕第一凹入区域12a的周边。类似地，盖板2还具有第二密封结构14b，其从致动器腔11的底表面延伸，并且完全地绕第二凹入区域12b的周边。在示出的实施例中，各密封结构14a和14b是横截面形状为大致梯形的壁，并且包括四个直线地延伸的壁段，所述壁段邻近凹入区域12a和12b的四个侧面延伸。然而，密封结构14a和14b可形成为具有任何所期望的横截面形状或形状组合，并且可以任何所期望的方式(直线地或以其他方式)绕凹入区域12a和12b延伸。例如，密封结构14a和14b可以大致形成如在图3和图6中所示的，但是可在相邻的直线延伸壁段之间具有倒圆的角，可以具有一个或多个非直线地延伸的壁段，或者在形状上是完全地非直线的。密封结构14a和14b的目的将在下面解释。
[0027]用于微型阀1的中间板3的第一表面7的结构在图4中详细地示出。如在那里示出的，常规的中间板3包括总体上用30指示的可动阀构件或可移动构件，所述构件包括具有穿过其中形成的一对开口 31a和31b的密封部分31。所述密封部分31通过细长臂部分32连接到铰接部分33，所述铰接部分与常规中间板3 —体地形成。中间板3还包括致动器，其包括多个致动器肋34，所述致动器肋34通过中央脊35在密封部分31与铰接部分33的中间位置处连接到细长臂部分32。
[0028]如图4所示，多个致动器肋34的第一部分(观察图4时的上肋34)的第一端部柔性地在其第一端部处接合到中间板3的第一非移动部分。多个致动器肋34的第一部分的第二端部连接到中央脊35。中间板3的第一非运动部分电连接到设置在中间板3上的第一焊