专利名称：测量气体压力的传感器的制作方法
技术领域：
测量气体压力的传感器技术领域:本实用新型涉及一种测量气体压力的传感器，它属于气体压力测 试技术领域。
技术背景目前用于测试气体压力的传感器是用半导体做为感应元件，而半 导体的温度一致性比较差，这样就会影响到测量数据的准确性；另外 当以半导体作为感应元件时，其半导体需要用邦定来做为连接四个感应片的线，因为半导体感应片太小，用粗线是不可能的，因此用于邦定的线只能做的很细，在重复测量气压时会容易断裂。发明内容本实用新型的目的在于提供一种测量数据准确，且可以使用比较 粗的连接线，使用寿命长的测量气体压力的传感器。 本实用新型的目的是这样实现的一种测量气体压力的传感器，它包括一个片状金属载体l，在所 述的片状金属载体1的中心设置有一个凹槽5 ，凹槽区域为凹槽变形 区2,在所述的凹槽变形区2的背面中心位置设置有四个感应元件3, 所述的感应元件为金属箔。在所述的凹槽变形区2的背面中心位置设置的四个感应元件为 均匀对称设置。方形或者长方形。 所述的片状金属载体l为圓形或者椭圆形。在所述的片状金属载体1的周边均匀设置有用于固定片状金属载体l的通孔4。在所述的片状金属载体1的周边均勻设置有四个用于固定片状 金属载体1的通孔。所述的感应元件为铜箔。本实用新型采用金属箔作为变形反应部件，橫:得气压的测量数据 准确，且可以在感应元件上连接比较粗的连接导线，重复测量气压时 不会轻易断裂，可以大大的延长本实用新型的使用寿命。
图l为本实用新型正面的结构示意图图2为本实用新型图1的A-A剖视图图3为本实用新型正面的结构示意图 具体实施方法
以下结合附图1、图2和图3对本实用新型进行进一步的说明。 在本实施例中，本实用新型包括一个片状金属载体l,在所述的 片状金属载体l的中心设置有一个凹槽5 ，凹槽区域为凹槽变形区2， 在所述的凹槽变形区2的背面中心位置设置有四个感应元件3，所述 的感应元件为金属箔。在所述的凹槽变形区2的背面中心位置设置的 四个感应元件为均匀对称设置。所述的片状金属载体1为方形或者长 方形。在所述的片状金属载体1的周边均匀设置有用于固定片状金属栽体1的通孔4,该通孔4用来把这个金属载体安装固定到测试位置上。在本实施例中，在所述的片状金属载体l的周边均勻^:置有四个用于固定片状金属载体l的通孔。将本实用新型安装到待测试压力的物体上，其有凹槽的 一面向被 测物。然后将感应元件用连接导线连接到可测量到输出信号的线路上 即可。所述的片状金属载体可以是圆形或椭圓形，在本实施例中，所述 的片状金属载体可以是圓形。实施例2 :所述的片状金属载体可以是方形或者长方形。在本实施例中，所 述的片状金属载体可以是圓形。
权利要求1、一种测量气体压力的传感器，它包括一个片状金属载体(1)，其特征在于在所述的片状金属载体(1)的中心设置有一个凹槽(5)，凹槽区域为凹槽变形区(2)，在所述的凹槽变形区(2)的背面中心位置设置有四个感应元件(3)，所述的感应元件为金属箔。
2、 如权利要求1中所述的测量气体压力的传感器，其特征在 于在所述的凹槽变形区(2 )的背面中心位置设置的四个感 应元件为均匀对称设置。
3、 如权利要求1或2中所述的测量气体压力的传感器，其特 征在于所述的片状金属载体(1)为方形或者长方形。
4、 如权利要求1或2中所述的测量气体压力的传感器，其特 征在于所述的片状金属载体(1)为圆形或者椭圆形。
5、 如权利要求1中所述的测量气体压力的传感器，其特征在 于在所述的片状金属载体(1)的周边均勻设置有用于固定 片状金属载体(1)的通孔(4)。
6、 如权利要求5中所述的测量气体压力的传感器，其特征在 于在所述的片状金属载体(1)的周边均匀设置有四个用于固定片状金属载体(1)的通孔。
7、 如权利要求1或2或3或4或5中所述的测量气体压力的 传感器，其特征在于所述的感应元件为铜箔。
专利摘要一种测量气体压力的传感器，它属于气体压力测试技术领域，它包括一个片状金属载体1，在所述的片状金属载体1的中心设置有一个凹槽5，凹槽区域为凹槽变形区2，在所述的凹槽变形区2的背面中心位置设置有四个感应元件3，所述的感应元件为金属箔；在所述的凹槽变形区2的背面中心位置设置的四个感应元件为均匀对称设置。本实用新型采用金属箔作为变形反应部件，使得气压的测量数据准确，且可以在感应元件上连接比较粗的连接导线，重复测量气压时不会轻易断裂，可以大大的延长本实用新型的使用寿命。
文档编号G01L9/00GK201364219SQ20082021330
公开日2009年12月16日 申请日期2008年11月5日 优先权日2008年11月5日
发明者颜家伟 申请人:颜家伟