技术特征：
1.一种化学品输送柜，其特征在于，包括：控制室，设置有压力检测装置、流速检测装置和电源开关，其中，所述电源开关分别和所述压力检测装置、所述流速检测装置连接；气路管道，所述气路管道和所述控制室连接，用于为所述控制室充气。2.根据权利要求1所述的化学品输送柜，其特征在于，所述控制室内设置有防爆正压控制器，所述防爆正压控制器分别和所述压力检测装置、流速检测装置和所述电源开关连接。3.根据权利要求2所述的化学品输送柜，其特征在于，所述控制室还包括：稳定装置，所述稳定装置和所述防爆正压控制器连接。4.根据权利要求1所述的化学品输送柜，其特征在于，所述气路管道包括：压差开关和吹扫电磁阀，所述压差开关和所述压力检测装置连接；所述吹扫电磁阀和所述流速检测装置连接。5.根据权利要求4所述的化学品输送柜，其特征在于，所述压差开关为防爆压差开关。6.根据权利要求4所述的化学品输送柜，其特征在于，所述吹扫电磁阀为防爆吹扫电磁阀。7.根据权利要求3所述的化学品输送柜，其特征在于，所述稳定装置包括：排气电磁阀。8.根据权利要求3所述的化学品输送柜，其特征在于，所述稳定装置还包括：泄压阀。9.根据权利要求4所述的化学品输送柜，其特征在于，所述气路管道包括：过滤器、调压阀、单向阀；所述吹扫电磁阀上并联有速度调节阀；所述过滤器、所述吹扫电磁阀、所述单向阀依次连接，所述单向阀和所述流速检测装置连接。10.根据权利要求4所述的化学品输送柜，其特征在于，所述气路管道还包括：压差表，并联于所述压差开关。
技术总结
本申请实施例提供一种化学品输送柜，包括：控制室，设置有压力检测装置、流速检测装置和电源开关，其中，所述电源开关分别和所述压力检测装置、所述流速检测装置连接；气路管道，所述气路管道和所述控制室，用于为所述控制室进行充气。利用该化学品输送柜，可以提高化学输送过程的安全性。输送过程的安全性。输送过程的安全性。
技术研发人员：黄晓岗 李俊芳
受保护的技术使用者：江苏正帆半导体设备有限公司
技术研发日：2022.03.03
技术公布日：2022/6/23