专利名称：化学品供应泵的泄漏检测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检测系统，特别是涉及一种化学品供应泵的泄漏检测 系统。
背景技术：
在半导体等工业领域里，常常需要大量使用化学物品，因而需要用到许多 化学品供应泵来提供化学品，然而，大多数化学物质具有腐蚀性或者毒性，并 且易燃易爆，在实际的生产活动中，由于人为操作失误或者设备老化等原因， 难免会引起化学品泄漏的潜在可能性，如果不能及时发现或者监测到泄漏情况， 后果将不堪设想，因此，检测在工业使用上的化学物质是否泄漏显得尤其重要， 目前已经开发有许多基于传感器的用于检测化学品供应泵内化学物质是否泄漏 的检测系统，但这类用于检测泵内化学品泄漏的传感器都为精密的电子产品， 结构复杂，不能与化学品直接接触，通常都是通过间接方式对化学品进行监测， 一旦泵内出现泄漏时难以直接快速发现问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种化学品供应泵的泄漏检测系 统，该泄漏检测系统可直接与待检测的化学品接触，从而可快速检测出泄漏的 化学品。
为解决以上技术问题，本实用新型提供一种化学品供应泵的泄漏检测系统， 包括主体、光电转换器和连接在所述主体上的光纤固定架，所述光电转换器上 的光发射极连接有第 一光纤，所述光电转换器上的光接收极连接有第二光纤， 所述主体设有连接所述化学品供应泵的通道，所述通道内设有可在所述通道内
运动的浮动体；所述第一光纤的另一端和所述第二光纤的另一端对称设置在所 述光纤固定架上。
所述光电转换器上还连接有一输出系统，所述输出系统为一监控器或者警示系统。
所述光电转换器上还连接有为所述光电转换器供电的电源单元 所述主体以可拆卸方式固定在所述化学品供应泵本体上。 所述主体和所述浮动体材质采用耐腐蚀材料制成。
与现有技术相比，本实用新型的供应泵泄漏的检测系统，通过在主体上设 置有放置浮动体的通道和光纤，使得当泄漏发生时，浮动体阻挡光发射而使信 号发生变化，从而能快速方便地检测到化学品的泄漏，结构简单，使用方便， 同时无需复杂的检测设备，降低成本，可广泛应用在各种溶剂性化学品和非溶 剂性化学品供应泵上。可广泛应用在各种具有防爆要求的溶剂性化学品和非溶 剂性的化学品供应泵上。
附困说明
图1为本实用新型的系统示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的技术特征更明显易懂，
以下结合附图与实施例，对本实 用新型做进一步的描述。
请参阅图1所示， 一种化学品供应泵的泄漏检测系统，包括主体1和光电
转换器3和连接在所述主体1上的光纤固定架6，所述主体1和所述光电转换器 3之间设有一光纤组2，所述光电转换器3内设有光发射极(未标示)和光接收 极(未标示)，所述光发射极为红外线发射极，所述光电转换器3的作用就是 将红外线光信号转换为电信号输出给外部的输出系统8，所述输出系统8为一监 控器或者警示系统。当光信号被中断或者阻挡时，所述光电转换器3输出高电 平，反之则输出低电平。所述光电转换器3上的光发射极上连接有第一光纤20, 所述光电转换器3上的光接收极连接有第二光纤21,所述主体1上设有一连接 所述化学品供应泵(未标出)的通道4，所述通道4内设有一可在所述通道4内 运动的浮动体5，所述浮动体5的大小和形状可才艮据;J文置所述浮动体5的所述通 道4的形状和结构来设计，以便可以在所述通道4内运动。连接在所述主体1 上的所述光纤固定架6上对称设有两孔(未标示)，所述第一光纤20的另一端和所述第二光纤21的另一端可以任意固定在此两孔上。
所述光电转换器3上连接有一电源单元7，所述电源单元7可以对所述光电 转换器3提供电源。
连接在所述主体1上的光纤固定架6可根椐需要将其固定在所述通道4上， 固定的位置可以调节，为了可以及时检测到化学泄漏，可以将所述光纤固定架6 固定在距离浮动体5比较近的上方位置。
考虑到所述主体1和所述浮动体5接触到各种腐蚀性化学品，所述主体1 和所述浮动体5的材质采用具有耐腐蚀性材质如PFA(可溶性聚四氟乙烯)， PVDF (聚偏氟乙烯膜)，PTFE (聚四氟乙烯)等制成。
进一步地，为了方便使用，根据不同的泵体的结构和形状，所述主体1可 以灵活地以可拆卸的方式固定在所述化学品供应泵相应位置上，从而便于拆装， 本实施例中，可以在所述化学供应泵的下方靠近化学品处钻有螺紋孔，以螺紋 连接的方式将所述主体l固定在所述化学供应泵上。
进一步地，在现场安装所述4企测系统时，可以将所述光电转换器3安装在 防爆盒里，避免当化学品泄漏时引起爆炸影响到所述光电转换器3的正常使用。
所述泄漏检测系统在使用时，将所述通道4连接至待监测的化学供应泵上， 正常状态下，所述光发射极在所述光电转换器3的控制下持续发出光信号，通 过所述第一光纤20与所述第二光纤21，将光信号传回给所述光接收极，形成光 信号传输回路，所述化学供应泵没有发生泄漏，所迷浮动体5始终位于所述通 道4下方位置，不会阻挡所述光发射极发射出来的光信号，从而所述光电转换 器3通过所述光接收极持续接收到光信号，所述输出系统8接收到来自所述光 电转换器3的低电平信号，表示系统正常。
当发生化学品泄漏时，所述化学供应泵内的化学品会沿着所述通道4朝所 述主体方向涌出来，设置在所述通道4内的所述浮动体5由于受到来自泵内的 化学品的压力或者推^F而上浮，当所述浮动体5上浮到所述光纤固定架6位置， 挡住光线，从所述第一光纤20的另一端发出来的光信号被挡住，无法传输给所 述第二光纤21的另一端，所述光接收^L无法接收到光信号，所述光电转换器3 发出高电平信号输出给所述输出系统8，并由所述输出系统8对所述光电转换器 3发出的高电平信号进行处理，所述输出系统8通过监控器显示、声报警、光报
5警等方式使得监控人员得知信号的变化，从而发现泵的泄漏。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。 本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例
和说明书中描述的只是i兑明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范 围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保 护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等
同物界定。
权利要求1.一种化学品供应泵的泄漏检测系统，包括主体、光电转换器和连接在所述主体上的光纤固定架，所述光电转换器上的光发射极连接有第一光纤，所述光电转换器上的光接收极连接有第二光纤，其特征在于所述主体设有连接所述化学品供应泵的通道，所述通道内设有可在所述通道内运动的浮动体；所述第一光纤的另一端和所述第二光纤的另一端对称设置在所述光纤固定架上。
2. 如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于 所述光电转换器上还连接有一输出系统，所述输出系统为一监控器或者警示系 统。
3. 如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于 所述光电转换器上还连接有为所述光电转换器供电的电源单元。
4. 如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于 所述主体以可拆卸方式固定在所述化学品供应泵上。
5. 如权利要求1所述的一种化学品供应泵的泄漏检测系统，其特征在于 所述主体和所述浮动体采用耐腐蚀材料制成。
专利摘要本实用新型揭露了一种化学品供应泵的泄漏检测系统，包括主体、光电转换器和连接在所述主体上的光纤固定架，所述光电转换器上的光发射极连接有第一光纤，所述光电转换器上的光接收极连接有第二光纤，所述主体设有连接所述化学品供应泵的通道，所述通道内设有可在所述通道内运动的浮动体，所述第一光纤的另一端和所述第二光纤的另一端对称设置在所述光纤固定架上，所述光电转换器上还连接有一输出系统，所述输出系统为一监控器或者警示系统。利用该系统可直接快速检测出泄漏的化学品，简单方便，同时无需复杂的检测设备，降低成本，可广泛应用在各种具有防爆要求的溶剂性化学品和非溶剂性的化学品供应泵上。
文档编号G01M3/38GK201322679SQ200820154498
公开日2009年10月7日 申请日期2008年10月27日 优先权日2008年10月27日
发明者飚 朱 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司