气体流通通道的一端；12-第一气体流通通道的另一端；
[0027]2-第二气体流通通道;21-第二气体流通通道的一端;22-第二气体流通通道的另一端；
[0028]3-柔性内管气体流通通道;31-柔性内管气体流通通道的一端;32-柔性内管气体流通通道的另一端；
[0029]4-气体回收通道;41-气体回收通道的一端;42-气体回收通道的另一端；
[0030]5-第三气体流通通道;51-第三气体流通通道的一端；52-第三气体流通通道的另一端；
[0031 ] 6-第一安装接头组件;61-CF法兰;62-加长对丝;63-第一快插接头;64-第一管锁母；
[0032]7-第二安装接头组件;71-第二管锁母;72-管接头;73-螺纹活接头;74-第二快插接头;
[0033]81-LF 法兰；82-KF 法兰。
【具体实施方式】
[0034]下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0035]在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0036]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0037]此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0038]图1为本实用新型实施方式中提供的真空氦检漏装置及其密封连接管的密封连接管剖视图。如图1所示，本实施方式提供的真空氦检漏装置用密封连接管，包括:第一安装接头组件6，内部形成相互隔离第一气体流通通道1和第二气体流通通道2，所述第一气体流通通道的一端11适于密封连通真空环境外的抽真空充气回收装置的充回管路，所述第二气体流通通道2与所述第一气体流通通道的一端11相应一端适于密封连通泄漏气体回收管路；相互套接的柔性内管和柔性外管，置于所述真空环境内，所述柔性内管和柔性外管的一端安装所述第一安装接头组件6，所述柔性内管与所述第一气体流体通道的另一端12密封连通，所述柔性内管与柔性外管之间留有间隙以形成气体回收通道4，所述气体回收通道的一端41与所述第二气体流通通道的另一端22密封连通;第二安装接头组件7，安装于所述柔性内管和柔性外管的另一端并将该端的柔性外管与柔性内管之间的气体回收通道4封堵，所述第二安装接头组件7内部形成第三气体流通通道5，所述第三气体流通通道的一端51适于密封连通所述柔性内管的另一端，第三气体流通通道的另一端52适于密封连通置于同一真空环境内的被检工件。
[0039]如图1所示，第一气体流通通道的一端11适于连通设于真空腔外的抽真空充气回收装置的充回管路，所述抽真空充气回收装置既能够对待检工件充入示踪气体，又能够对其进行抽真空，所述第一气体流通通道的另一端12适于密封连通柔性内管气体流通通道的一端31，所述柔性内管气体流通通道3由柔性内管的管内空间形成，柔性内管气体流通通道的另一端32适于密封连通第三气体流通通道的一端51，所述第三气体流通通道的另一端52适于密封连通待检工件。第一气体流通通道1、柔性内管气体流通通道3和第三气体流通通道5的依次连通形成了示踪气体充回通道，检漏作业先对工件抽真空，对其充入高压氮气检大漏，若无明显漏点再对工件抽真空，对其充入高压氦气进行精密检漏，此时若有氦气由工件的漏点泄漏至真空腔中，与真空腔密封连通的检漏仪便会发出信号指示，表明工件有泄漏；第二气体流通通道的一端21适于连通泄漏气体回收管路，所述第二气体流通通道的另一端22适于密封连通气体回收通道4，所述气体回收通道4由柔性内管与柔性外管之间的间隙形成的气体流通空间形成，气体回收通道的另一端42处设有封堵结构。第二气体流通通道2以及气体回收通道4的依次连通形成了泄漏气体收集通道，由于柔性管路在长期的高压充胀下可能产生细纹，引起泄漏风险，因此设置在柔性内管外的柔性外管可以有效防止可能泄漏的示踪气体进入真空腔内干扰检漏结果，将检漏作业中可能泄漏的示踪气体通过所述泄漏气体收集通道经泄漏气体回收管路回收利用。通过泄漏氦气的气体回收通道4的设置将长时间处于高压条件的柔性内管泄漏的氦气回收，使检漏结果精准，且避免氦气浪费，节约成本;另外，通过第一安装接头组件6及第二安装接头组件7的设置，实现了柔性内管和柔性外管两者分别与抽真空充气回收装置和被检工件的可拆卸密封连接并且装卸方便。
[0040]作为本实用新型的优选实施方式，如图1所示，所述第一安装接头组件6包括与柔性内管和柔性外管同轴设置第一密封法兰，所述第一密封法兰内部形成空腔，所述空腔内安装轴向连接组件，轴线连接组件内部形成所述第一气体流通通道1，所述轴线连接组件与第一密封法兰内壁间留有间隙以形成所述第二气体流通通道2;还包括套接于所述第一密封法兰与所述柔性外管连接处的第一管锁母64。
[0041]上述第一密封法兰在本实施方式中优选但不限于为CF法兰61。
[0042]具体地，上述第一管锁母64—端与柔性外管外壁密封卡接，另一端与第一密封法兰外壁螺纹密封连接，由于第一密封法兰内腔在第一管锁母64处并未封堵，留有一定间隙，因此第一管锁母64的设置密封连通了第二气体流通通道2和气体回收通道4，在检漏作业中实现对泄漏气体的回收利用。
[0043]进一步地，上述轴向连接组件还包括沿所述轴线依次密封连接设置的第一对丝和第一快插接头63，所述第一对丝设于第一气体流通通道的一端11，所述第一快插接头63密封连通所述柔性内管气体流通通道的一端31，柔性内管气体流通通道的另一端32则适于通过第三气体流通通道5与待检工件密封连通，形成完整的示踪气体(氦气或氮气)充回通道，在检漏作业中实现对待检工件的充气和抽真空。
[0044]本实施方式中，上述第一对丝优选为加长对丝62，第一快插接头63优选为V口快插。
[0045]作为本实用新型的另一种优选实施方式，如图1所示，所述第二安装接头组件7包括第二管锁母71、管接头72、螺纹活接头73以及第二快插接头74，第二管锁母71—端与所述柔性外管另一端的外壁密封卡接，另一端与管接头72的外壁螺纹密封连接并且管接头72的该端弯折形成竖直挡壁，将所述柔性外管与柔性