专利名称：玻璃容栅传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种容栅传感器，具体为一种玻璃容栅传感器。
(二)技术背景传统的容栅传感器主栅极板和副栅电路板采用覆铜板制作，线路互联采用金属化过孔。由于印制电路板工艺方法的限制，栅条最小线宽只能做到0.08mm，这就限制了传感器分辨率的提高。另一方面，由于覆铜板的温度系数大且与金属载体之间的温度匹配性差，因此，造成传感器精度受温度的影响大。
现也有些专利设计采用玻璃或陶瓷制作容栅传感器基板，玻璃基板上的栅条与电路的连接尚未能解决。
(三)实用新型内容本实用新型的目的是设计一种玻璃容栅传感器，其栅条线宽可成倍减小，本设计还包括电容极板与数显电路板的可靠且简便易行的电路互联方式。
本实用新型的玻璃容栅传感器的主栅电容极板和副栅电容极板相互平行、靠近但不接触，主栅电容极板包括反射极和屏蔽极，副栅电容极板包括发射极和接收极，所述的主、副栅电容极板均为其上有部分金属镀膜导电区的玻璃基板。所述的主栅电容极板的玻璃基板上有平行的间距相等的条形金属镀膜导电区，其单数条为主栅电容极板的反射极，双数条为屏蔽极，屏蔽极的下端和与栅条垂直的条形导电区联通，即屏蔽极相互联通。所述的副栅电容极板的玻璃基板上有多条平行的间距相等的条形金属镀膜导电区为发射极栅条，在上述发射极栅条上下方各有一与其相垂直的条形导电区，下方的条形导电区为接收极，上方的条形导电区为引线，发射极栅条每8条为一节距，在每一个节距中的第1条与第8条发射极栅条与引线间留有将二者相互联通的导电区。副栅电容极板与数显电路板贴装构成副栅数显单元。
本实用新型玻璃容栅传感器的优点为1、主、副栅电容极板以镀膜玻璃板为基材，用光刻、电化学氧化留出金属镀膜导电区作为栅条，可使栅条线宽成十倍缩小，从而大大提高容栅传感器分辨率；2、玻璃基板的温度系数小且与金属载体之间的温度匹配性好，故本容栅传感器工作稳定可靠，受温度变化的影响极小；3、本容栅传感器的电容极板采用光刻、电化学氧化工艺以制成细小的栅条，易于保证质量，且简便易行；4、副栅电容极板与数显电路板贴装，二者的电路通过微电子焊接或金属插针或微型联接器互联，连接简便、可靠。
所述玻璃基板1、4也可采用陶瓷基板。
实施例1如图3所示，副栅电容极板4与数显电路板9贴装构成副栅数显单元。导线10两端分别和副栅电容极板4与数显电路板9的对应点焊接。
实施例2如图4所示，副栅电容极板4与数显电路板9贴装构成副栅数显单元。插针11的头插入副栅电容极板4的引线区，插针11的脚插入数显电路板9的对应的孔内，并焊接。
实施例3如图5所示，副栅电容极板4与数显电路板9贴装构成副栅数显单元。微型联接器12的头插入副栅电容极板4的引线区，微型联接器12的座体压接软性导电带13的一端，导电带13的另一端与数显电路板9的对应点焊接。
权利要求1 一种玻璃容栅传感器，其主栅电容极板和副栅电容极板相互平行、靠近但不接触，主栅电容极板包括反射极和屏蔽极，副栅电容极板包括发射极和接收极；其特征为所述的主、副栅电容极板均为其上有部分金属镀膜导电区的玻璃基板；所述的主栅电容极板的玻璃基板(1)上有平行的间距相等的条形金属镀膜导电区，其单数条为主栅电容极板的反射极(2)，双数条为屏蔽极(3)，屏蔽极(3)的下端和与栅条垂直的条形导电区联通，即屏蔽极(3)相互联通；所述的副栅电容极板的玻璃基板(4)上有多条平行的间距相等的条形金属镀膜导电区为发射极栅条(5)，在上述发射极栅条(5)上下方各有一与其相垂直的条形导电区，下方的条形导电区为接收极(8)，上方的条形导电区为引线(7)，发射极栅条(5)每8条为一节距，在每一个节距中的第1条与第8条发射极栅条(5)与引线(7)间留有与二者相互联通的导电区(6)。
2 根据权利要求1所述的玻璃容栅传感器，其特征为副栅电容极板(4)与数显电路板(9)贴装构成副栅数显单元，导线(10)两端分别和副栅电容极板(4)与数显电路板(9)的对应点焊接。
3 根据权利要求1所述的玻璃容栅传感器，其特征为副栅电容极板(4)与数显电路板(9)贴装构成副栅数显单元，插针(11)的头插入副栅电容极板(4)的引线区，插针(11)的脚插入数显电路板(9)的对应的孔内，并焊接。
4 根据权利要求1所述的玻璃容栅传感器，其特征为副栅电容极板(4)与数显电路板(9)贴装构成副栅数显单元，微型联接器(12)的头插入副栅电容极板(4)的引线区，微型联接器(12)的座体压接软性导电带(13)的一端，导电带(13)的另一端与数显电路板(9)的对应点焊接。
专利摘要本玻璃容栅传感器主、副栅极板均为有部分金属镀膜导电区的玻璃基板。主栅上平行的间距相等的条形金属镀膜导电区单数为反射极，双数为相互联通的屏蔽极。副栅上平行的间距相等的条形金属镀膜导电区为发射极栅条，其上下方各有一与其相垂直的条形导电区，下方为接收极，上方为引线，发射极每一个节距的第1与第8条栅条与引线间有将二者相互联通的导电区。优点为主、副栅电容极板以玻璃为基材，金属镀膜导电区作为栅条，栅条线宽成倍缩小，大大提高分辨率；玻璃基板的温度系数小且温度匹配性好，传感器工作稳定可靠；光刻、电化学氧化工艺保证质量，简便易行；副栅极板与数显电路板贴装，通过微电子焊接或金属插针或微型联接器互联，简便、可靠。
文档编号G01D5/24GK2603378SQ0323356
公开日2004年2月11日 申请日期2003年3月12日 优先权日2003年3月12日
发明者黄彩萍, 黄华凤, 黎贞炜 申请人:桂林广陆数字测控股份有限公司