专利名称：封闭式气浮导轨的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种封闭式气浮导轨，是利用流体力学的作用而使工件能平稳的 处于非接触式的可移动装置，尤其是其能运用于高精密仪器测量的系统，如三坐标测 量仪器、轮廓测量仪器等。
背景技术：
目前，精密仪器上使用最多的，利用流体力学作用而使被测工件(或测量用的传 感器类)可动，这样使测量得以完成的气浮类的可动导轨，均是凭借气体的浮力使可 动部件运动，再依靠可动部分的本身自重，使可动(运动)部件保持平稳。但是相应 的问题随之而来，因为气源的不稳定、可动部件的重力不足等因素就导致了气浮可动 部件的运动不平稳，由此不稳定所带来测量数据不可靠的问题。实用新型内容要解决的技术问题为了避免现有技术的不足之处，克服现有气浮可动部件的运动不平稳，以及由此 不稳定所带来的测量数据不可靠的问题，本实用新型提出一种封闭式气浮导轨。我们 对于目前的气浮类导轨进行了重新的设计，采用封闭气浮导轨的测量仪，减少了因为 气源的变化，及可动部件的本身自重而产生的测量错误。使得精密仪器将不再依靠可 动部件的自重，来保持可动部分的平稳运动。影响测量数据的不准确因素，就减少了， 从而提高了测量的可靠性。技术方案本实用新型提出的封闭式气浮导轨，包括导轨和输气用的导管组成的气路，技术 特征在于所述的导轨有两个上导轨5、两个中导轨6、两个下导轨8以及定导轨7;上导轨5与中导轨6和下导轨8组成对称形状的C形状，两个C形状的装置口对口 ， 通过载物台4连接而围住定导轨7;所述的上导轨5、中导轨6和下导轨8的内部设计 有气流通道，在C形状的组合中相互连通，两个上导轨之间采用气路导管10连接贯 通；所述的导轨内的气流通道相对定导轨7的一侧均设计了气嘴3;进气路1设计在定导轨7的下端。所述的上导轨5上的气流通道为均匀分布在该导轨内的通孔。所述的中导轨6上的气流通道为均匀分布在该导轨内的一段通孔，上端与下端与外部不连通。所述的下导轨8上的气流通道为均匀分布在该导轨内的一段通孔，与中导轨6连 接的一侧与外部连通，另一侧与外部不连通。所述上导轨5、中导轨6和下导轨8上分布的通孔的均匀度、尺寸一致。 有益效果本实用新型提出一种封闭式气浮导轨，使得精密测量仪器的测量，不因为气源的 变化，及可动部件的本身自重而产生的测量错误，得以解决。在精密仪器的测量系统 中使用我们的封闭式气浮导轨，那么精密仪器将不再依靠可动部件的自重，来保持可 动部分的平稳运动。影响测量数据的不准确因素减少了，从而提高了测量的可靠性。
图l:实施例正视图 图2:实施例侧视图 图3:实施例俯视图l-2-螺钉；3-气嘴；4-载物台；5-上导轨；6-中导轨；7-定导轨；8-下导轨；9-支撑平台； 10-气路导管；虚线为气流通道，箭头所示为气流走向。
具体实施方式
现结合附图对本实用新型作进一步描述 图示为实施例的封闭式气浮导轨的示意图。图一为正视图，图中箭头所示为进气示意。其中有螺钉把中导轨与上导轨、下导 轨相连接，在各导轨中有气路相对应连接。图二为侧视图，进气孔中的气流经气路进入导轨，再流向各个气嘴，气流经气嘴 喷出，如示意图所示。其中有螺钉固定载物台于上导轨上平面，定导轨与支撑平台固 定。图三为俯视图，上、中、下各导轨对称布置于定导轨的上、左右、下四个平面。 其中两个上导轨之间由通气的导管连接各气路，使之相通。在本实施例中的气路导管是用聚乙烯管字制作的，这种管子与各上导轨的气路通 过特别制作的接头连接形成图三中所示的气路导管。本实施例的中导轨长度为180，厚度为12，宽度为54。在宽度平面上均布有安装 用的螺钉、堵头、气嘴等孔位。在装配好上、下导轨后，所有的气孔02.5将正对上 导轨、下导轨中的气路形成气路通道。2-M3深6的螺钉孔将用于与拖动整个封闭式气 浮导轨的动力系统连接用，以使整个系统平稳移动。本实施例中导轨有两个上导轨5、两个中导轨6、两个下导轨8以及定导轨7;上 导轨5与中导轨6和下导轨8组成对称形状的C形状，两个C形状的装置口对口，通 过载物台4连接而围住定导轨7，组合成封闭状态。所述的上导轨5的气流通道为均 匀分布在该导轨内的通孔。中导轨6的气流通道为均匀分布在该导轨内的一段通孔， 上端与下端与外部不连通。下导轨8的的气流通道为均匀分布在该导轨内的一段通孔， 与中导轨6连接的一侧与外部连通，另一侧与外部不连通。上导轨5、中导轨6和下 导轨8上分布的通孔的均匀度、尺寸一致，并在C形状的组合中相互连通，两个上导 轨之间采用气路导管10连接贯通。在导轨内的气流通道相对定导轨7的一侧均设计了 气嘴3，进气路1设计在定导轨7的下端。图二所示，气嘴被压入上导轨、中导轨、下导轨与导轨中的气路形成节流装置， 以致气流在压力作用下可喷涌而出，与定导轨形成有反作用力，促使上、中、下导轨 组成的载物台可以沿着定导轨平稳移动。具体的应用是，带有一定压力的气体通过位于一中导轨的进气孔进入装置的气路 中，进入气路的气体先进行分道，然后通过各个气道，进入到上、中、下三类导轨中， 气体凭借压力通过分布于三类导轨中气嘴，急速喷出形成气膜。上、中、下导轨三类 导轨与定导轨在此气膜的反作用力下浮起，浮起的导轨在上、中、下对称布置的作用 下，平稳地随作用于其上的力而运动。要么工件布置于载物台(可动部件)上，要么 传感器布置于载物台(可动部件)上，就可进行详细的测量了。
权利要求1.一种封闭式气浮导轨，包括导轨和输气用的导管组成的气路，其特征在于所述的导轨有两个上导轨(5)、两个中导轨(6)、两个下导轨(8)以及定导轨(7)；上导轨(5)与中导轨(6)和下导轨(8)组成对称形状的C形状，两个C形状的装置口对口，通过载物台(4)连接而围住定导轨(7)；所述的上导轨(5)、中导轨(6)和下导轨(8)的内部设计有气流通道，在C形状的组合中相互连通，两个上导轨之间采用气路导管(10)连接贯通；所述的导轨内的气流通道相对定导轨(7)的一侧均设计了气嘴(3)；进气路(1)设计在定导轨(7)的下端。
2. 根据权利要求1所述的封闭式气浮导轨，其特征在于所述的上导轨(5)上的气流通道为均匀分布在该导轨内的通孔。
3. 根据权利要求1所述的封闭式气浮导轨，其特征在于所述的中导轨(6)上的气流通道为均匀分布在该导轨内的一段通孔，上端与下端与外部不连通。
4. 根据权利要求1所述的封闭式气浮导轨，其特征在于所述的下导轨(8)上的气流通道为均匀分布在该导轨内的一段通孔，与中导轨(6)连接的一侧与外部连通，另一侧与外部不连通。
5. 根据权利要求1~4所述的封闭式气浮导轨，其特征在于所述上导轨(5)、中导 轨(6)和下导轨(8)上分布的通孔的均匀度、尺寸一致。
专利摘要本实用新型涉及一种封闭式气浮导轨，技术特征在于由上导轨、中导轨、下导轨等组成的封闭式可以气浮的导轨机械装置。此装置就是由六个导轨组成，形如两个C形的机械装置，此C形装置围绕一定导轨并由一载物台相连接，连同定导轨组成形如封闭式的导轨装置。此装置中的三种导轨(共六个)有可通连的气路，在各气路的出口处有气嘴，在气路中通有带有一定压力的气流。在气流压力作用下，上导轨、中导轨、下导轨与定导轨间形成反作用力，在这种作用力下载物台就可以在定导轨上平稳移动。此平稳移动不受载物台的所在重物及气流压力的影响，此平稳移动被应用于三坐标测量仪、形状测量仪、粗糙度测量仪等精密仪器中提高了仪器的测量精度。
文档编号G01D11/00GK201107050SQ20072012639
公开日2008年8月27日 申请日期2007年11月16日 优先权日2007年11月16日
发明者白九成, 雷文泽 申请人:西安东风仪表厂