专利名称：一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光学精密机械加工技术，涉及一种对常规光学狭缝及其它真空狭缝的改进。
常规光学狭缝普遍用于可见和红外光谱仪器中，一般真空狭缝用于近紫外光学，而超高真空狭缝用于更短波段。而光学狭缝是光谱仪器中非常重要的部件。其缝口开启分辨率要求很高，其开启精度指标直接影响光谱仪器分辨光谱的能力。在真空紫外领域，真空度达10-6-10-8pa时的工作环境，常规狭缝不能使用，首先起不到真空密封作用，其选材也不满足真空要求，材料放气，超高真空清洗材料腐蚀，分子过镀等缺陷，后来人们设计了许多狭缝，解决了真空问题，但狭缝开启精度和运动灵活性大都不很理想。
本实用新型的目的是解决真空光学狭缝在超高真空环境下不能正常工作、其材料放气、材料分子过镀、狭缝开启精度低、运动灵活性差、狭缝口开启分辨率不高等缺陷，提供一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝。
本实用新型的结构详见附图1、图2它包括狭缝片1、载体拨柱2、下夹持块3、狭缝开启载体4、缝片载体5、弹簧片6、外夹持块7、中限位块8、内夹持块9、锥楔10、盲法兰11、密封圈12、导向调节套13、滑套14、挡帽15、基板16、直线推杆17、密珠轴承18、外轴套19、连接筒20、防转块21、滑块22、读数尺23、读数鼓24、驱动精密螺杆25、精密螺母26、轴承下挡27、钢球28和33、轴承限位挡29、钢球限位套30、轴承端挡31、手轮32、馈入主体34、支持筒35、非标密封法兰36、焊接弹性波纹管37、轴头38、联接套39、狭缝室40，其特点是在基板16上面的两侧对称固定连接安装有在弹簧片6、外夹持块7、中限位块8、内夹持块9的侧面用销钉固定连接成一体并且再用两个螺钉与基板16固定成一体，在下夹持块3、狭缝开启载体4、缝片载体5、弹簧片6的左右两侧用螺钉固定连接，载体拨柱2和狭缝开启载体4固定连接，狭缝片1与缝片载体5用螺钉固定连接；载体拨柱2与锥楔10的两个侧面接触连接，锥楔10的上端与轴头38的下端用联接套39夹持固定连接；轴头38与馈入主体34、支持筒35、非标密封法兰36、焊接弹性波纹管37焊接成一体；轴头38与直线推杆17螺纹连接，直线推杆17与滑块22固定连接，直线推杆17的下端通过密珠轴承18、外轴套19形成精密直线轴系，外轴套19与馈入主体34固定连接，轴承下挡27、钢球28和33、轴承限位挡29、钢球限位套30、轴承端挡31构成轴系限制直线推杆17轴向窜动，轴承下挡27与轴承限位挡29和轴承端挡31固定连接，钢球限位套30与轴承端挡31固定连接，钢球33置于钢球限位套30中限制直线推杆17上端的窜动，钢球28限制直线推杆17上端的台阶面向下窜动，精密螺母26与轴承下挡27固定连接，轴承下挡27与手轮32固定连接，精密螺母26与读数鼓24固定连接，精密螺母26与驱动精密螺杆25螺纹连接，驱动精密螺杆25与连接筒20、防转块21固定连接，防转块21与滑块22采用超光滑滑动连接，驱动精密螺杆25与读数尺23固定连接，锥楔10的下端与滑套14滑动连接，滑套14装在导向调节套13的内孔中，挡帽15与导向调节套13螺纹连接，导向调节套13与狭缝室40固定连接，盲法兰11与狭缝室40固定连接，在狭缝室40和盲法兰11之间置有密封圈12，非标密封法兰36与狭缝室40固定连接。
本实用新型的动态工作过程首先转动手轮32带动精密螺母26和轴承下挡27转动，并同时驱动直线推杆17向上或向下移动。直线推杆17受防转块21和滑块22的限制只能做轴向直线运动。直线推杆17带动轴头38和锥楔10同步做上下运动，锥楔10的上下运动使载体拨柱2左右移动使狭缝片1开启与关闭，从而实现缝口开关的功能。
本实用新型的积极效果本实用新型采用由载体拨柱、下夹持块、狭缝开启载体、缝片载体、弹簧片、外夹持块、中限位块、内夹持块组成的弹性结构，弹性结构采用悬浮状态解决了运动件由于接触产生的分子过镀和摩擦力大的缺陷，提高了运动精度和灵活性。弹性结构、导向调节套、挡帽、载体拨柱、滑套片采用合适的材料解决了材料放气的问题。采用弹性结构、锥楔、直线推杆及其所带动的部件使狭缝口开启分辨率提高，手动读数0.001mm与狭缝开启大小一致，狭缝开启精度0.0012mm，连续打开分辨率0.0005mm。适用于超高真空紫外光谱仪器高精度要求的超高真空狭缝。
本实用新型的
图1是本实用新型的剖视图图2是本实用新型弹性结构的主视图。
本实用新型的实施例如图1、图2所示狭缝片1、载体拨柱2、锥楔10、基板16、直线推杆17、外轴套19采用2Cr13金属材料。下夹持块3、狭缝开启载体4、缝片载体5、外夹持块7、中限位块8、内夹持块9、盲法兰11、导向调节套13、挡帽15、馈入主体34、支持筒35、非标密封法兰36、焊接弹性波纹管37、轴头38、联接套39、狭缝室40均采用1Cr18Ni9Ti金属材料。弹簧片6、精密螺母26和钢球限位套30采用铜制成。密封圈12采用标准件。滑套14采用聚四氟乙烯。密珠轴承18的保持架采用铜制成。连接筒20、防转块21、滑块22、驱动精密螺杆25、轴承下挡27、轴承限位挡29、轴承端挡31均采用38CrMoAl材料。读数尺23、读数鼓24、手轮32均采用LY12材料。钢球28和33采用GCr15材料制成。载体拨柱2和狭缝开启载体4采用真空热装。
权利要求1.一种用于真空紫外光学仪器的超高真空狭缝，它包括狭缝片1、锥楔10、盲法兰11、密封圈12、精密螺母26、钢球28和33、手轮32、焊接弹性波纹管37、狭缝室40，其特征在于在基板16上面的两侧对称固定连接安装有在弹簧片6、外夹持块7、中限位块8、内夹持块9的侧面用销钉固定连接成一体并且再用两个螺钉与基板16固定成一体，在下夹持块3、狭缝开启载体4、缝片载体5、弹簧片6的左右两侧用螺钉固定连接，载体拨柱2和狭缝开启载体4固定连接，狭缝片1与缝片载体5用螺钉固定连接；载体拨柱2与锥楔10的两个侧面接触连接，锥楔10的上端与轴头38的下端用联接套39夹持固定连接；轴头38与馈入主体34、支持筒35、非标密封法兰36、焊接弹性波纹管37焊接成一体；轴头38与直线推杆17螺纹连接，直线推杆17与滑块22固定连接，直线推杆17的下端通过密珠轴承18、外轴套19形成精密直线轴系，外轴套19与馈入主体34固定连接，轴承下挡27、钢球28和33、轴承限位挡29、钢球限位套30、轴承端挡31构成轴系限制直线推杆17轴向窜动，轴承下挡27与轴承限位挡29和轴承端挡31固定连接，钢球限位套30与轴承端挡31固定连接，钢球33置于钢球限位套30中限制直线推杆17上端的窜动，钢球28限制直线推杆17上端的台阶面向下窜动，精密螺母26与轴承下挡27固定连接，轴承下挡27与手轮32固定连接，精密螺母26与读数鼓24固定连接，精密螺母26与驱动精密螺杆25螺纹连接，驱动精密螺杆25与连接筒20、防转块21固定连接，防转块21与滑块22采用超光滑滑动连接，驱动精密螺杆25与读数尺23固定连接，锥楔10的下端与滑套14滑动连接，滑套14装在导向调节套13的内孔中，挡帽15与导向调节套13螺纹连接，导向调节套13与狭缝室40固定连接，盲法兰11与狭缝室40固定连接，在狭缝室40和盲法兰11之间置有密封圈12，非标密封法兰36与狭缝室40固定连接。
专利摘要本实用新型涉及一种对常规光学狭缝及其它真空狭缝的改进。采用弹性结构解决了运动件由于接触产生的分子过镀和摩擦力大的缺陷,提高了运动精度和灵活性。弹性结构、导向调节套、挡帽、载体拨柱、滑套片采用合适的材料解决了材料放气的问题。采用弹性结构、锥楔、直线推杆及其所带动的部件使狭缝口开启分辨率提高,手动读数0.001mm与狭缝开启大小一致,狭缝开启精度0.0012mm,连续打开分辨率0.0005mm。适用于超高真空紫外光谱仪器高精度要求的超高真空狭缝。
文档编号G01J3/04GK2449213SQ00255778
公开日2001年9月19日 申请日期2000年10月19日 优先权日2000年10月19日
发明者徐峰林, 唐玉国 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所