专利名称：气体稳压系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气体稳压系统。
背景技术：
生产工艺中，经常用到氧气、氮气、氩气等惰性气体。有些场合,对气体的压力准确度要求比较高。现有的只在气体的输出管路上设置一个稳压阀的气体稳压系统往往难于满足要求。
发明内容本实用新型的目的是提供一种气体压力波动较小的气体稳压系统。 本气体稳压系统，在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。上述的气体稳压系统，在气体的输出管路上串联两个稳压阀。所述气体为氧气、氮气或惰性气体。本实用新型的有益效果由于设置多个稳压阀，前一个稳压阀的输出口接在后一个稳压阀的输入口上。也就是说，后一个稳压阀的输入气体的压力是前一个稳压阀的输出压力。这样，在前一个稳压阀稳压基础上，再次进行稳压，最终输出的气体压力波动很小。
图I是气体稳压系统的示意图。
具体实施方式
参见图I所不的气体稳压系统，3个氮气(或者氧气、IS气)气源I并联接在第一个稳压阀3上，第一个稳压阀3输出口分接三个气体输出管路2，在各气体输出管路上均接有第二个稳压阀4。经第二个稳压阀4的输出口流出的气体压力准确度较好，压力波动小。
权利要求1.气体稳压系统，其特征是在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。
2.如权利要求I所述的气体稳压系统，其特征是在气体的输出管路上串联两个稳压阀。
3.如权利要求2所述的气体稳压系统，其特征是所述气体为氧气、氮气或惰性气体。
专利摘要本实用新型是提供一种气体压力波动较小的气体稳压系统。该气体稳压系统，在气体的输出管路上串联至少两个稳压阀。
文档编号F17D1/20GK202769277SQ20122048315
公开日2013年3月6日 申请日期2012年9月21日 优先权日2012年9月21日
发明者杜杰, 王建华, 王鲁南, 项宏其, 窦立峰 申请人:南京汇金锦元光电材料有限公司