拆卸式垂直适配卡的制作方法

文档序号:5821941阅读:146来源:国知局
专利名称:拆卸式垂直适配卡的制作方法
技术领域
本实用新型是与晶圆测试的探针适配卡有关,特别是指一种可快速拆组的垂 直探针适配卡。
背景技术
在晶圆制造完成后,必须再经由测试以确保其特性正确。而一般测试晶圆是 利用一探针卡,其探针卡主要是由一基板(可为PCB板或其它的转接板)与一探 针座所构成,凭借将探针座的探针与基板上的悍点接触使所述的各探针与晶圆接 触后的电气特性传导到所述的基板上,再由所述的基板传输至测试机台加以检测。但是,由于基板主要用以作为探针座上的探针与测试机台间的电气传导媒介, 因此所述的基板必须具有能与所述的探针座上的探针加以连结的焊点,但目前基 板和探针座的结合方式主要是经回焊炉将含锡铅的合金球、锡膏或以弹性导电胶 作为布设在基板10和探针座30上的若干焊点20相连结如图l所示,但,以回焊 贴合焊点的方式制成的基板容易产生电气特性损耗与探针作单独接触时高度控制 不佳等情形,加上质量难以监控,如此一来不仅将导致过多不良品的形成,更加 致其制造成本大幅提高。发明内容本实用新型的主要目的在于提供一种可快速拆组并有效减少电气耗损的拆卸 式垂直适配卡结构,以活动组合的方式可扩与不同线路规格的探针座所连结,以 增加其使用的范围,进而降低制造所需的成本。为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是一种拆卸式垂直适配卡结构,其特征在于包含有 一基板,具有一容置槽 可供容设一探针座,且所述的探针座和基板间是以一活动组合作为相互的连结。与现有技术相比较,采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于可增 加其使用的范围,进而降低制造所需的成本。

图1:现有探针界面板的示意图;图2:是本实用新型一较佳实施例的结构示意图; 图3:是图2所示较佳实施例的使用状态示意图; 图4:是图2所示较佳实施例的另一使用状态示意图。附图标记说明10-基板;20-焊点;30-探针座;50-探针座;51-焊垫;60-探 针;70-基板;71-容置槽;80-固定块;81-螺帽;82-垫体;83-螺丝;84-螺孔。
具体实施方式
为能更详细说明本实用新型的特征,兹举本实用新型的较佳的实施例并配合 图示说明在下;其中请参阅图2,是本实用新型所提供一较佳实施例拆卸式垂直适配卡结构,其主要包含有一基板70,具有中间呈一容置槽71可用于容设一探针座50,且所述 的探针座50和基板70间并以一活动组合方式作为相互的连结;其中所述的基板70可为一 PCB板或其它材质所制成的转接板,具有一第一面与 相背于第一面的第二面,所述的基板70和探针座50以分别预设的螺孔84,并用 以螺丝83和螺帽81将探针座50锁固在基板70下,所述的基板70和探针座50 上均分别布设有若干预定数量与预定间距的焊垫51,且所述的焊垫51是以跳线 方式连接至探针座50的焊垫51,如此将有效解决现有以回焊炉贴合焊点制成的 探针卡易有电气耗损的缺失。请继续参阅图3所示,本实用新型的另一组合方式,是利用螺丝83和螺帽 81将探针座50固设在基板70上端,所述的探针座50除了可采上述方式固定在 基板70上端,也可使用以环氧树脂将其黏贴在基板70,由于测试晶圆的机台高 度固定,但遇有长尺寸规格的探针60时,因高度受限以致无法顺利完成晶圆的测 试,为彻底解决此一现象,本实用新型在结构设计上,是依据不同的使用范围将 探针座50安放置在基板70上并搭配具有缓冲或不缓冲的垫体82加以锁固,同时 可随垫体82数量的增减予适当调整其高度,则所述的长尺寸探针60即可穿至容 置槽71下方达到接触晶圆探测的目的,如此将不再受限于所使用探针规格不同而 影响整体进度。
请参阅图4所示,本实用新型拆卸式垂直适配卡结构,除了可将探针座50放置在基板70的上、下外,也可将探针座50固锁在容置槽71内或中间,据形成 一基板70中连结有一探针座50的组合,其主要是利用一外观呈中空板状或为一 块状体的固定块80将基板70夹固在两板块之间,凭借与所述的探针座50和所述 的基板70的螺孔84位置相对应的设计,使所述的探针座得以稳固的锁结在容置 槽71内,此外也可在基板70、探针座50和固定块80上分别设置可相接合的凸 点与凹槽图未示,再以螺丝83加强固定或用以环氧树脂黏合方式完成的,因此不 论将探针座50固定在基板70的上、下或中间,所述的焊垫51与焊垫51间的连 接均可通过以跳线方式完成,形成具有良好的电气特性,因此无论探针60、基板 70或探针座50在使用上如遇有异常故障时可立即进行更换,达到快速维修的目 的,又本实用新型可随不同产品的检测范围作调整,只需将探针座50的线路规格 作单独变化设计再搭配制式基板70连结即可扩大适用于不同测试范围,达到有效 降低制造和备料成本。以上说明对本实用新型而言只是说明性的,而非限制性的,本领域普通技术 人员理解,在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下,可作出许多修改、 变化或等效,但都将落入本实用新型的权利要求可限定的范围之内。
权利要求1.一种拆卸式垂直适配卡结构,其特征在于包含有一基板,具有一容置槽可供容设一探针座,且所述的探针座和基板间是以一活动组合作为相互的连结。
2. 根据权利要求l所述的拆卸式垂直适配卡,其特征在于所述的基板为一PCB板。
3. 根据权利要求l所述的拆卸式垂直适配卡,其特征在于所述的基板,具 有一第一面与相背于第一面的第二面。
4. 根据权利要求l所述的拆卸式垂直适配卡,其特征在于所述的探针座和 基板均分别布设有若干焊垫,且所述的焊垫间是以跳线方式作为相互的连结。
5. 根据权利要求l所述的拆卸式垂直适配卡,其特征在于所述的活动组合 更包含有螺丝、螺帽、固定块等构件,且所述的固定块为一中空板件或为一块状 体,其上预设的螺孔与探针座、基板的螺孔位置呈相互对称。
6. 根据权利要求l所述的拆卸式垂直适配卡,其特征在于所述的活动组合 是以螺丝螺接。
7. 根据权利要求1所述的拆卸式垂直适配卡,其特征在于所述的活动组合 以环氧树脂黏合。
8. 根据权利要求1所述的拆卸式垂直适配卡,其特征在于所述的探针座分 别组设在基板的上、下或中间。
专利摘要本实用新型是一种拆卸式垂直适配卡结构,包含有一基板;所述的基板具有一容置槽可供容设一探针座,所述的探针座和基板间是以一活动组合作为相互的连结,所述的基板具有一第一面与相背于第一面的第二面,且所述的探针座和基板均分别布设有若干焊垫,所述的焊垫与焊垫间是以跳线方式作为相互的连接,据使探针座可依不同需求组设在基板的上、下或中间,以可达其检测晶圆的目的;以活动型态组设的接口扩大应用多种型态的探针座连结使用。
文档编号G01R1/02GK201041569SQ20072000546
公开日2008年3月26日 申请日期2007年4月29日 优先权日2007年4月29日
发明者苏仁彬 申请人:连陞科技有限公司
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