一种利用射频标尺法测量高反射率的方法

文档序号:6134857阅读:199来源:国知局
专利名称:一种利用射频标尺法测量高反射率的方法
技术领域
本发明涉及一种光学反射率的测量方法,具体涉及的是一种利用射频标尺法测量高反射率的方法。
背景技术
目前来说,腔衰荡技术是一种高精度、高灵敏度的腔损耗测量方法,它通过测量外部入射光在高Q(品质因数)值无源谐振腔中的衰减时间来获得腔的损耗系数,常被用与高反射镜反射率测量及微量气体浓度的光谱法检测中,具有测量结果不受入射光强涨落的影响以及腔损耗越小,测量精度越高等优点。腔衰荡技术的理论依据是根据围绕腔内能量转换关系对连续波腔衰荡法测量原理,并根据多束光干涉理论分析方法来测定的。其分析方法如下首先根据品质因数Q标志腔的特征的普遍特征,使得Q与储存在腔内的能量、单位 时间内损耗的总能量和腔内光场的震荡角频率的关系,然后建立Q与腔衰荡时间、腔损耗的函数关系,建立等式关系,依照能量守恒定律,最后根据多束光干涉理论分析方法进行分析测定。腔衰荡法通过测量激光脉冲在衰荡腔中的衰荡时间计算反射率。此法更适合测定超高反射率(R = 99. 99% ),对于中低反射率的反射镜,应用该方法,激光脉冲在谐振腔内的衰荡时间极短,检测系统的响应时间对激光脉冲衰荡时间的测量精度影响大,从而引起误差比较大。

发明内容
本发明根据上述不足,提供一种运用激光相位调制的射频标尺法测量光学反射镜镜片反射率。为实现上述目的,本发明的技术方案是一种利用射频标尺法测量高反射率的方法,其实施步骤如下I)将待测反射率的反射镜制作成光电谐振腔;2)搭建光路;3)对入射激光进行光电相位调制,产生正负一级边带;4)通过锯齿波扫描光学谐振腔,得到光谱;5)将载波和一级边带之间的频率间距作为射频标尺,按比例测出载波的半峰全线宽;6)利用腔精细度与腔透射光谱的谱线宽度及反射率的关系公式,计算出反射镜的反射率。所述的光路是由信号发生器、声光调制器、电光相位调制器、锯齿波扫描谐振腔、光电探测器、示波器组成。上述技术方案的有益效果是采用了激光相位调制产生的正反一级边带与载波的频率间隔作为射频标尺,精确测量衰荡腔振透射谱线的半峰全线宽,从而实现对光学镜片反射率的高精度测量,简便易得。
具体实施例方式下面结合具体实施方式
对本发明作具体的说明。本发明一种利用射频标尺法测量高反射率的方法的光路,所述的光路是由信号发生器、声光调制器、电光相位调制器、视频信号发生器、锯齿波扫描谐振腔、光电探测器、示波器以此顺序组成,其中视频信号发生器通过电光相位调制器进行相位调制,信号发生器采用氦氖激光器(He-Ne laser),氦氖激光器发出信号,通过声光调制器进行声光调制,然后通过电光相位调制器调制,经过调制后信号进入用待测反射率的反射镜,同时得到射频信号,经过锯齿波扫描后,通过光电探测器后在示波器上显示。一种利用射频标尺法测量高反射率的方法,其实施步骤如下I)将待测反射率的反射镜制作成光电谐振腔;2)搭建光路; 3)对入射激光进行光电相位调制,产生正负一级边带;4)通过锯齿波扫描光学谐振腔,得到光谱;5)将载波和一级边带之间的频率间距作为射频标尺,按比例测出载波的半峰全线宽;6)利用腔精细度与腔透射光谱的谱线宽度及反射率的关系公式,计算出反射镜的反射率。
权利要求
1.一种利用射频标尺法测量高反射率的方法,其特征在于其实施步骤如下 1)将待测反射率的反射镜制作成光电谐振腔; 2)搭建光路; 3)对入射激光进行光电相位调制,产生正负一级边带; 4)通过锯齿波扫描光学谐振腔,得到光谱; 5)将载波和一级边带之间的频率间距作为射频标尺,按比例测出载波的半峰全线宽; 6)利用腔精细度与腔透射光谱的谱线宽度及反射率的关系公式,计算出反射镜的反射率。
2.根据权利要求I所述的一种利用射频标尺法测量高反射率的方法的光路,其特征在于所述的光路是由信号发生器、声光调制器、电光相位调制器、锯齿波扫描谐振腔、光电探测器、示波器组成。
全文摘要
本发明公开了一种利用射频标尺法测量高反射率的方法,其实施步骤为将待测反射率的反射镜制作成光电谐振腔;搭建光路;对入射激光进行光电相位调制,产生正负一级边带;通过锯齿波扫描光学谐振腔,得到光谱;将载波和一级边带之间的频率间距作为射频标尺,按比例测出载波的半峰全线宽;利用腔精细度与腔透射光谱的谱线宽度及反射率的关系公式,计算出反射镜的反射率;上述技术方案的测量方法,可以测定高反射率(R=99.6%),方法简单。
文档编号G01M11/02GK102788680SQ20111013129
公开日2012年11月21日 申请日期2011年5月20日 优先权日2011年5月20日
发明者陈玉华 申请人:上海市宝山区青少年科学技术指导站
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