图案检查装置的制作方法

专利名称：图案检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于检査呈多列配置的导电图案的图案检査装置。
背景技术：
在液晶面板中，将被称为栅极线及Cs线的导电图案呈多列配置的 第一层、以及被称为源极线的导电图案呈多列配置的第二层进行叠加。 此时，源极线与栅极线及Cs线交叉配置，在第一层和第二层之间设置 有绝缘层，可防止源极线与栅极线及Cs线的电性连接。但是，在制造 过程中，在绝缘层上会产生微小的孔，即产生所谓的针孔，这样，源 极线与栅极线及Cs线有时会产生电性连接(短路)。在上述不同层之 间的导电图案的短路也称为交叉短路，从而导致液晶面板工作不良和 故障。另外，在交叉短路以外，也有时会产生邻接的导线图案电性连 接的普通短路、以及导线图案在中间断路的缺陷。上述的缺陷在制造 过程中需要明确判定并进行修理。因此，至今为止，有提出过一些用于判定该缺陷的技术。但是， 大多数都是将电极直接接触到导电图案而进行检査用信号提供的结 构；在所述的结构中，由于物理性的接触电极的导电图案，因此会导 致导电图案的损伤以及产生灰尘等问题。在下述文件1中，公开了利用静电耦合而判定导电图案有无缺陷 及其位置的技术。在该专利文件1中，无须使电极接触到导电图案， 即可向导电图案提供交流电压，同时检査作为捡查对象的导电图案所 产生的交流电压。通过上述结构，确实可防止导电图案的损伤以及产 生灰尘。专利文件1:特开2005-24518号公报 发明内容但是，在该专利文件1中，关于所述的交叉短路的位置判定没有 具体的记载，另外，在专利文件1中，断路图案的判定以及判定其断 路位置时，检査电极是一个，施加交流电压的供电电极固定在设定的 位置。此时，通过检查电极、供电电极与断路位置之间的位置关系， 有时不能恰当地检査出断路。因此，本发明第一目的在于提供一种图案检査装置，其不必使电 极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。另外，本发明的第二目的在于提供一种图案检査装置，其可提高导电图案的检査精度。 解决问题的手段本发明的图案检査装置，是判定呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案电性连接的交叉短路位置的图案检査装置，其特征在于，具备有供电电极， 其与产生有交叉短路的第一导电图案即交叉图案之间保持微小的空间并沿该交叉图案移动，隔着上述微小空间通过静电耦合从而向交叉图 案施加交流电压；检查电极，其与供电电极联动，在与交叉图案平行的方向移动，通过与对向的第二导电图案静电耦合而接受来自该第二导电图案交流电压的感应；控制部，其根据检査电极所感应的交流电 压值的变化而判定交叉短路的位置。较理想的情形为，将供电电极沿移动方向邻接设置两个，将检査 电极在通过上述两个供电电极大致中间位置的线上邻接设置两个；另 一较理想的情形为，还具备有辅助电极，其设置于供电电极旁边，其 与该供电电极联动而移动，并向对向的导电图案施加与供电电极所施 加的交流电压电平相同、相位相差180。的第二交流电压。另一种本发明的图案检査装置，是能够检查衬底上呈多列配置的 导电图案的状态的图案检査装置，其特征在于，具备有第一供电电 极，其与衬底之间保持微小空间而移动，主要是向对向的导电图案施 加第一交流电压；第二供电电极，其与第一供电电极联动而移动，主 要是向对向的导电图案施加与第一交流电压相同电平、相位相差180° 的第二交流电压；检査电极，其与两个供电电极联动而移动，并对应 对向的导电图案感应产生的交流电压值而感应产生相应大小的交流电压；控制部，其根据检査电极所感应产生的交流电压值的变化而判断 导电图案的状态。较理想的情形为，两个供电电极在导电图案的端部旁边，沿配置 方向移动；将检査电极分别在两个供电电极的旁边各设置一个，与该 供电电极联动而移动；控制部，根据检査电极所感应产生的交流电压 值的变化，而从多个导电图案中判定产生断路的断路图案。另一较理想的情形为，在产生有断路的导电图案即断路图案的长 度方向上依次配置第一供电电极、检査电极、第二供电电极，并使这 三个电极沿所述断路图案移动，控制部根据检査电极所感应产生的交 流电压值的变化，而判定断路图案上产生断路的位置。另一较理想的情形为，将呈多列配置的第一导电图案、以及在与 第一图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案隔着绝缘层进行叠加 时，在第一导电图案的配置方向上依次配置第一供电电极、检査电极、 第二供电电极，并使这三个电极沿所述配置方向移动，控制部根据检 査电极所感应产生的交流电压值的变化，而判定与第二导电图案形成 短路的第一导电图案即交叉图案。发明效果在本发明的图案检査装置中，电极与导电图案之间通过静电耦合 进行电性连接，从而无须使电极接触导电图案而可判定交叉短路的位 置。另外，在本发明的图案检査装置中，同时向导电图案施加互相反 相的交流电压，因而，面板整体的电位大致稳定为O，从而可进一步提 高导电图案的检査精度。


图1是本发明第一实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图；图2是图案检査装置的概况侧视图；图3是表示其它的电极配置形式的一个示例图；图4是本发明第二实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图；图5是本发明第三实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图；图6是本发明第四实施方式所述的图案检查装置的概况俯视图；图7是本发明第五实施方式所述的图案检査装置的概况俯视图; 图8是表示使用图案检査装置进行交叉线判定时模样的视图。符号说明10图案检査装置12传感器14、16 供电电极18、20 检査电极22、24交流电源26、28 放大器50液晶面板52珊极线54a交叉线54源极线56绝缘层60导电图案62断路图案64短路图案具体实施方式
下面，关于本发明的实施方式参照图示进行说明。在以下的说明 中，将用于液晶面板等上而在玻璃衬底上呈多列配置的导电图案作为 检查对象。但是，只要是呈多列配置的导电图案，也可以将用于液晶 面板以外装置上的导电图案作为检査对象。图1是本发明第一实施方式的图案检查装置10的概况俯视图。另 外，图2是其概况侧视图。该图案检查装置10是适用于判定交叉短路 位置情况的图案检査装置。在这里，在对该图案检査装置进行详细说 明之前，先对交叉短路进行简单说明一般的液晶面板50等，是由将被称为栅极线52的导电图案呈多 列配置的第一层、以及被称为源极线54的导电图案呈多列配置的第二 层进行叠加而构成。第一层的栅极线52与第二层的源极线54相互交 叉配置。在该第一层和第二层之间设置有绝缘层56，以防止源极线54与栅极线52的电性连接(短路)。但是，由于种种原因，在绝缘层56上 会产生微小的孔(针孔)，通过这些针孔，源极线54与栅极线52会有 产生电性连接的情况。该栅极线52和源极线54的电性相连称为交叉 短路。所述交叉短路成为液晶面板50工作不良和故障的原因。因此， 在液晶面板50制造过程的步骤中，必须要明确判定该交叉短路并进行 修理。在判定所述交叉短路时，首先，从多条源极线54中判定存在交叉 短路CS的源极线54，作为交叉线(交叉图案)54a。接着，从已经判 定的交叉线54a上判定存在交叉短路CS的位置。本实施方式的图案检 査装置10构成为适用于判定交叉线54后，判定存在于该交叉线54a 上的交叉短路CS的位置。另外，关于交叉线54a的判定技术，因为后 面会做详细说明，在这里省略详细说明。本实施方式的图案检査装置10具有可以沿着交叉短路CS存在的 交叉线54a移动的传感器12。作为这个传感器12的移动机构，众所周 知的机构可以利用例如由电动机和螺杆构成的移动机构。传感器12的 移动量或者是移动位置从没有图示的控制装置取得并存储。两个供电电极14、 16及两个检查电极18、 20大致呈十字状设置 于传感器12。也就是说，两个供电电极14、 16在源极线54的长度方 向(图l中的X方向)，两个检查电极18、 20在源极线54的配置方向 (图1中的Y方向)分别邻接设置。如图2中明示，该传感器12隔着 一定的空间，位于液晶面板50的上侧。从该传感器12到液晶50的距 离为，设置在该传感器12上的四个电极14、 16、 18、 20和源极线54 及栅极线52能够静电耦合的距离。两个供电电极14、 16是用于向交叉线54a施加交流电压的电极， 连接在交流电源22上。在判定交叉短路CS的位置时，为了使这两个 供电电极14、 16对向于交叉线54a，进行传感器12的位置调整。由于 交叉线54a与两个供电电极14、 16相对向，两者静电耦合。而且，由 此实现从供电电极14、 16向交叉线54a的施加交流电压。两个检査电极18、 20是用于检査由栅极线52感应产生的交流电 压的电极。这两个捡查电极18、 20通过与对向的栅极线52的静电耦 合对应该栅极线52感应产生的交流电压值而感应产生相应大小的交流8电压。由检查电极18、 20感应产生的交流电压通过放大器26而放大， 作为检出电压而被取得。控制部将该检出电压值与传感器12的位置信 息附加关联并存储。并且，控制部根据所取得的检出电压值的变化来 判定交叉短路CS的位置。具体地，关于判定交叉短路CS的位置的情况的过程进行说明。另 外，图1下侧图示了伴随传感器12的移动，检出电压值的变化情况。在判定交叉短路CS的位置时，为了将两个供电电极14、 16定位 在交叉线54a的延长线上、而确定传感器12的位置，使传感器12沿 着该交叉线54a移动。或者说，就是使供电电极14、 16保持为接近交 叉线54a而移动。这时，供电电极14、 16与交叉线54a之间的空间便 作为电容而发挥作用，隔着该空间，在交叉线54a上感应产生交流电 压。感应产生的交流电压通过交叉短路CS也会感应产生在和该交叉线 54a产生有交叉短路的栅极线52a上。另一方面，在没有和交叉线54a产生交叉短路的其他的栅极线52 上，通过绝缘层56而与交叉线绝缘，基本上不会感应产生交流电压。 因此，随着传感器12的移动，检査电极18、 20即使移动到接近其他 栅极线52的位置，检査电极18、 20也不会接受从其他的栅极线52施 加的交流电压。于是，结果是检出电压值大致为O。另一方面，随着传 感器12的移动，检査电极18、 20在接近和交叉线54a产生有交叉短 路的栅极线52a时，或者说接近通过交叉短路CS而被施加交流信号的 栅极线52a时，通过与该栅极线52a之间产生的电容(空间)，就会由 检査电极18、 20感应产生较大的交流电压。也就是说，只要传感器12 移动到交叉短路CS旁边，检出电压值就会急剧的上升。控制部将该检 査电压值急剧上升时的传感器12位置判定为交叉短路CS的位置。从以上的说明可以明确的是通过本实施方式，电极没有物理性的 接触到源极线54和栅极线52等导电图案就可以判定交叉短路CS的位 置。结果，既能防止物理接触产生的尘埃和导电图案损伤，又可以简 单的判定交叉短路的位置。另外，在本实施方式中，两个供电电极14、 16以及两个检查电极 18、 20呈大致十字状配置。结果，交叉短路CS即使存在于导电图案 的端部旁边，也能准确的判定其位置。例如，考虑交叉短路CS存在于源极线54的端部旁边。这时，为了检査出交叉短路CS的位置，便有 必要使检査电极18、 20移动到该交叉短路CS的旁边。这时，如本实 施方式那样若将四个电极14、 16、 18、 20呈大致十字状配置，则虽然 两个供电电极14、 16中有一个可能位于交叉线54a以外的位置，至少 另一个位于能够向交叉线54a供电的位置。结果，如上所述，在交叉 短路CS旁边产生了急剧的检出电压值的变化，便能够简单而且正确的 判定交叉短路的位置。另外，考虑交叉短路CS在栅极线52的端部旁 边的情况。这种情况下，为了检査出交叉短路CS的位置，有必要使检 査电极18、 20移动到该栅极线52的旁边。这时，如本实施方式那样 若将四个电极14、 16、 18、 20呈大致十字状配置，则虽然两个检査电 极18、 20中有一个可能位于栅极线52以外的位置，至少另一个停留 在能够与栅极线52产生静电耦合的位置。结果，还是能够简单而且正 确的判定交叉短路CS的位置。也就是说，通过如本实施方式那样使四 个电极14、 16、 18、 20呈大致十字状配置，即使在导电图案的端部旁 边产生有交叉短路CS，也能准确的检査出其位置。不过，在这里说明的传感器12的构成方式只是一个例子，当然也 可以采用其他的构成方式。例如，如图3 (A)所示，也可以由单一的 供电电极14和两个检査电极18、 20来构成传感器12。这时，最好是 将单一的供电电极14沿行进方向形成长条形状，将检査电极18、 20 配置在该供电电极14的两侧。另外，相反的，如图3 (B)所示，可 以采用单一的检査电极18，将供电电极14、 16配置在该单一的检査电 极18的两侧。可是，如上所述，当检查电极18、 20接近没有和交叉线54a产生 短路的其他的栅极线52时，检出电压值应该大致是0。但是，从图1 下侧所示的检出电压明显可以看出，检出电压不是O，时常会有微小的 变化。这基于以下几个理由。由供电电极14、 16提供的交流电压实际上不只是通过相对向的交 叉线54a，而且通过与该交叉线54a邻接的其他的源极线54b、交叉线 54a和栅极线52的交点的寄生电容，遍布整个液晶面板50,提高液晶 面板50整体的电位。因为液晶面板的寄生电容由于位置而变化，所以 液晶面板的电位也由于位置有微妙的不同。并且，由与所述电位不均匀的液晶面板50相对向的检查电极18、 20上所检査出的检出电压值 虽然低但是也会变动。有时所述的电压检出电压值的变动会成为交叉 短路位置判定精度下降等的原因。图4是解决所述问题，可以提高交叉短路CS位置判定精度的本发 明第二实施方式所述的图案检査装置10的概况俯视图。该图案检査装 置IO和第一实施方式相同，具备有可以沿着交叉线54a移动的传感器 12。传感器12的移动位置以及后述的检出电压值被附加相互关联，被 存储在没有图示的控制部。该传感器12设有两个供电电极14、 16以及两个检査电极18、 20。 但是，本实施方式与第一实施方式不同，两个供电电极14、 16邻接配 置在源极线54的配置方向上。另外，两个检査电极18、 20配置在源 极线54的配置方向上，而夹着这两个供电电极14、 16。两个供电电极14、 16连接于相位相反的交流电源。也就是说，在 第一供电电极14施加相位为0。的交流电压。另外，在第二供电电极 16上施加与施加于第一供电电极14的电压相同电平且相位相差为 180。的交流电压。在判定交叉短路CS位置的时候，为了使第一供电电 极14能够在交叉线54a的正上方移动而调整传感器12整体的位置。两个检査电极18、 20与第一实施方式相同，是用于检査由栅极线 52感应产生的交流电压值的电极。通过与栅极线52的静电耦合而由两 个检查电极18、 20感应产生的交流电压通过放大器26而放大，作为 检出电压值而被取得。下面，关于在该图案检査装置10上的交叉短路CS位置判断的过 程进行说明。另外，图4的下侧图示了随着传感器12的移动，检出电 压值的变化。在判定交叉短路CS的位置时，为了使第一供电电极14能够在交 叉线54a的正上方移动而调整传感器12整体的位置，使该传感器12 沿着该交叉线54a移动。这时，第一供电电极14和交叉线54a之间的 空间作为电容而发挥作用，在交叉线54a上施加相位为0。的交流电压。 施加的该交流电压通过交叉短路CS也感应产生在该栅极线52a上。另 外从第一供电电极14提供的相位为0。的交流电压通过寄生电容，也被 施加在整个液晶面板50上。另一方面，与第一供电电极14邻接配置的第二供电电极16，与邻 接于交叉线54a的源极线54b接近并移动。这时，第二供电电极16在 该邻接的源极线54b上施加相位为180。的交流电压。另外，通过不均 匀存在的寄生电容，也会在液晶面板50上施加相位为180°的很小的交 流电压。在这里，第二供电电极16对交叉线54a的影响与接近并对向于交 叉线54a的第一供电电极14对交叉线54a的影响相比是非常小的。因 此，由交叉线54a以及与该交叉线54a交叉短路的栅极线52a感应产生 的相位为0。的交流电压，不会与相位为180。的交流电压抵消，而维持 相当高的电平。另一方面，液晶面板50的整体，同时被第一电极施加 相位为0。的、被第二电极施加相位为180°的、相同电平的交流电压。 这种同时施加的相位相反的交流电压互相抵消。因此，作为液晶面板 50整体的电位大致为0。结果，随着传感器12移动，检出电压值的电平稳定。也就是说， 如图4的下侧所示，检査电极18、 20从交叉短路CS位置离开时，相 对向的源极线54和栅极线52的电位大致是0，由检査电极18、 20感 应产生的交流电压也大致稳定为0。另一方面，如果检査电极18、 20 位于交叉短路CS旁边，通过和交叉线54a产生有交叉短路的栅极线 52a (或者说，由相位为0。的较高的交流电压感应产生的与栅极线52a) 的静电耦合，检査电极18、 20感应产生相位为0。的交流电压。控制部 根据随时取得的检出电压值达到最高点时的传感器位置，来判定交叉 短路CS的位置。从以上的说明中可以明确的是根据本实施方式，因为互相反相的 交流电压同时的施加到液晶面板50整体上，所以在没有缺陷的部分上 检査出来的检出电压值的电平大致稳定为O。而且，其结果能够更准确 的判定交叉短路CS的位置。但是，在本实施方式中，利用通过同时施加反相的交流电压而使 检出电压值稳定这项技术来判定交叉短路CS存在的位置，其实，这项 技术也能应用于其他的图案检查。图5是本发明第三实施方式所述的图案检査装置10的概况俯视 图。这个图案检查装置IO是一种适用于判定产生断线的导电图案的检査装置。这个检査装置10的传感器12可以沿着导电图案60的配置方向(图 5中的Y方向)移动。该传感器12设置有两个供电电极14、 16以及 两个检查电极18、 20。配置在液晶面板50的上侧的传感器12搭载四 个电极14、 16、 18、 20，与相对向的导电图案60相距能够产生静电耦 合的距离。为了使两个供电电极14、 16分别在导电图案60的两侧旁边位置， 而使其间隔既定距离，排列在导电图案60的延伸设置方向(图5中的 X方向)。两个供电电极14、 16分别连接交流电源22、 24,被施加互 相反相的交流电压。也就是说，在第一供电电极14施加相位为0。的交 流电压，在第二供电电极16施加与在第一供电电极14施加的交流电 压相同电平且相位相差180。的交流电压。分别将第一检查电极18配置在第一供电电极14旁边，将第二检 查电极20配置在第二供电电极16的旁边。这两个检査电极18、 20和 相对向的导电图案60静电耦合。而且，通过该静电耦合，在检査电极 18、 20上会感应产生与在该导电图案60上感应产生的交流电压按比例 相应大小的交流电压。由各个检査电极18、 20感应引起的交流电压通 过放大器26、 28放大，从而作为第一检出电压和第二检出电压而被取 得。控制部将这两个检出电压值和传感器12移动位置附加关联并存储。下面，关于采用了这种图案检査装置10的断路图案62判定的过 程进行说明。另外，图5的右侧图示了随着传感器12的移动，第一检 出电压值(实线)以及第二检出电压值(虚线)的变化。在从多个导电图案60中判定产生断路O的断路图案62的情况下， 为了使四个电极14、 16、 18、 20位于导电图案60上方而调整传感器 12的位置，使该传感器12沿配置方向移动。这时，控制部将传感器 12的移动位置和检出电压值附加关联并随时存储。在这里，当传感器12与没有产生断路O和短路的正常导电图案 60相对向时，两个供电电极14、 16和该正常导电图案60静电耦合， 施加交流电压。此时，第一导电电极14的相位为0。的交流电压以及第 二导电电极16的相位为180。的交流电压同时施加到一个导电图案60 上。因为同时施加的反相的交流电压互相抵消，所以结果是该导电图案60感应产生的交流电压大致为0。在供电电极14、 16与正常的导电 图案60静电耦合的情况下，与该供电电极14、 16联动而移动的检査 电极18、 20也与该正常的导电图案60静电耦合。但是，该正常的导 电图案60由于反相的交流电压的相互抵消而使电位为0，因此，由检 査电极18、 20感应产生的交流电压的值也大致为0，第一检出电压值 以及第二检出电压值都大致为0。另一方面，传感器12移动到产生断路O的断路图案62的正上方 时，通过断路O阻止所述的交流电压的相互抵消。因此，由各个供电 电极14、 16施加到断路图案62上的交流电压变强。结果，两个检査 电极18、 20中， 一个感应产生0。的交流信号，另一个感应产生180° 的交流信号。在这里，经过同步检波，结果0。的交流电压作为正的直 流电压，180。的交流电压作为负的直流电压而检出。总之，根据本实施方式，如图5右侧所示的那样，在传感器12位 于断路图案62旁边的时候取得高电平的检出电压值，在传感器12远 离断路图案62的时候取得大致为0的检出电压值。控制部根据取得高 电平的检出电压值时传感器12的位置判定断路图案62。从以上的说明中可以明确的是，本实施方式，因为采用了同时施 加反相交流电压的构成，使得在缺陷以外上检出电压值大致稳定为0。 结果，能够提高断路图案62的判定精度。另外，在本实施方式中，检 査电极既可以是两个也可以是一个。下面，关于第四实施方式进行说明。图6是本发明第四实施方式 所述的图案检查装置10的概况俯视图。该图案检査装置10是一种适 用于判定存在于断路图案上的断路的位置的装置。设置在该检査装置10上的传感器12可以沿着断路图案62移动。 第一供电电极14、检査电极18、第二供电电极16沿断路图案62的长 度方向而排列配置于传感器12。并且，这三个电极14、 18、 16与对向 的断路图案62的距离能够产生静电耦合，传感器12配置在液晶面板 50的上侧。在两个供电电极14、 16上施加互相反相的交流电压。在本实施方 式中，在配置在传感器移动方向前方侧的第一供电电极上施加相位为 0。的交流电压，在配置在传感器的移动方向后方侧的第二供电电极上施加相位为180。的交流电压。检査电极18感应产生的交流电压经过放 大器26放大，作为检出电压值而被取得。关于采用了该检査装置10的断路O的位置的判定过程进行说明。 图6下侧图示随着传感器的移动检出电压值的变化。在判定断路0的位置时，使传感器12从断路图案62的一端移动 到另一端。刚开始移动该传感器12时，也就是说，只有第二供电电极 16以及检査电极18位于断路图案的正上方，第一供电电极14位于断 路图案62的端部的外侧的时候，在断路图案62上只施加相位为180° 的交流电压。因此，刚开始移动传感器12时，不会发生所述交流电压 互相抵消，检出电压值变为负方向高电平。但是，继续移动传感器12， 如果三个电极14、 18、 16全部移动到断路图案62的正上方，第一供 电电极14的相位为0°以及第二供电电极16相位为180。的交流电压会 同时施加到该断路图案62上。而且，因为施加的这两种交流电压互相 抵消，断路图案62的电位大致变为0。因此，通过检査电极18检査出 的检出电压值也大致稳定为0。另一方面，传感器12进一步移动，在通过断路O位置的前后，检 出电压值有大的变动。具体的讲，只有第二供电电极在断路O后方侧， 只有检査电极18以及第一供电电极14在断路0前方侧。这时，在断 路O前方侧的断路图案62a上只施加相位为0。的交流电压。而且，该 前方侧的断路图案62a的电位在正方向上升高电位，与该前方侧的断 路图案62a静电耦合的检査电极18上感应产生0。的交流电压。另外，传感器12移动，当只有第二供电电极16以及检查电极18 位于断路O的后方侧时，相反地，就产生减少。也就是说，检査电极 18与断路0后方侧的断路图案62b静电耦合，该后方侧的断路图案62b 只被从第二供电电极施加相位为180。的交流电压。因此，检查电极18 的信号经同步检波，检出负的直流电压。总之，当传感器12通过断路0的时候，如图6下侧图示，检出电 压值，首先偏向正方向增大，之后偏向负方向增大。另一方面，在传 感器12已经离开断路O的时从以上的说明中可以明确的是，本实施方式，因为在导电图案62 上同时施加有反相的交流电压，所以离开缺陷时的检出电压值稳定。 并且，作为结果，能够提高断路O位置判定精度。下面，关于第五实施方式进行说明。图7是第五实施方式所述的 图案检査装置10的概况俯视图。此图案检査装置10是一种适用于从 多条导电图案中判定产生有短路的导电图案(以下称为短路图案)的装 置。该图案检査装置10的传感器12可以沿着导电图案60的配置方向 (图7中的Y方向)移动。第一供电电极14、检査电极18、第二供电电 极16沿配置方向排列配置于传感器12。与上述的实施方式相同，三个 电极14、 18、 16与对向的导电图案60相距能够产生静电耦合的距离， 该传感器12配置在衬底的上侧。在两个供电电极14、 16上施加互相反相的交流电压。在本实施方 式中，在配置在传感器12移动方向前方侧的第一供电电极上施加相位 为0。的交流电压，在配置在传感器12的移动方向后方侧的第二供电电 极16上施加相位为180。的交流电压。检査电极18设置在两个供电电 极14、 16之间，用于检出对向的导电图案60感应产生的交流电压值。 该检查电极18感应产生的交流电压，经过放大器26放大，作为检出 电压值而被取得。关于^^用了该检査装置10的断路图案的判定过程进行说明。图7 右侧图示随着传感器12的移动检出电压值的变化的模样。另外，以下 说明为了易于理解，将传感器12移动方向前方侧的短路图案64a称为 "第一短路图案"，将传感器12移动方向后方侧的短路图案64b称为"第 二短路图案"。在从多条导电图案60中判断邻接的导电图案和产生有 短路的短路图案64a、 64b的时候，将传感器12的位置调整到导电图 案60的端部旁边后，使该传感器12沿着导电图案60的配置方向移动。此时，在与第一供电电极14相对向的导电图案上施加相位为0° 的交流电压，在与第二供电电极16相对向的导电图案上施加相位为 180。的交流电压。另外，通过不均匀存在的寄生电容，在液晶面板50 整体同时施加相位为0。的交流电压和相位为180。的交流电压。这种施 加在液晶面板50整体的两种交流电压，因为互相抵消，所以液晶面板50上的整体电位大致稳定为0。因此，当传感器12位于离开短路图案 64a、 64b的位置时，通过检査电极18检出的检出电压大致稳定为0。另一方面，在检査电极18通过短路图案的前后，检出电压值有大 的变动。具体的讲，第二供电电极16移动到第二短路图案64b的对向 位置，检査电极18移动到第一短路图案64a的对向位置。这时，第二 供电电极16在第二短路图案64b以及与该第二短路图案64b短路的第 一短路图案64a上施加相位为180。的交流电压。第一供电电极14通过 寄生电容也会在该第一短路图案64a、第二短路图案64b施加相位为0。 的较小的交流电压，但与第二供电电极16施加的相位为180°的交流电 压相比，其比例是非常小的。因此，第一短路图案64a、第二短路图案 64b的电位偏向负方向增大。在与该负方向电位增高的第一短路图案 64a相对向的检査电极18上感应产生负的交流电压。接着，传感器12 继续移动，当检査电极18移动到与第二短路图案64b相对向的位置、 第一供电电极14移动到与第一短路图案64a相对向的位置时，这次产 生相反的现象。也就是说，第一短路图案64a、第二短路图案64b的电 位通过由第一供电电极14提供的相位为0。的交流电压偏向正方向较 大，检査电极18感应产生正的交流电压。总之，如图7右侧图示，当传感器12通过短路图案64a、 64b的 时候，检出电压值首先偏向负方向较大，接着偏向正方向较大。控制 部根据检出电压值有较大偏向时传感器12的位置判定短路图案64a、 64b。从以上的说明中可以明确的是，在本实施方式中，因为同时施加 反相的交流电压，使得离开缺陷位置的检出电压值大致稳定为0。并且， 其结果提高了短路图案的判定精度。另外，本实施方式的图案检查装置IO不仅能判定邻接的导电图案 的互相短路，而且能判定在互相交叉的方向上延伸的导电图案的互相 短路也就是交叉短路。图8是采用本实施方式的图案检査装置10，判定和栅极线52a产 生有交叉短路的源极线54a，也就是交叉线54a时的概况俯视图。在判定交叉短路54a的时候，把传感器12配置到源极线54a的端 部旁边后，使该传感器12沿着源极线54的配置方向(图8中的Y方向)移动。如上所述，在本实施方式中，同时施加有互相反相的交流电压。因此，在离开交叉线54a的位置上，通过寄生电容施加的反相的交流 电压互相抵消，使得液晶面板50整体的电位大致稳定为0。因此，传 感器12在离开交叉线54a的位置时，检査电极18感应产生的交流电 压也大致稳定为0。另一方面，检査电极18位于交叉线54a旁边时，反相的交流电压 的平衡崩溃，使检出电压值有较大变动。具体的讲，当第二供电电极 16位于交叉线54a的正上方时，第二供电电极16主要向交叉线54a以 及和该交叉线54a交叉短路的栅极线52a，共计两条导电图案供电。另 一方面，第一供电电极14主要仅向没有产生交叉短路的一条源极线54 供电。这时，向数量多的导电图案供电的第二供电电极16的负荷增大， 电位降低。并且，与第一供电电极14相比，由于第二供电电极16的 电位降低，阻止了所述交流电压的互相抵消现象。结果，在检査电极 18周围，受第一供电电极14的影响更多，在检査电极18上感应产生 相位为0。的交流信号。传感器12继续移动，当第一供电电极14位于 交叉线54a的正上方时，产生与此相反的现象。也就是说，与第二供 电电极16相比，由于第一供电电极14的电位降低，结果在检查电极 18上感应产生相位为180。的交流信号。总之，当传感器12通过交叉线54a时，检出电压值的相位检波的 结果，首先偏向正方向上较大，接着偏向负方向较大。控制部根据该 检出电压值有较大偏向时传感器12的位置来判定交叉线54a。按照上述说明可以明确的是，因为同时施加反相的交流电压，而 使离开缺陷位置时的检出电压值大致稳定为0。并且，其结果可以提 高交叉线54a的判定精度。
权利要求
1. 一种图案检查装置，可判定呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案电性连接的交叉短路的位置，其特征在于，具备供电电极，其与产生有交叉短路的第一导电图案即交叉图案之间保持微小的空间并沿该交叉图案移动，隔着上述微小空间通过静电耦合从而向交叉图案施加交流电压；检查电极，其与供电电极联动，在与交叉图案平行的方向移动，通过与对向的第二导电图案静电耦合而接受来自该第二导电图案的交流电压的感应；控制部，其根据检查电极所感应产生的交流电压值的变化而判定交叉短路的位置。
2、 根据权利要求l所述的图案检查装置，其特征在于， 供电电极，沿移动方向邻接设置两个；检査电极，沿通过上述两个供电电极的大致中间位置的线邻接设 置两个；
3、 根据权利要求1或2所述的图案检査装置，其特征在于， 还具备辅助电极，其设置于供电电极旁边，并与该供电电极联动而移动，并向对向的导电图案施加与供电电极所施加的交流电压电平 相同、相位相差180。的第二交流电压。
4、 一种图案检査装置，其能够检査衬底上呈多列配置的导电图案 的状态，其特征在于，具备第一供电电极，其与衬底之间保持微小空间而移动，主要是向对 向的导电图案施加第一交流电压；第二供电电极，其与第一供电电极联动而移动，主要是向对向的 导电图案施加与第一交流电压相同电平、相位相差180。的第二交流电 压；检査电极，其与两个供电电极联动而移动，并对应对向的导电图 案感应产生的交流电压值而产生相应大小的交流电压；控制部，其根据检查电极所感应产生的交流电压的值的变化而判 断导电图案的状态。
5、 根据权利要求4所述的图案检查装置，其特征在于， 两个供电电极，在导电图案的端部旁边，沿配置方向移动； 检査电极，分别在两个供电电极的旁边各设置一个，与该供电电极联动而移动；控制部，根据检査电极感应产生的交流电压值的变化，而从多个 导电图案中判定产生有断路的断路图案。
6、 根据权利要求4所述的图案检査装置，其特征在于， 在产生有断路的导电图案即断路图案的长度方向上依次配置第一供电电极、检査电极、第二供电电极，并使该三个电极沿所述断路图 案移动；控制部，根据检査电极所感应产生的交流电压值的变化，而判定 断路图案上存在断路的位置。
7、 根据权利要求4所述的图案检査装置，其特征在于， 隔着绝缘层将呈多列配置的第一导电图案、以及在与第一导电图案交叉的方向呈多列配置的第二导电图案进行堆叠时，沿第一导电图案的配置方向依次配置第一供电电极、检查电极、第二供电电极，并使该三个电极沿该配置方向移动；控制部，根据检査电极感应产生的交流电压值的变化，而判定与第二导电图案形成有短路的第一导电图案即交叉图案。
全文摘要
本发明提供一种图案检查装置，其不必使电极接触导电图案而可以判定交叉短路的位置。两个供电电极和两个检查电极呈大致十字状配置于传感器。该传感器沿着产生有交叉短路的交叉线移动。此时，供电电极向交叉线施加交流电压。另外，检查电极与对向的栅极线静电耦合。通过传感器的移动，检查电极移动到与产生交叉短路的栅极线相对向的位置时，在检查电极感应产生较大的交流电压。根据该感应产生的电压值的变化，判定交叉短路的位置。
文档编号G01R31/02GK101246267SQ20071018087
公开日2008年8月20日 申请日期2007年10月19日 优先权日2006年10月19日
发明者小原徹, 板垣卓男 申请人:株式会社东京阴极研究所