专利名称:一种ccd探测器标定方法及装置的制作方法
技术领域:
本发明涉及一种CXD探测器标定方法及装置,尤其涉及一种激光参数测量用CXD 探测器性能标定方法及其标定装置。
背景技术:
随着神光三主机装置大科学工程深入开展,对激光性能参数测量诊断显得越来越 重要。激光性能参数测量诊断所用的探测器全部为CCD成像探测器。由于神光三激光波长 主要为351nm和1053nm,对于CCD探测器来说响应比较低,性能参数将会下降,直接影响神 光三主机装置激光性能参数测量的准确性。目前标定CCD探测器有两方法,一种方法用激 光器和楔形镜的组合,只对CCD探测器动态范围测量,其它关键参数如均勻性、响应度、信 噪比等无法测量,且测量精度低。另一种方法用积分球均勻白光光源测试,与实际使用的激 光波长不符,导致CCD探测器标定的参数与实际参数相差很大。用上述两种标定方法,会使 CCD探测器测量激光参数的可信度大大降低。发明内容
为了解决背景技术中所存在的技术问题,本发明提出了一种激光参数测量CCD探 测器性能标定的方法及装置,解决了激光参数测量CCD探测器性能参数标定的问题,该装 置能够有效的标定CCD的性能参数并且能够给出修正系数,很好的保证激光参数测量的准 确性。
本发明的技术解决方案是一种CXD探测器标定装置,其特征在于该装置包括激 光器、衰减器、积分球以及能量探测器,所述能量探测器设置在积分球上,所述衰减器设置 在激光器和积分球之间,激光器、衰减器和积分球三者位于同一光路上。
该装置还包括可变光阑,所述可变光阑设置在者积分球上,与衰减器位于同一光 路上。
上述衰减器、CCD探测器以及能量探测器均连接于采集与控制计算机。
上述能量探测器前设置有相应波长的带通滤光片,所述能量探测器通过控制卡和 采集与控制计算机连接。
上述衰减器是由可变狭缝或不同透过率的衰减片组成的。
上述能量探测器在351nm波段是硅(si)探测器,在1053nm波段是铟镓砷 (INGaAa)探测器。
一种基于该CCD探测器标定装置的标定方法,其特征在于该方法包括以下步骤
(1)将CXD探测器安装在积分球上,将CXD探测器曝光时间、增益设置到正常工作 状态;
(2)开启激光器,计算机控制衰减器转动到光能透过最大的位置,计算机采集CXD 探测器图像并处理图像;
(3)按一定步距控制衰减器转动,减少能量,采集探测器图像和能量探测器数据,当CCD探测器图像灰度的输出值达到暗电流的值时,停止采集;
(4)将在不同能量下采集到的图像数据按最小二乘法进行线性拟合处理,可得到 CCD探测器响应度、信噪比、动态范围、响应线性度和均勻性修正系数参数。
在上述标定方法中,计算机采集CCD探测器临界饱和图像时,用计算机控制衰减 器转动,使C⑶探测器图像灰度的最大值达到饱和时的95%,采集此时的CXD探测器图像和 能量探测器数据。
本发明的优点是
1、本发明采用激光器、衰减器、能量探测器和积分球组合标定CCD探测器,可以准 确标定CCD探测器响应度、信噪比、动态范围、响应线性度等关键参数;
2、在输入不同能量的情况下,用最小二乘法对采集的数据进行处理,可以得到CXD 探测器的均勻性修正系数和响应的暗电流噪声;
3、本发明提供的标定装置,利用不同的激光波长,可以准确的测量神光三激光参 数测量用CCD探测器在不同波长的响应率;
4、本发明提供的标定装置中加入了可变光阑,可以减少外界杂光对CCD探测器性 能标定的影响,提高CCD探测器标定的精度;
5、利用本发明标定CCD探测器性能,数据采集、处理由计算机完成,稳定性高、重 复性好,测量结果置信度高;
6、本发明使CCD探测器标定的自动化程度大幅度提高,适用于批量化检验,节省 了劳动力和成本。
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
参见图1,本发明提供的CCD探测器标定装置包括激光器1、衰减器2、积分球3、可 变光阑4、能量探测器5、采集与控制计算机6,激光器电源8,激光器1、衰减器2、积分球3依 次设置在平台7上,调节激光器1和衰减器2的高度一样,激光器1要求功率短期内稳定, 并且波长可以变化,具体根据实际需求定制。衰减器2由可变狭缝或不同透过率的衰减片 组成,用来衰减激光能量。积分球3使进入的光束多次反射后达到均勻。可变光阑4设在 积分球上或者衰减器2和积分球3之间,用来消除外界杂光的影响。能量探测器5设置在 积分球3上,探测积分球3内光束的能量;能量探测器5在351nm波段选用硅(si)探测器, 在1053nm波段选用铟镓砷(INGaAa)探测器,能量探测器5前配有相应波长带通滤光片,能 量探测器5用控制卡和计算机6连接。衰减器2、CCD探测器9、能量探测器5都与计算机 6相连接,计算机6控制衰减器2的工作,并采集CXD探测器9和能量探测器5的数据。通 过计算机6的控制,衰减器2可以转动,从而透过的激光能量会根据位置不同而改变,这样 用计算机6可以直接控制,得到不同的能量下的数据。
工作时将CXD探测器9安装在积分球3上,将CXD探测器9曝光时间、增益设置到 正常工作状态,开启激光器1,计算机6控制衰减器2转动到光能透过最大的位置,计算机6 采集CCD探测器9图像并处理图像。如果图像饱和,用计算机6控制衰减器2转动,使CCD探测器9图像灰度的最大值达到饱和时的95%,采集此时的CXD探测器9的图像和能量探 测器数据。按一定步距控制衰减器2转动,减少能量,采集探测器图像和能量探测器数据。 当CCD探测器9图像灰度的最大值达到暗电流的值时,停止采集。将采集到的图像数据按 最小二乘法进行处理,可得到CCD探测器9的响应度、信噪比、动态范围、响应线性度和均勻 性修正系数等参数。
权利要求
1.一种CCD探测器标定装置,其特征在于该装置包括激光器、衰减器、积分球以及能 量探测器,所述能量探测器设置在积分球上,所述衰减器设置在激光器和积分球之间,激光 器、衰减器和积分球三者位于同一光路上。
2.根据权利要求1所述的CCD探测器标定装置,其特征在于该装置还包括可变光阑, 所述可变光阑设置在积分球上,与衰减器位于同一光路上。
3.根据权利要求1所述的CCD探测器标定装置,其特征在于该装置还包括可变光阑, 所述可变光阑设置在衰减器和积分球之间,与衰减器位于同一光路上。
4.根据权利要求1所述的CCD探测器标定装置,其特征在于所述衰减器、CCD探测器 以及能量探测器均连接于采集与控制计算机。
5.根据权利要求4所述的CCD探测器标定装置,其特征在于所述能量探测器前设置 有相应波长的带通滤光片,所述能量探测器通过控制卡和采集与控制计算机连接。
6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的CCD探测器标定装置,其特征在于所述 衰减器是由可变狭缝或不同透过率的衰减片组成的。
7.根据权利要求6所述的CCD探测器标定装置,其特征在于所述能量探测器在351nm 波段是硅(si)探测器,在1053nm波段是铟镓砷(INGaAa)探测器。
8.一种基于该CCD探测器标定装置的标定方法,其特征在于该方法包括以下步骤(1)将CCD探测器安装在积分球上,将CCD探测器曝光时间、增益设置到正常工作状态;(2)开启激光器,计算机控制衰减器转动到光能透过最大的位置,计算机采集CXD探测 器图像并处理图像;(3)按一定步距控制衰减器转动,减少能量,采集探测器图像和能量探测器数据,当 CCD探测器图像灰度的最大值达到暗电流的值时,停止采集;(4)将采集到的图像数据按最小二乘法进行处理,可得到CCD探测器响应度、信噪比、 动态范围、响应线性度和均勻性修正系数参数。
9.根据权利要求8所述的CCD探测器标定方法,其特征在于所述标定方法在计算机 采集CCD探测器图像饱和时,用计算机控制衰减器转动,使CCD探测器图像灰度的最大值达 到饱和时的95%,采集此时的CXD探测器图像和能量探测器数据。
全文摘要
本发明涉及一种CCD探测器标定方法及装置,该装置包括激光器、衰减器、积分球以及能量探测器,能量探测器设置在积分球上,衰减器设置在激光器和积分球之间,激光器、衰减器和积分球三者位于同一光路上。本发明提出的激光参数测量CCD探测器性能标定的方法及装置,解决了激光参数测量CCD探测器性能参数标定的问题,该装置能够有效的标定CCD的性能参数并且能够给出修正系数,很好的保证激光参数测量的准确性。
文档编号G01M11/02GK102032983SQ200910024039
公开日2011年4月27日 申请日期2009年9月25日 优先权日2009年9月25日
发明者李霞, 赛建刚, 赵建科, 陈永权 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所