专利名称：探测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种探测装置(probing apparatus)，更详细地说，是指一种能够探测来自布置在绝缘基板上的被测器件的微信号的探测装置，该绝缘基板布置有多个彼此间隔的器件。
背景技术：
液晶显示器产品包括在玻璃基板上形成多个透明电极(transparentelectrodes)图样，并且，如果必要的话，进一步包括在玻璃基板上形成电路元件，诸如晶体管、二极管、电阻和电容等。为了提高生产率，在同一个玻璃基板的预定图样中布置了多个液晶显示器块。借助于照相平版印刷术技术或者类似技术，通过单一过程执行多个液晶显示器块的形成。例如，采用有一条边长超过1m的正方形或矩形玻璃基板。在此玻璃基板的预定图样中总共可布置100个或者更多的液晶显示器块，每个块的一条边长为几cm。
其上装置有液晶显示器元件的玻璃基板的检验，由探测装置和测试仪在生产过程中或制成之后的合适时刻进行。在这种情况下，可以采用类似于一种集成电路传统测量方法来检查形成在玻璃基板上器件的特性。更明确地，玻璃基板上的器件测量需要一种探测装置和一种连接于此探测装置的合适的测量装置。这种探测装置包括用于支撑并可将玻璃基板移至任意位置的台架、用于向玻璃基板上每个显示元件的测量端子输入测量信号或从测量端子接收输出测量信号的接触式或非接触式探测器，以及用于连接探测器和测量单元的连接端口。
探测装置执行的测量在简单情况下包括内部开路或者内部短路的布线图样测试(开路-短路测试)，或者复杂情况下包括有关晶体管工作特性的测试和液晶显示器开启操作的测试。例如，日本专利早期公开(Laid-open)号No.11-65475公开一种探测装置，该探测装置使用支撑显示器面板的XY台架并通过探测器测量显示面板的特性。
玻璃基板上器件的特性测量，特别是液晶显示器上晶体管特性测量，或者是为每个像素电路中的ITO(氧化铟锡)电极提供电位的像素保持电容测量，是弱电流测量。所以，如果有大的内部(或外部)噪声出现，就不能保证足够的测量精度，因此，包括台架和探测器的空间都采用屏蔽。
然而，当采用大型玻璃基板以在其上形成如上所述的多个器件时，需要大的屏蔽空间来覆盖移动范围或覆盖除玻璃基板整个面积之外的台架移动范围。例如，当玻璃基板是边长为1m的正方形基板时，台架在X方向和Y方向都额外需要1m的移动范围。总体上看，需要的屏蔽面积等于边长为2m的正方形面积。
如前所述，按照传统技术，用于布置有多个器件的大型玻璃基板的探测装置需要更大的屏蔽设备，结果是，探测装置的大小和成本不可避免地会增加。
实用新型内容考虑到上述问题，本实用新型的一个优点在于提供一种探测装置，此探测装置能探测来自基板上器件的微信号而不要求大型屏蔽设备。
首先详细说明本实用新型的原理。
本实用新型所述的探测装置包括用于支撑绝缘基板的台架和用于测量玻璃基板上被测器件特性的探测器，绝缘基板上布置有多个空间彼此间隔的器件，探测器用于向玻璃基板上的被测器件的测量端子输入测量信号或从测量端子输出测量信号以测量被测器件的特性。一般地，探测装置会遭受对被测器件的微信号测量有负面作用的不同类型的噪声，噪声可粗略地分为3类来自相邻器件的噪声，来自探测装置的噪声，和来自待测器件上面的背景或空间噪声。
来自相邻器件到待测器件的噪声取决于被测器件相对于相邻器件的侧面面积，同时，来自上面的背景噪声取决于布置在绝缘基板上被测器件的顶面面积。一般地，被测器件的顶面与被测器件的侧面相比足够大，因此，来自相邻器件的噪声与背景噪声相比很小，以至于可以忽略。
例如，液晶显示器使用一种其上布置有晶体管、像素和布线图样的玻璃基板。对于SOI(绝缘体上硅技术)，使用了在其上形成半导体元件的绝缘基板。根据液晶显示器的不同，玻璃基板上的器件厚度在几μm的量级，因此，器件厚度与器件矩形顶面的一个边长相比很小。器件矩形顶面的一个边长在几mm或者几十mm的量级。
作为例子，假设器件放置在玻璃基板上并且彼此相隔5mm的间隙，每个器件3μm厚，并且其顶面大小为50mm×40mm，被测器件相对相邻器件的侧面面积为3μm×(被测器件的周长)＝3μm×180mm，同时，被测器件的顶面面积为50mm×40mm。显然，被测器件的顶面面积与被测器件相对相邻器件的侧面面积相比很大。如上所述，根据绝缘基板上放置的并且彼此间隔的多个器件的一般布置，每个器件的厚度可以忽略，相应地从相邻器件到被测器件的噪声与来自上面的背景噪声相比非常小。
因此，通过抑制来自探测装置的噪声和来自上面的噪声，可以消除对被测器件微信号测量的负面影响。据此，本实用新型提供了一种如下配置的探测装置。
更具体地，考虑到来自探测装置的噪声就来自于支撑绝缘基板的台架底面，故使台架接地可有效阻止噪声。同时，通过提供接地的屏蔽罩，可使被测器件屏蔽掉来自上面的背景噪声。
按照这种配置，被测器件放置在两个屏蔽元件的中间。在这种情况下，确定台架和屏蔽罩的大小是有效抑制噪声从两个屏蔽元件间隙进入的关键。台架和屏蔽罩应具有大到足以覆盖被测器件的面积。
为实现上述及其他相关优点，本实用新型提供一种用于探测来自绝缘基板上的被测器件的微信号的探测装置，绝缘基板布置有多个彼此间隔的器件。本实用新型所述的探测装置包括台架、探测器和屏蔽罩。台架支撑绝缘基板的底面，并连接到接地端子上。探测器从被测器件的测量端子输入或输出测量信号。屏蔽罩位于被测器件的顶面上方，并连接到接地端子上。屏蔽罩的相对面积不小于绝缘基板上被测器件的面积，并且不大于被测器件面积的4倍。
进一步地，根据本实用新型所述的探测装置，屏蔽罩优选地是一个导电屏蔽板，该导电屏蔽板的平面与台架的平面平行。
进一步地，根据本实用新型所述的探测装置，接地端子的电位优选地与支撑台架驱动单元的金属罩的电位相同。
进一步地，根据本实用新型所述的探测装置，被测器件优选地是一种包括放置在玻璃基板上透明电极的装置，例如，透明电极是ITO电极。
根据本实用新型的上述配置，台架电位保持在接地电位。具有接地电位的屏蔽罩位于被测器件顶面的上方，屏蔽罩的大小不小于被测器件的面积，并且不大于被测器件面积的4倍。换句话说，屏蔽罩的大小大于或等于被测器件的面积，并且小于或等于被测器件面积的4倍。
因而，沿屏蔽罩边缘进入的背景噪声能有效得到抑制。背景噪声对被测器件无实质影响。之所以限制4倍的面积的原因如下。一般地，我们知道，对于微带线或带状线时，屏蔽罩的宽度应该大于所屏蔽器件的宽度，并且优选地屏蔽罩的接地面积的宽度大约是被屏蔽器件宽度的2倍。从而，屏蔽罩的实际尺寸大于所屏蔽器件的面积，并且优选地，屏蔽罩的尺寸是被测器件的4倍。因此，屏蔽罩的尺寸不小于被测器件的面积且不大于被测器件面积的4倍。用这种方式，使得屏蔽罩面积大约是测量器件的4倍即可足够有效地抑制噪声的负面作用，而不要求覆盖绝缘基板的整体。因此，本实用新型能探测基板上器件的微信号，而不要求大型屏蔽装置。
进一步地，根据优选的实施例，屏蔽罩与台架顶面平行，换句话说，台架与屏蔽罩共同构成屏蔽结构，该屏蔽结构由连接到接地端子的平行平板组成。被测器件放置到平行平板的间隙空间中。因此，根据本实用新型的探测装置配置简单，还能充分地抑制外部噪声的负面影响。
进一步地，根据优选的实施例，接地端子的电位与支撑台架驱动单元的金属罩的电位相同。移动机械部分和台架保持相同的电位(即接地电位)。这对抑制从移动机械部分到台架的噪声是有效的。
进一步地，根据优选的实施例，被测器件是一种包括放置在玻璃基板上透明电极的器件，因此，本实用新型所述的探测装置能用于液晶显示器件。例如，实际使用的透明电极是ITO电极。这样，本实用新型是能应用于有通用配置的液晶显示器件。
如上所述，本实用新型所述的探测装置能探测来自基板上器件的微信号，而不要求大型屏蔽装置。
以下结合附图详细描述实施例，上述以及其他优点，即本实用新型的特点，会更加明显。
附图在说明书中作为说明书的一部分，描述了本实用新型的实施例，与说明书一起解释了本实用新型的原理。附图如下图1A至1C分别是模拟测试及测得的背景噪声示意图，其说明了本实用新型的原理。
图2是根据本实用新型优选实施例的探测装置及其附近的配置示意图。
图3是根据本实用新型优选实施例的探测器及其附近的透视图。
图4是根据本实用新型优选实施例的探测器与器件之间位置关系的放大图，其中虚线表示屏蔽罩。
图5是根据本实用新型优选实施例的玻璃基板上按矩阵图样放置器件的平面图。
图6是根据本实用新型优选实施例的表示屏蔽罩尺寸与器件尺寸关系的平面图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例详细描述。首先，参考模拟测试结果描述本实用新型的原理。接着，详细描述根据本实用新型优选实施例的探测装置的实际配置。图1A至1C分别是模拟测试及所测背景噪声示意图。模拟测试用来检验背景噪声对绝缘基板上器件的影响。为了进行模拟测试，如图1A至1C的左边部分所示，硬质氯乙烯板12放置在绝缘树脂台10上。进一步的，铜片14放置在氯乙烯板12上。厚度为1mm的氯乙烯板12用来模拟绝缘基板，大小为5mm×5mm的铜片14用来模拟器件。为了测量铜片14可检测噪声，还使用了屏蔽电缆或同轴电缆20和频谱分析仪26。屏蔽电缆20芯线(corewire)或中心导体16，芯线或中心导体的一端连接到铜片14，另一端连到频谱分析仪26的测量部分22。频谱分析仪26的测量部分22模拟测试仪的测量单元。屏蔽电缆20的防护编织物，或外导体18连接到频谱分析仪26的壳体上，频谱分析仪26的壳体连接到接地端子28上。
图1A的右边部分所示的频谱分析仪的屏幕的X轴表示频率(f)，其Y轴表示噪声等级(dBm)。从0Hz到1MHz的频率范围都进行了测量。Y轴以10dB/div增加，满刻度可达100dB。正如测量结果所表明的，测得的铜片14噪声等级非常大。
图1B为另一个例子，其中包括将铁板30用来模拟金属台架。铁板30放置在硬质氯乙烯板12下面，硬质氯乙烯板用来模拟厚度为1mm的绝缘基板。铁板30连接到接地端子28上。与图1A中所示相同的组件用相同的数字来表示。图1B右边部分为频谱分析仪26的屏幕具有与图1A所示的屏幕相同的量程。图1B所示的测量结果表明，在氯乙烯板(即绝缘基板)下提供导体台架且将导体台架连到接地端子可使噪声等级降低-20dB，甚至更多。
图1C为进一步的另一个例子，其中包括了一个电路衬底32，电路衬底32的一侧平面为全铜覆盖层。电路衬底32的铜层位于铜片14上方。电路衬底32的铜层与铜片14正对。该铜层用于模拟屏蔽罩。铜层连接到接地端子28上。其余配置与图1B的相同。图1C右边部分所示为频谱分析仪26的屏幕具有与图1A所示的屏幕相同的量程。图1C所示的测量结果表明，在铜片(即器件)上提供导电屏蔽层且将屏蔽罩接地，可进一步降低噪声等级。这种情况下的噪声等级在测量误差或测量系统噪声的范围内。
前面的描述很明白，上述模拟测试已表明，当铜片放置在氯乙烯板上来模拟器件放置在绝缘基板上时，铜片上测得的噪声等级十分大。另一方面，当用来模拟台架的铁板接地后，噪声可以大大降低。而且，当用来模拟屏蔽罩的电路衬底的铜层完全覆盖铜片顶面并接地后，噪声进一步降低。图1B和1C的模拟测试中，并不需要能覆盖整个测量系统的大型屏蔽装置，诸如屏蔽间或者屏蔽壳等。这种情况下需要的元件限于接地台架和板状元件，该板状元件具有能完全覆盖用来模拟被测器件的铜片的铜层。因此，上述模拟测试表明，探测和测量微信号或低等级信号不需要大型屏蔽装置。
下一步，详细描述根据本实用新型优选实施例的实际探测装置。
以下描述中，微信号的测量目标是放置在玻璃基板上的液晶显示器布线图样。进一步的，液晶显示器可以包括电路元件。例如，实施例中的液晶显示器是即将装配好的液晶显示器或者是完全装配好的液晶显示器。例如，液晶显示器可以是无源的也可以是有源的。进一步的，实施例中的器件不限于安置在玻璃基板上器件，因此还包括放置在绝缘基板上的器件，诸如是放置在LSI晶片上、或SOI(绝缘体上硅)上、或相似的半导体器件上的器件。
进一步的，实施例中表示频率的数值、玻璃基板和器件的尺寸、或者其他参数等等，都仅仅是例子。只要满足能够实现紧凑屏蔽罩的下述条件，任何其他数值也都可以使用。进一步的，向器件的测量端子输入信号或者输出信号以测量器件特性的探测器，它是一种具有多个探针的接触式探测器。然而，非接触式探测器也可使用。例如，可以采用探测器和测量端子之间的高频通信进行特性测量。探测器可能配备光传感器，器件中执行光测量部分可用作特性测量的测量端子。
图2是探测装置50的实际布置图。除了探测装置50的组成部件之外，图2还给出玻璃基板40和多个器件42，器件42，作为测试对象彼此间隔地以分散形式放置在玻璃基板上。每个器件42都有透明电极的布线图样，这些透明电极构成液晶显示器的一部分。
进一步的，除了探测装置50的组成部件之外，图2还给出连接到探测装置50的测量装置80(图中用虚线表示)。测量装置80能测量器件42(即测量目标)的电特性。测量装置80由测量部分82和壳体84组成，测量部分82包括测量控制电路和测量电路，测量装置80的壳体84通过足够短粗的导线连接至接地端子54。探测装置50能探测来自其中一个想要的间隔放置在玻璃基板40上的器件42的微信号。探测装置50包括机械装置60的台架68、台架68上的屏蔽罩70、探测器72和信号电缆78等。信号电缆78还包括连接到测量装置80的连接端子77。
除了台架68，机械装置60还包括金属底座62、石头或其他类似物质做的减震器64，和移动机械装置66。用于移动台架的移动机械装置66装配在减震器64上。台架68连接到移动机械装置66上。移动机械装置66既可在X和Y两个方向上移动台架68，也可以围绕Z轴(图中用θ旋转表示)旋转台架68。进一步的，虽然图中没有标明，也提供了用来控制移动机械装置66的控制部分。控制部分通过信号线连接到测量装置80，从而机械装置60和测量装置80可协同工作。
移动机械装置66具有金属部分，通过金属部分将移动机械装置66连接至基座62。基座62由一段足够粗短的导线连接至接地端子52，之所以通过基座62将移动机械装置66连接至接地端子52的原因在于基座62是大块与导线相比其电阻很低的金属。如果还有其他电阻更小的器件，移动机械装置66就可以直接连接到接地端子52上，不必依靠包括基座62在内的电路。无须多言，测量装置80的接地端子54和机械装置60的接地端子52可由共同的接地端子来提供。
机械装置60的台架68能支持或支撑玻璃基板40(即测量目标)。移动机械装置66用来使装配在台架68上的玻璃基板40移动至任意位置或者向任意方向移动。台架68是个平坦的板式工作台，在台架平坦的上表面上至少提供一金属层。台架68的金属层通过又短又粗的导线连到基座62上，使得台架68在预定的移动范围内自由移动。换句话说，考虑到机械装置60的装配，希望选择具有最小电阻的电路讲台架68连接到接地端子52。
探测器72位于机械装置60的台架68之上，通过探针与器件42的测量端子接触，从而能向器件42输入测量信号或者向接收器件42输出测量信号。当器件42有多个测量端子时，探测器72应该有多个探针。探测器72通过信号电缆78与测量装置80的连接端子81相连。信号电缆78具有与测量装置80的连接端子81相连的连接端子77。
信号电缆78包括传输信号的芯线74和对芯线74进行电磁屏蔽的屏蔽编织物76。芯线74一端连接至探测器72的探针，另一端通过连接端子77的信号线连接至测量器件80的测量部分82。屏蔽编织物76通过连接端子77的盖连接至测量器件80的壳体84。换句话说，屏蔽编织物76通过测量器件80的壳体84连接至接地端子54。之所以这样选择电路是因为测量器件80的壳体84是一个大型金属壳，以及相应地具有比导线的电阻小的电阻。然而，当有其他具有更小电阻的连接器件可用时，屏蔽编织物76可直接连接至接地端子54或接地端子52，而不靠包含测量装置的壳体84的电路。
位于机械装置60的台架68上方并且位于探测器72周围的屏蔽罩70是一个电磁屏蔽板，它在测量被测器件42的微信号时能消除外部噪声负面影响。更具体地，屏蔽罩70与台架68的顶面基本平行。其上装配有器件42的玻璃基板40放置在屏蔽罩70和台架68之间。屏蔽罩70由金属板构成。屏蔽罩70的底面与玻璃基板40上的器件42间隔一个预定的间隙，因而屏蔽罩70与器件42不会直接接触。可选择地，屏蔽罩70可由板状构件构成，板状构件有一个金属层与台架68的顶面相对。金属板或者金属层的金属部分连接至信号电缆78的屏蔽编织物76。从而，屏蔽罩70通过测量装置80的壳体84连接至接地端子54。而且，金属部分可以与接地端子52直接相连。
图3是探测器72及其附近的透视图，图4是探测器72与器件42之间位置关系的放大图，其中虚线表示屏蔽罩70。如图3和图4所表明的，器件42有多个测量端子92，探测器72具有相应的探针94。根据图4所示的例子，测量端子92表示成一个端子区，因为它们与器件42的主体相比尺寸较小。
探针94连接探测器72的主体上，从而使得探针94的远端测量端子92接触。探针94是彼此电绝缘的导电针。例如，探针94可由连接到探测器72主体上多个弯头针构成。进一步的，探针94可由的多个环状电线构成，环状电线的近端嵌在探测器72主体中，远端从探测器主体伸出并成配置成针型。一个实际的例子是，所谓的探针卡可当作配备了探针94的探测器72来用。
一种柔性基板90是其上放置多个导线布线图样的柔性绝缘基板。柔性基板90能在探测器72和信号电缆78之间互连信号。更具体地，信号电缆78包括多芯线74，芯线由适当的绝缘材料互相隔开。信号电缆的屏蔽编织物76作为电磁屏蔽构件完全包裹着芯线74。进一步的，绝缘构件用作信号电缆78的铠装。因此，信号电缆78重量大且不易弯曲。这正是在探测器72和信号电缆78之间提供柔性基板90的原因。柔性基板90允许探测器72相对自由地移动，使得探测器72与器件42接触或从器件42移动探测器72。柔性基板90上每个布线的一端连接至多个探测器94之一的尾端。柔性基板90每个布线的另一端连接至信号电缆78的多个芯线74之一上。
图5是玻璃基板40上按矩阵图样放置器件42的示意图。图6是表明屏蔽罩70与器件42大小关系的示意图。每个器件42具有L1(横向)×L2(纵向)的尺寸，相邻器件42横向间隔为S1，纵向间隔为S2。例如，玻璃基板40大小为1m(横向)×1.4m(纵向)。每个器件42的尺寸L1＝50mm，L2＝40mm，间隔S1和S2为5mm(即S1＝S2＝5mm)。上述尺寸的器件42与应用的标准液晶显示器相符，例如，应用于移动电话的标准液晶显示器。一般地，器件42的厚度由布线线宽表示，例如，一种实用的线宽为3μm。
探测装置50的屏蔽罩70具有如下功能。
首先详细描述屏蔽罩70和允许测量微信号的器件42的关系。更明确地，将描述的是优选用于测量按上述尺寸和设计的器件42的微信号的屏蔽罩70尺寸。
正如本实用新型的原理所描述的，对器件42的微噪声产生负面作用有3类噪声来自相邻器件42的噪声；来自机械装置60驱动装置的噪声，和来自上面的背景噪声。
根据上述尺寸和厚度的器件42，来自相邻器件42的噪声与背景噪声相比足够小，从而可以忽略。
下一步，通过台架68和接地端子52的紧固地连接，来自机械装置60的噪声可以得到充分抑制。因此，如附图2所描述的，台架68希望通过允许台架68移动的短金属线连接至与接地端子52相连的基座62。通过屏蔽罩70和接地端子54的紧固连接，来自上面的背景噪声可以得到充分抑制。换句话说，屏蔽罩70希望保持在接地电位。
如上所述，本实施例的特点在于将屏蔽罩70连接至接地端子54或者接地端子52，在平行平板(即在都与接地端子相连的屏蔽罩70和台架68之间)之间形成屏蔽间隙，并且将被测器件42放置于屏蔽间隙中。本实施例的配置能够在测量器件42的微信号的期间，消除相对于被测器件42的上方的(over-side)空间耦合，并且抑制外部噪声的负面作用。在这种情况下，屏蔽罩70应足够大以至于能完整地罩住被测器件42。因为，在由平行平板组成的屏蔽结构的边缘处或外围开口处，电力线(electric line of force)是向内弯曲的弧线。
为了避免上述缺点，屏蔽罩的宽度应该更宽，如相对于微带线与带状线那样。优选地，屏蔽罩70接地面积的宽度大约是每个器件的2倍。
图6表示屏蔽罩70的尺寸与器件42的尺寸的关系。在屏蔽罩70的大小为L3×L4时，其最小情况应该满足L3＝L1，L4＝L2。除此之外，正如微带线与带状线的关系那样，希望能满足条件L3＝2×L1，L4＝2×L2。进一步的，考虑到器件42测量端子的位置，探测器72与屏蔽罩70的位置关系应该是最优的，从而实现图6所示的位置关系。当器件42形状不是矩形时，希望屏蔽罩的相对面积优选地是玻璃基板上被测器件面积的4倍。
按照上述例子，屏蔽罩70的大小是100mm×80mm，或者更大。从而，这样的尺寸与玻璃基板40相比很小，因此，上述实施例能探测器件的微信号，而不用屏蔽整个探测装置50的大型屏蔽装置。
如上所述，屏蔽罩的面积不小于器件的面积，而且优选地是器件面积的4倍。屏蔽罩和台架两者都接地，共同形成由平行平板组成的屏蔽间隙。器件放置在屏蔽间隙中，因此，上述实施例能够在测量基板上每个器件的微信号期间，抑制外部噪声的负面作用。
虽然本实用新型是由典型实施例详细描述的，显然本实用新型不限于所公开的典型实施例。以下权利要求的范围与最宽的解释相一致，从而包括各种改进型、等效结构、和等效功能。本申请要求较早的于2005年1月12日申请的日本专利申请No.2005-005611的优先权，，其在这里作为参考将其整体合并在一起。
权利要求1.一种探测装置，所述探测装置用于探测绝缘基板上被测器件的微信号，所述绝缘基板上布置有多个彼此间隔的器件，所述探测装置包含台架，其用于支撑所述绝缘基板的底面并与接地端子连接；探测器，其用于向所述被测器件的测量端子输入测量信号或从所述被测器件的测量端子输出测量信号；以及屏蔽罩，其位于所述被测器件的顶面上方并与所述接地端子连接，其特征在于所述屏蔽罩的相对面积不小于所述绝缘基板上被测器件的面积并且不大于所述被测器件面积的4倍。
2.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于所述屏蔽罩是导体屏蔽板，所述导体屏蔽板具有与所述台架表面平行的平面。
3.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于所述接地端子的电位与支持所述台架的驱动单元的金属壳体的电位相同。
4.如权利要求1所述的探测装置，其特征在于所述被测器件是一包括在所述玻璃基板上布置透明电极的器件。
5.如权利要求4所述的探测装置，其特征在于所述透明电极是铟锡氧化物电极。
专利摘要本实用新型公开了一种探测装置，探测装置包括机械装置。机械装置包括基座、减震器、移动机械装置和台架，台架经由基座连接至接地端子。探测器位于台架上方，通过信号电缆将探测器连接至测量装置的测量端子。信号电缆的连接端子与测量装置的测量端子相连。屏蔽罩位于玻璃基板上的被测器件的上方，其中玻璃基板由台架支撑，屏蔽罩的面积不小于被测器件的面积且不大于被测器件面积的4倍。屏蔽罩接地。
文档编号G01R31/00GK2869924SQ20062000045
公开日2007年2月14日 申请日期2006年1月11日 优先权日2005年1月12日
发明者渊山正毅, 清田典靖, 岸田明人 申请人:株式会社东京阴极研究所, 安捷伦科技有限公司