专利名称：一种可提高校验周期的光谱分析仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光镨分析仪，特别涉及一种可提高校验周期的光谱分析仪。
技术背景光语分析仪通过物质的特征光镨来研究物质的化学成分和存在状态，其具 有分析速度快、操作简便和灵敏度高的诸多优点。光谱分析仪通常包括样品采 集模块、装有样品采集模块所采集样品的待测样品模块、用于产生测试用光的 光源模块、用于处理透过待测样品模块后的光的光学处理模块和用于对光学处 理模块处理后的光进行光语分析的光语分析模块，所述光学处理模块包括三个 反射镜，所述三个反射镜设置在一暗室中，由于光谱分析仪通常设置在较潮湿 的环境中，而暗室又无任何抽风装置与外界进行空气交换，设置在所述暗室中 的反射镜上易沉积水分，而水分会对光语分析仪的测试精度造成影响，故需频 繁的对光镨分析仪进行校验(检验周期为由正常的一年缩短为半年或三个月)， 如此将会大大的增加成本。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种可提高校验周期的光语分析仪，通过所述 光语分析仪可提高其校验周期。本实用新型的目的是这样实现的 一种可提高校验周期的光镨分析仪，其 包括样品采集模块、装有样品采集模块所采集的样品的待测样品模块、用于产 生测试用光的光源模块、用于对透过待测样品模块的光进行光学处理的光学处 理模块以及用于对光学处理模块处理后的光进行光谱分析的光语分析模块，该 光学处理模块包括多个反射镜，其中，该多个反射镜设置在一暗室中，该暗室 中设置一抽风模块。在上述的可提高校验周期的光谱分析仪中，该抽风模块包括用于产生负压 的负压驱动单元和与其相连接的抽风管路。在上述的可提高校验周期的光镨分析仪中，该暗室具有一狭缝，该抽风管
路通过该狭》老没置在该暗室中。在上述的可提高校验周期的光i普分析仪中，该反射镜的数目为三个。 在上述的可提高校验周期的光谱分析仪中，该光学处理模块还包括一透镜。 与现有技术中设置有反射镜的暗室没有抽风装置易导致反射镜上沉积水分 而使光语分析仪需频繁校验相比，本实用新型的可提高校验周期的光i普分析仪 在该暗室中设置了一抽风装置，从而可延长光语分析仪的校验周期，大大节约 了成本。
本实用新型的可提高校验周期的光语分析仪由以下的实施例及附图给出。 图1为本实用新型的可提高校验周期的光谱分析仪的组成结构示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的可提高校验周期的光谱'分析仪作进一 步的详细描述。本实用新型的可提高校验周期的光谱分析仪1包括样品采集模块IO、待测 样品模块ll、光源模块12、光学处理模块13、光谱分析模块14、暗室15和抽 风模块16。以下对光谱分析仪1的上述构成要件进行详细说明。样品采集模块10用于对待测的化学品进行采样。待测样品模块11装有样品采集模块10所采集的样品，所述待测样品模块 11可上下左右移动且可透光。光源模块12用于产生测试用光，所述光源模块12包括一光源(未图示) 和用于将光源所产生的光处理为可直接进入待测样口。。模块11的测试用光的透镜 (未图示)。光学处理模块13用于将透过待测样品模块11的光进行光学处理，其包括 透镜130和三反射镜131a、 131b、 131c。光谱分析模块"用于将经光学处理模块l3处理后的光进行分析以得出待 测样品的化学成分等信息。三反射镜131a、 131b、 131c和光镨分析模块14设置在暗室15中，所述暗室15还具有狭it 15 0。抽风模块16通过所述狭缝150进入所述暗室15中，用于将暗室15的空气 抽出从而使暗室l5内空气与外界流通，所迷抽风冲莫块16包括用于产生负压的 负压驱动单元160和与其相连接且通过狭缝150进入暗室15中的抽风管3各161。所述光谱分析仪1在对待测化学品进行分析时，首先先由样品采集模块10 对待测的化学品进行采样，然后将采集所得样品放置在待测样品模块ll中，接 着光源模块l2所产生的测试用光透过待测样品模块U并经光学处理模块13处 理后进入光谱分析模块"，所述光谱分析模块14即可依据进入其内部的光分析 出所述待测化学品的成分。实验证明，在暗箱15中设置抽风模块16可将光镨测试仪的测试周期由没 设置抽风模块时的半年或三个月延长至一年，如此将大大节约校验成本。综上所述，本实用新型的可提高校验周期的光语分析仪在所述暗室中设置 一可减少水分在反射镜上沉积的抽风装置，从而可延长光语分析仪的校验周 期，大大节约了成本。
权利要求1、一种可提高校验周期的光谱分析仪，其包括样品采集模块、装有样品采集模块所采集的样品的待测样品模块、用于产生测试用光的光源模块、用于对透过待测样品模块的光进行光学处理的光学处理模块以及用于对光学处理模块处理后的光进行光谱分析的光谱分析模块，该光学处理模块包括多个反射镜，其中，该多个反射镜设置在一暗室中，其特征在于，该暗室中设置一抽风模块。
2、 如权利要求l所述的可提高校验周期的光镨分析仪，其特征在于，该抽
3、 如权利要求2所述的可提高校验周期的光谱分析仪，其特征在于，该暗 室具有一狭缝，该抽风管路通过该狭缝设置在该暗室中。
4、 如权利要求1所述的可提高校验周期的光镨分析仪，其特征在于，该反 射镜的数目为三个。
5、 如权利要求1所述的可提高校验周期的光i普分析仪，其特征在于，该光 学处理模块还包括一透镜。
专利摘要本实用新型涉及一种可提高校验周期的光谱分析仪。现有的光谱分析仪的反射镜设置在无抽风装置的暗室中易导致反射镜上沉积水分而使光谱分析仪的校验周期较短。本实用新型的可提高校验周期的光谱分析仪包括样品采集模块、装有样品采集模块所采集的样品的待测样品模块、用于产生测试用光的光源模块、用于对透过待测样品模块的光进行光学处理的光学处理模块以及用于对光学处理模块处理后的光进行光谱分析的光谱分析模块，该光学处理模块包括多个反射镜，其中，该多个反射镜设置在一暗室中，该暗室中设置一抽风模块。采用本实用新型的光谱分析仪可提高校验周期。
文档编号G01N21/27GK201051073SQ20072007076
公开日2008年4月23日 申请日期2007年6月8日 优先权日2007年6月8日
发明者石春来 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司