一种化学品输送柜的制作方法

1.本技术涉及运输技术领域，具体而言，涉及一种化学品输送柜。


背景技术：

2.在半导体制程设备中需要用到有机溶剂类的化学介质，如异丙醇等，根据相关规范此类化学介质属于易燃易爆类，需要做防爆处理。


技术实现要素：

3.本技术实施例的目的在于提供一种化学品输送柜，用于实现当化学品输送柜内的压力或流速异常时断开电源开关，提高化学品输送柜的安全性。
4.本技术实施例提供一种化学品输送柜，包括：
5.控制室，设置有压力检测装置、流速检测装置和电源开关，其中，所述电源开关分别和所述压力检测装置、所述流速检测装置连接；
6.气路管道，所述气路管道和所述控制室连接，用于为所述控制室充气。
7.在上述实现过程中，化学品输送柜包括、控制室和气路管道，气路管道用于向控制室充气和放气，控制室内设置有压力检测装置、和流速检测装置，并且，电源开关分别和压力检测装置、流速检测装置连接，基于上述结构，可以基于控制室的压力状态和流速状态实现对控制室的工作状态进行监测，还可以实现当化学品输送柜内的压力或流速异常时断开电源开关，提高化学品输送柜的安全性。
8.进一步地，所述控制室内设置有防爆正压控制器，所述防爆正压控制器分别和所述压力检测装置、流速检测装置和所述电源开关连接。
9.在上述实现过程中，通过所述防爆正压控制器，可以基于压力检测装置和流速检测装置设置关于电源开关的控制条件。
10.进一步地，所述控制室还包括：稳定装置，所述稳定装置和所述防爆正压控制器连接。
11.在上述实现过程中，当所述控制室内的压力或者流速发生异常时，正压控制器可以通过稳定装置对控制室内的状态进行调节。
12.进一步地，所述气路管道包括：压差开关和吹扫电磁阀，所述压差开关和所述压力检测装置连接；
13.所述吹扫电磁阀和所述流速检测装置连接。
14.在上述实现过程中，通过吹扫电磁阀和压差开关，能够进一步实现对气路管道的压力状态和流速状态的检测。
15.进一步地，所述压差开关为防爆压差开关。
16.进一步地，所述吹扫电磁阀为防爆吹扫电磁阀。
17.进一步地，所述稳定装置包括：排气电磁阀。
18.进一步地，所述稳定装置还包括：泄压阀。
19.进一步地，所述气路管道包括：过滤器、调压阀、单向阀；
20.所述吹扫电磁阀上并联有速度调节阀；
21.所述过滤器、所述吹扫电磁阀、所述单向阀依次连接，所述单向阀和所述流速检测装置连接。
22.进一步地，所述气路管道还包括：
23.压差表，并联于所述压差开关。
24.本技术公开的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，或者，部分特征和优点可以从说明书推知或毫无疑义地确定，或者通过实施本技术公开的上述技术即可得知。
25.为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
26.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
27.图1为本技术实施例提供的化学品输送柜的电性连接示意图；
28.图2为本技术实施例提供的另一化学品输送柜的电性连接示意图；
29.图3为本技术实施例提供的化学品输送柜的阀门连接示意图。
30.图标：1-控制室；11-压力检测装置；12-流速检测装置；13-流量开关；14-排气电磁阀；15-泄压阀；16-电源开关；2-气路管道；21-压差开关；22-吹扫电磁阀；23-压差表；24-单向阀；25-速度调节阀；26-调压阀；27-过滤器；3-防爆正压控制器。
具体实施方式
31.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行描述。
32.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
33.在半导体制程设备中需要用到有机溶剂类的化学介质，如异丙醇等，根据相关规范此类化学介质属于易燃易爆类，需要做防爆处理。
34.参见图1，本技术实施例提供一种化学品输送柜，包括：
35.控制室1，设置有压力检测装置11、流速检测装置12和电源开关16，其中，电源开关16分别和压力检测装置11、流速检测装置12连接；
36.气路管道2，气路管道2和控制室1连接，用于为控制室1充气。
37.在上述实现过程中，化学品输送柜包括控制室1和气路管道2，气路管道2用于向控制室1充气和放气，控制室1内设置有压力检测装置11、和流速检测装置12，并且，电源开关16分别和压力检测装置11、流速检测装置12连接，基于上述结构，可以基于控制室的压力状态和流速状态实现对控制室的工作状态进行监测，还可以实现当化学品输送柜内的压力或流速异常时断开电源开关16，提高化学品输送柜的安全性。
38.可以理解的是，化学品输送柜还包括：桶区、管路区等部分。控制室1包含各类控制元件(如plc、断路器等)；气控室包含各类气动元件；桶区用于放置化学输送桶；管路区包含各类输送管路和防爆型电器元件。
39.示例性地，当压力检测装置11和流速检测装置12检测到整个化学品输送柜的流速状态和压力状态超过预设的阈值时，可以发送信号到电源开关16，电源开关16断开，从而使得气控室停止工作，从而提高化学品运送过程的安全性。
40.参见图2，在一种可能的实施方式中，控制室1内设置有防爆正压控制器3，防爆正压控制器3分别和压力检测装置11、流速检测装置12和电源开关16连接。
41.在上述实现过程中，通过防爆正压控制器3，可以基于压力检测装置11和流速检测装置12设置关于电源开关16的控制条件。
42.示例性地，基于防爆控制器，可以基于防爆控制器设置基于流速状态和压力状态的单重判断条件或者多重判断条件：当压力超过第一预设阈值时或当流速超过第二预设阈值时切断电源开关16，或者，当压力超过第一预设阈值时且当流速超过第二预设值时切断电源开关16。
43.在一种可能的实施方式中，控制室1还包括：稳定装置，稳定装置和防爆正压控制器3连接。
44.在上述实现过程中，当控制室1内的压力或者流速发生异常时，防爆正压控制器3可以通过稳定装置对控制室1内的状态进行调节。
45.示例性地，当防爆正压控制器3根据压力检测装置11和流速检测装置12的数值判断当前输送柜的状态发生改变时，可以发送控制信号到稳定装置，使稳定装置进行工作，进一步使得化学品输送柜内的状态恢复稳定。
46.基于上述连接关系，可以对防爆正压控制器3进行设置，使得当防爆正压控制器3检测到输送柜的工作状态发生异常时，先控制稳定装置对化学品输送柜的内的状态进行调节，当调节失败时，再切断电源。
47.参见图3，在一种可能的实施方式中，气路管道2包括：压差开关21和吹扫电磁阀，压差开关21和压力检测装置11连接；
48.吹扫电磁阀22和流速检测装置12连接。
49.在上述实现过程中，通过吹扫电磁阀22和压差开关21，能够进一步实现对气路管道2的压力状态和流速状态的检测。
50.上述实施例中，吹扫电磁阀22可以向控制室1中充气。
51.压差开关21是一种特殊的控制开关，它是依据相互部件间的压力差值并依靠电信号进行信息传递控制开关闭合或打开的一类开关。总的来说就是利用两条管道的压差来发出电讯号，当系列液管二端的压差升高(或降低)而超过控制器设定值时，发出信号以控制换向阀换向。则阀门进而开大(或关小)，从而系统液管二端的压差减小，达到系统的正常运行。
52.通过上述装置，可以进一步保证输送柜内的压力保持在正常值。
53.在一种可能的实施方式中，压差开关21为防爆压差开关。
54.在上述实现过程中，提高了化学品输送柜的安全性能。
55.在一种可能的实施方式中，吹扫电磁阀22为防爆吹扫电磁阀。
56.在上述实现过程中，提高了化学品输送柜的安全性能。
57.在一种可能的实施方式中，稳定装置包括：排气电磁阀14，排气电磁阀通过流量开关13和控制室连接。
58.在上述实现过程中，防爆正压控制器3可以通过排气电磁阀14将控制室1内的气体进行排出，保持气控室内的流速的处于正常状态。
59.在一种可能的实施方式中，稳定装置还包括：泄压阀15。
60.防爆正压控制器3可以通过排气电磁阀14将控制室1内的气体进行排出，保持气控室内的气压的处于正常状态。
61.在一种可能的实施方式中，气路管道2包括：过滤器27、调压阀26、单向阀24；吹扫电磁阀22上并联有速度调节阀25；过滤器27、吹扫电磁阀22、单向阀24依次连接，单向阀24和流速检测装置12连接。
62.在上述实现过程中，过滤器27用于对气体进行过滤，提高输送柜内的气体的纯净度，调压阀26可以调节气压、单向阀24可以控制气体的流向，吹扫电磁阀22上的速度调节阀25可以调节气体的流速。
63.在一种可能的实施方式中，气路管道2还包括：压差表23，并联于压差开关21。
64.基于上述各种实施方式，本技术实施例提供一种该输送柜的使用方法，包括：
65.打开吹扫电磁阀22，向控制室1中充气，当控制室1内的流速和压力达到预设值时，启动吹扫电磁阀22的吹扫功能，压力检测装置11检测控制室1内的压力，将数据发送给正压控制器，如果正压控制器发现压力太低或太高，可以进行报警，如果正常则开启电源，使控制室1正常运行，在控制室1的运行过程中，根据压力检测装置11和流速检测装置12的状态，可以将启动稳定装置或者将电源断开。
66.以上仅为本技术的实施例而已，并不用于限制本技术的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
67.以上，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
68.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。