电子气体切换装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型设计电子气体领域，具体的说是一种电子气体切换装置。
【背景技术】
[0002]半导体、TFT、硅基薄膜太阳能电池领域，气体用量较小，一般设计气柜GC供应方式，使用立式钢瓶供气。但对于需求量较大的气体，立式钢瓶供应无法满足生产需求，在此背景下，气体设备供应商根据设备端压力流量需求，设计了大流量气体供应系统BSGSdSR适用于卧式钢瓶供气。当特定情况下，需用卧式钢瓶立式钢瓶切换供应时，传统的方式需使用两套设备，使用过程繁琐，降低了生产的效率。
【发明内容】
[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种，操作简单，可自由切换气瓶的电子气体切换装置。
[0004]本实用新型的具体方案如下:
[0005]—种电子气体切换装置，包括阀箱，其特征在于，所述阀箱内设有转换接头，所述转换接头的上端两侧分别设有立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管分别连接立式钢瓶接口和卧式钢瓶接口，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管之间通过三通连接件与主管道连接，所述主管道的一侧设有供应管道，所述供应管道与供应管道接口连接，所述主管道下端为氮气吹扫管道，所述氮气吹扫管道与氮气吹扫接口连接。
[0006]进一步的，所述立式钢瓶接口和卧式钢瓶接口包括外螺纹螺母，所述外螺纹螺母通过垫片与连接管件连接，所述连接管件外部套有内螺纹螺母。
[0007]进一步的，所述供应管道接口包括外螺纹螺母，所述外螺纹螺母通过垫片与连接管件连接，所述连接管件外部套有内螺纹螺母。
[0008]进一步的，所述氮气吹扫管道为从下到上包括圆柱段和扩散段，所述圆柱段为空心管，所述扩散段为从下到上渐粗的喇叭形，所述扩散段的锥角为20~25°，所述扩散段顶端的直径为圆柱段的2倍。
[0009]本实用新型有益效果为:操作简单，可自由切换气瓶的电子气体切换装置，在更换时由于氮气吹扫管道的结构，可以使用少量的氮气对所有的管道进行彻底的清洁。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型结构示意图。
[0011]图中:1阀箱，2转换接头，3立式钢瓶连接管，4卧式钢瓶连接管，31立式钢瓶接口，32卧式钢瓶接口，5主管道，6供应管道，61供应管道接口，7氮气吹扫管道，71氮气吹扫接口连接，8外螺纹螺母，9垫片，10连接管件，11内螺纹螺母，12圆柱段，13扩散端，14三通连接件。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型进行进一步说明。
[0013]—种电子气体切换装置，包括阀箱1，其特征在于，所述阀箱I内设有转换接头2，所述转换接头的上端两侧分别设有立式钢瓶连接管3和卧式钢瓶连接管4，所述立式钢瓶连接管3和卧式钢瓶连接管4分别连接立式钢瓶接口 31和卧式钢瓶接口 41，所述立式钢瓶连接管3和卧式钢瓶连接管3之间通过三通连接件14与主管道5连接，所述主管道5的一侧设有供应管道6，所述供应管道6与供应管道接口 61连接，所述主管道5下端为氮气吹扫管道7，所述氮气吹扫管道7与氮气吹扫接口连接71。
[0014]进一步的，所述立式钢瓶接口 31和卧式钢瓶接口 41包括外螺纹螺母8，所述外螺纹螺母8通过垫片9与连接管件10连接，所述连接管件10外部套有内螺纹螺母11。
[0015]进一步的，所述供应管道接口 61包括外螺纹螺母8，所述外螺纹螺母8通过垫片9与连接管件10连接，所述连接管件10外部套有内螺纹螺母11。
[0016]如此设计，可以使接口的密封性和洁净度有很大程度的提高，避免出现漏气或者污染的出现。
[0017]进一步的，所述氮气吹扫管道7为从下到上包括圆柱段12和扩散段13，所述圆柱段12为空心管，所述扩散段13为从下到上渐粗的喇叭形，所述扩散段13的锥角为20-25°，所述扩散段13顶端的直径为圆柱段的2倍。
[0018]如此设计，对流体产生的阻力小、稳定性好、有平滑的压差特性、可以使用少量的气体对管道进行清洁。
[0019]使用时，可根据需要单独开启立式钢瓶活卧式钢瓶，也可根据需要同时开启，气体从供应管道接口 61喷出，使用完成后可使用氮气吹扫管道7对本实用新型进行清洁。
【主权项】
1.电子气体切换装置，包括阀箱，其特征在于，所述阀箱内设有转换接头，所述转换接头的上端两侧分别设有立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管分别连接立式钢瓶接口和卧式钢瓶接口，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管之间通过三通连接件与主管道连接，所述主管道的一侧设有供应管道，所述供应管道与供应管道接口连接，所述主管道下端为氮气吹扫管道，所述氮气吹扫管道与氮气吹扫接口连接。2.根据权利要求1所述的电子气体切换装置，其特征在于，所述立式钢瓶接口和卧式钢瓶接口包括外螺纹螺母，所述外螺纹螺母通过垫片与连接管件连接，所述连接管件外部套有内螺纹螺母。3.根据权利要求1所述的电子气体切换装置，其特征在于，所述供应管道接口包括外螺纹螺母，所述外螺纹螺母通过垫片与连接管件连接，所述连接管件外部套有内螺纹螺母。4.根据权利要求1所述的电子气体切换装置，其特征在于，所述氮气吹扫管道为从下到上包括圆柱段和扩散段，所述圆柱段为空心管，所述扩散段为从下到上渐粗的喇叭形，所述扩散段的锥角为20~25°，所述扩散段顶端的直径为圆柱段的2倍。
【专利摘要】一种电子气体切换装置，包括阀箱，所述阀箱内设有转换接头，所述转换接头的上端两侧分别设有立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管分别连接立式钢瓶接口和卧式钢瓶接口，所述立式钢瓶连接管和卧式钢瓶连接管之间通过三通连接件与主管道连接，所述主管道的一侧设有供应管道，所述供应管道与供应管道接口连接，所述主管道下端为氮气吹扫管道，所述氮气吹扫管道与氮气吹扫接口连接。本实用新型操作简单，可自由切换气瓶的电子气体切换装置，在更换时由于氮气吹扫管道的结构，可以使用少量的氮气对所有的管道进行彻底的清洁。
【IPC分类】F17C13/00
【公开号】CN204922504
【申请号】CN201520701916
【发明人】张伯红
【申请人】山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2015年9月11日