高精度真空无磁传输器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空设备领域，具体地说是一种高精度真空无磁传输器。
【背景技术】
[0002]真空技术是制备与测试新材料，模拟空间实验环境的关键技术。在真空环境中往往需要精密传输样品，同时要保证不会破坏真空环境，尤其是在测试磁敏感材料时，需要完全杜绝外界磁场干扰。因此必须要求能通过大气一侧传输器的操作，实现对真空一侧对象高精度控制，且满足无磁要求。
[0003]现有的真空传输装置，如中国实用新型专利CN201155323Y公开的“超高真空直线导入推进器”，包括刀口法兰，波纹管，导入棒、外部推动杆和定位螺丝。通过推动大气侧外部推动杆，驱动波纹管内的导入棒活动，达到目标位置手拧紧定位螺丝。虽然导入棒可以在真空系统内自由直线运动，但是由于缺乏起稳定作用的精密螺杆，在外部大气压作用下，每次改变位置，必须先拧松定位螺丝，再手用力扶持外部推动杆推拉到目标位置，然后再拧紧定位螺丝，如此操作繁琐，而且拧紧定位螺丝瞬间会产生微小偏移，难于精确定位。
[0004]另一项中国实用新型专利CN201409102Y公开的“超高真空二维磁结合驱动器”，包括外管磁力把手、内管磁力把手、二连杆和直线轴承。通过磁结合，在外侧推动外管磁力把手，进而带动内管磁力把手，进而带动与内管磁力把手连接的二连杆直线运动。因其引入了磁场，无法满足无磁环境要求。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供一种高精度真空无磁传输器，在真空无磁环境中实现直线传输样品操作，用以解决现有技术中的缺陷。
[0006]本实用新型通过以下技术方案予以实现:
[0007]高精度真空无磁传输器，包括刀口法兰，刀口法兰下部安装波纹管和外套筒，波纹管在外套筒内，波纹管下端固定安装螺母，波纹管内套装内杆，内杆中下部为中空，内杆下端与波纹管固定连接，螺母内配合安装精密丝杠，精密丝杆上端插入至内杆，精密丝杠的下端安装轴承，轴承的外圈通过顶丝连接外套筒，外套筒的底端套装手轮，手轮的底部设置手轮螺丝，手轮螺丝穿过手轮与精密丝杆连接，手轮与精密丝杆能够同步转动；外套筒侧部开设竖向的导向槽，螺母侧部安装导向杆，导向杆与导向槽配合。
[0008]如上所述的高精度真空无磁传输器，所述的手轮上端外周设置环形的刻度线，夕卜套筒下端接近手轮的位置设置指示箭头。
[0009]如上所述的高精度真空无磁传输器，所述的导向槽外侧的外套筒上设置竖直排列的刻度线。
[0010]如上所述的高精度真空无磁传输器，所述的精密丝杆的导程为1mm。
[0011]本实用新型的优点是:本实用新型通过旋转手轮，带动精密丝杠转动，从而驱动内螺母，进而带动波纹管与内杆作直线运动。到达目标位置后，无需其它操作，即可稳定在目标位置。
【附图说明】
[0012]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0013]图1是本实用新型立体结构示意图；图2是本实用新型半剖结构示意图。
[0014]附图标记:1手轮2精密丝杠3导向杆4波纹管5外套筒6刀口法兰7内杆8螺母9轴承10顶丝11导向槽12手轮螺丝。
【具体实施方式】
[0015]为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0016]高精度真空无磁传输器，如图1和图2所示，包括刀口法兰6，刀口法兰6下部安装波纹管4和外套筒5，波纹管4在外套筒5内，波纹管4下端固定安装螺母8，波纹管4内套装内杆7，内杆7中下部为中空，内杆7下端与波纹管4固定连接，螺母8内配合安装精密丝杠2，精密丝杆2上端插入至内杆7，精密丝杠2的下端安装轴承9，轴承9的外圈通过顶丝10连接外套筒5，外套筒5的底端套装手轮1，手轮I的底部设置手轮螺丝12，手轮螺丝12穿过手轮I与精密丝杆2连接，手轮I与精密丝杆2能够同步转动；外套筒5侧部开设竖向的导向槽11，螺母8侧部安装导向杆3，导向杆3与导向槽11配合，导向杆3可以起到指示位置的作用。
[0017]具体而言，本实施例所述的手轮I上端外周设置环形的刻度线，外套筒5下端接近手轮I的位置设置指示箭头。
[0018]具体的，本实施例所述的导向槽11外侧的外套筒5上设置竖直排列的刻度线。
[0019]进一步的，本实施例所述的精密丝杆2的导程为1mm，可使精度达到0.02mm。
[0020]最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.高精度真空无磁传输器，其特征在于:包括刀口法兰(6)，刀口法兰(6)下部安装波纹管(4)和外套筒(5)，波纹管(4)在外套筒(5)内，波纹管(4)下端固定安装螺母(8)，波纹管(4)内套装内杆(7)，内杆(7)中下部为中空，内杆(7)下端与波纹管(4)固定连接，螺母(8)内配合安装精密丝杠(2)，精密丝杆(2)上端插入至内杆(7)，精密丝杠(2)的下端安装轴承(9)，轴承(9)的外圈通过顶丝(10)连接外套筒(5)，外套筒(5)的底端套装手轮(1)，手轮(I)的底部设置手轮螺丝(12)，手轮螺丝(12)穿过手轮(I)与精密丝杆(2 )连接，手轮(I)与精密丝杆(2)能够同步转动；外套筒(5)侧部开设竖向的导向槽(11)，螺母(8)侧部安装导向杆(3)，导向杆(3)与导向槽(11)配合。
2.根据权利要求1所述的高精度真空无磁传输器，其特征在于:所述的手轮(I)上端外周设置环形的刻度线，外套筒(5)下端接近手轮(I)的位置设置指示箭头。
3.根据权利要求1所述的高精度真空无磁传输器，其特征在于:所述的导向槽(11)外侧的外套筒(5)上设置竖直排列的刻度线。
4.根据权利要求1所述的高精度真空无磁传输器，其特征在于:所述的精密丝杆(2)的导程为Imm0
【专利摘要】高精度真空无磁传输器，包括刀口法兰,刀口法兰下部安装波纹管和外套筒，波纹管在外套筒内，波纹管下端固定安装螺母，波纹管内套装内杆，内杆中下部为中空，内杆下端与波纹管固定连接，螺母内配合安装精密丝杠，精密丝杆上端插入至内杆，精密丝杠的下端安装轴承，轴承的外圈通过顶丝连接外套筒，外套筒的底端套装手轮，手轮的底部设置手轮螺丝，手轮螺丝穿过手轮与精密丝杆连接，手轮与精密丝杆能够同步转动；外套筒侧部开设竖向的导向槽，螺母侧部安装导向杆，导向杆与导向槽配合。本实用新型通过旋转手轮，带动精密丝杠转动，从而驱动内螺母，进而带动波纹管与内杆作直线运动。到达目标位置后，无需其它操作，即可稳定在目标位置。
【IPC分类】F16H25-20, F16H25-24
【公开号】CN204387239
【申请号】CN201420842296
【发明人】刘海云
【申请人】刘海云
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2014年12月28日