专利名称：一种三维调节座的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种三维调节座。
背景技术：
现有的三维调节座X、 Y、 Z三个方向的调节是利用导轨副或燕尾槽、 螺纹副或微分头单独控制每一单方向的移动，把三者的移动组合起来实现 X、 Y、 Z的三维调节。现有的三维调节座需要分别独立地实现X、 Y、 Z 三个方向的调节，结构比较复杂。 发明内容
本实用新型就是为了克服以上的不足，提出了一种结构简单的三维调 节座。
本实用新型的技术问题通过以下的技术方案予以解决
一种三维调节座，包括X向微调组件、Y向微调组件和Z向微调组件、 固定座、关节轴承；所述X向微调组件与关节轴承内圈固定连接，所述关 节轴承外圈与固定座连为一体，所述X向微调组件一端用于固定待调节物、 另一端为X向调节器，所述Y向微调组件一端顶着X向微调组件，另一 端为Y向调节器，所述Z向微调组件一端顶着X向微调组件，另一端为Z 向调节器。
所述X向调节器为X向微调旋钮，所述X向微调组件还包括X向固 定杆、X向微调螺母、X向微调螺杆、传递介质、压簧和移动杆；所述X 向微调螺母固定在X向固定杆上，所述X向微调螺杆穿过X向微调螺母、 一端与X向微调旋钮连接、另一端经传递介质顶住移动杆，所述压簧一端 卡在X向固定杆、另一端卡在移动杆上。
所述Z向调节器为Z向微调旋钮，所述Z向微调组件还包括Z向微调
螺母、Z向固定杆和Z向微调螺杆；所述Z向微调螺母固定在Z向固定杆 上，所述Z向固定杆与固定座连接；所述Z向微调螺杆穿过Z向微调螺母、
一端与z向微调旋钮连接、另一端顶住X向固定杆。
所述Y向调节器为Y向微调旋钮，所述Y向微调组件还包括Y向微调螺母、Y向固定杆和Y向微调螺杆；所述Y向微调螺母固定在Y向固 定杆上，所述Y向固定杆与固定座连接；所述Y向微调螺杆穿过Y向微 调螺母、 一端与Y向微调旋钮连接、另一端顶住X向固定杆。
所述三维调节座还包括第一拉簧和第二拉簧；所述第一拉簧一端拉住 移动杆、另一端固定在固定座上；所述第一拉簧一端拉住移动杆、另一端 固定在固定座上；所述第一拉簧的作用力与第二拉簧的作用力对称。
所述三维调节座还包括固定底座，所述固定底座与固定座连接。
所述固定底座带有磁性。
所述待调节物为针杆。
所述传递介质为球。
本实用新型与现有技术对比的有益效果是本实用新型的三维调节座 的Y向和Z向通过X向进行间接调节，不需分别独立地实现X、 Y、 Z三 个方向的调节，结构比较简单。本实用新型的三维调节座的灵敏度高、定 位精度高。本实用新型的三维调节座以最简单实用的结构达到现有三维调 节座的功能及精度。
图1是本实用新型具体实施方式
的结构示意图2是本实用新型具体实施方式
的结构示意图3是本实用新型具体实施方式
的X向微调组件的结构示意图4是本实用新型具体实施方式
的X向微调组件的剖视示意图5是本实用新型具体实施方式
的X向微调组件的立体分解示意图6是本实用新型具体实施方式
的Y向微调组件的结构示意图7是本实用新型具体实施方式
的Y向微调组件的立体分解示意图8是本实用新型具体实施方式
的使用状态示意图。
具体实施方式
下面通过具体的实施方式并结合附图对本实用新型做进一步详细说明。
如图1、 2所示， 一种三维调节座，包括X向微调组件、Y向微调组 件和Z向微调组件、固定座5、关节轴承4;所述X向微调组件与关节轴 承4内圈固定连接，所述关节轴承4外圈与固定座5连为一体。所述X向微调组件可以实现在调节座的前后方向的调节，所述Y向微调组件可以实 现在调节座左右方向的调节，所述Z向微调组件可以实现在调节座上下方 向的调节。(当然，X、 Y、 Z方向也可由用户自己定义)
如图l、 2、 3、 4、 5所示，所述X向微调组件包括X向微调旋钮ll、 X向固定杆15、 X向微调螺母12、 X向微调螺杆13、传递介质14、压簧 16和移动杆17。所述X向微调螺母12固定在X向固定杆15上，所述X 向微调螺杆13穿过X向微调螺母12、 一端与X向微调旋钮11连接、另 一端经传递介质14顶住移动杆17，所述压簧16 —端卡在X向固定杆15、 另一端卡在移动杆17上。所述移动杆17用于固定待调节物，如针杆等。 本具体实施方式
中，所述传递介质14为球，当然可为立方体等其他结构。 所述X向微调旋钮11还可为其他结构，只要能实现调节功能即可。
X向调节通过X向微调组件内部，X向微调螺杆13推动移动杆17， 把旋转运动转为直线运动来实现的。拧X向微调旋钮，将带动X向微调螺 杆旋转，推动传递介质14直线运动，从而使移动杆17做直线运动。由于 压簧16—端卡在移动杆17上，另一端卡在X向固定杆15上，所以，X 向微调旋钮反方向旋转时，由于压簧16的作用，移动杆17将跟着直线后 退。
如图1、 2所示，所述三维调节座还包括第一拉簧6和第二拉簧7。所 述第一拉簧6—端拉住移动杆17、另一端固定在固定座5上。所述第一拉 簧6—端拉住移动杆17、另一端固定在固定座5上。所述第一拉簧6的作 用力与第二拉簧7的作用力对称。所述第一拉簧6和第二拉簧7可以防止 X向微调组件中的移动杆17发生旋转，使待调节物不会发生偏移、定位更容易。
如图6、 7所示，所述Z向微调组件包括Z向微调旋钮31、 Z向微调 螺母32、 Z向固定杆33和Z向微调螺杆34。所述Z向微调螺母32固定 在Z向固定杆33上，Z向固定杆33与固定座5连接，所以Z向微调螺母 32是固定不动的。所述Z向微调螺杆34穿过Z向微调螺母32、 一端与Z 向微调旋钮31连接、另一端顶住X向固定杆15，所述Z向微调螺杆34 与Z向微调螺母32配合以实现旋转运动。
Z向调节通过推动X向微调组件实现。旋转Z向微调旋钮31，带动Z 向微调螺杆34旋转，从而推动X向微调组件上下微动，即带动在移动杆 17上下微动。在第一拉簧6和第二拉簧7的弹簧力作用，更能保证Z向微调螺杆34无论在何处都是一直紧靠X向微调组件，从而增加调节精度。 所述Y向微调组件的结构与Z向微调组件相同(可以参考图6、 7)， 如图1、 2所示，所述Y向微调组件包括Y向微调旋钮21、 Y向微调螺母、 Y向固定杆和Y向微调螺杆24;所述Y向微调螺母固定在Y向固定杆上， 所述Y向固定杆与固定座连接，所以螺母是固定不动的。所述Y向微调螺 杆24穿过Y向微调螺母、 一端与Y向微调旋钮21连接、另一端顶住X 向固定杆15，所述Y向微调螺杆24与Y向微调螺母配合以实现旋转运动。 Y向调节通过推动X向微调组件实现，旋转Y向微调旋钮21，带动 Y向微调螺杆24旋转，从而推动X向微调组件左右微动，即带动在移动 杆17左右微动。在第一拉簧6和第二拉簧7的弹簧力作用，更能保证Y 向微调螺杆34无论在何处都是一直紧靠X向微调组件，从而增加调节精 度。
如图l、 2所示，所述三维调节座还包括第一拉簧6和第二拉簧7;所 述第一拉簧6—端拉住移动杆17、另一端固定在固定座5上；所述第一拉 簧6—端拉住移动杆17、另一端固定在固定座5上；所述第一拉簧6的作 用力与第二拉簧7的作用力对称。
如图l、 2所示，所述三维调节座还包括固定底座8，所述固定底座8 与固定座5连接。所述固定底座8带有磁性。使用时可将固定底座8吸附 在铁介质的平面上，这时固定座5和固定底座8不动，就可以进行X、 Y、 Z三个方向的调节。
如图8所示，所述三维调节座连接上夹针组件后可以用于半导体测试 过程中高精度检测。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细 说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新 型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下， 还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
权利要求1. 一种三维调节座，其特征在于包括X向微调组件、Y向微调组件和Z向微调组件、固定座、关节轴承；所述X向微调组件与关节轴承内圈固定连接，所述关节轴承外圈与固定座连为一体，所述X向微调组件一端用于固定待调节物、另一端为X向调节器，所述Y向微调组件一端顶着X向微调组件，另一端为Y向调节器，所述Z向微调组件一端顶着X向微调组件，另一端为Z向调节器。
2. 根据权利要求1所述的三维调节座，其特征在于所述X向调节器为 X向微调旋钮，所述X向微调组件还包括X向固定杆、X向微调螺母、X 向微调螺杆、传递介质、压簧和移动杆；所述X向微调螺母固定在X向固 定杆上，所述X向微调螺杆穿过X向微调螺母、 一端与X向微调旋钮连 接、另一端经传递介质顶住移动杆，所述压簧一端卡在X向固定杆、另一 端卡在移动杆上。
3. 根据权利要求2所述的三维调节座，其特征在于所述Z向调节器为Z 向微调旋钮，所述Z向微调组件还包括Z向微调螺母、Z向固定杆和Z向 微调螺杆；所述Z向微调螺母固定在Z向固定杆上，所述Z向固定杆与固 定座连接；所述Z向微调螺杆穿过Z向微调螺母、 一端与Z向微调旋钮连 接、另一端顶住X向固定杆。
4. 根据权利要求2所述的三维调节座，其特征在于所述Y向调节器为 Y向微调旋钮，所述Y向微调组件还包括Y向微调螺母、Y向固定杆和Y 向微调螺杆；所述Y向微调螺母固定在Y向固定杆上，所述Y向固定杆 与固定座连接；所述Y向微调螺杆穿过Y向微调螺母、 一端与Y向微调 旋钮连接、另一端顶住X向固定杆；所述Y向微调螺杆与Y向微调螺母 配合以实现旋转运动。
5. 根据权利要求2-4任一所述的三维调节座，其特征在于还包括第一拉 簧和第二拉簧；所述第一拉簧一端拉住移动杆、另一端固定在固定座上； 所述第一拉簧一端拉住移动杆、另一端固定在固定座上；所述第一拉簧的 作用力与第二拉簧的作用力对称。
6. 根据权利要求5所述的三维调节座，其特征在于还包括固定底座，所 述固定底座与固定座连接。
7. 根据权利要求6所述的三维调节座，其特征在于所述固定底座带有磁性。
8. 根据权利要求l-4任一所述的三维调节座，其特征在于所述待调节物 为针杆。
9. 根据权利要求2-4任一所述的三维调节座，其特征在于所述传递介质为球。
专利摘要本实用新型公告了一种三维调节座，包括X向微调组件、Y向微调组件和Z向微调组件、固定座、关节轴承；所述X向微调组件与关节轴承内圈固定连接，所述关节轴承外圈与固定座连为一体，所述X向微调组件一端用于固定待调节物、另一端为X向调节器，所述Y向微调组件一端顶着X向微调组件，另一端为Y向调节器，所述Z向微调组件一端顶着X向微调组件，另一端为Z向调节器。本实用新型结构简单、灵敏度高、定位精度高。
文档编号G01R1/02GK201233886SQ20082009579
公开日2009年5月6日 申请日期2008年7月25日 优先权日2008年7月25日
发明者刘振辉, 康春凤, 王胜利 申请人:深圳市矽电半导体设备有限公司