非破坏检查装置及非破坏检查装置用的亮度数据的补正方法
【专利摘要】本发明提供一种非破坏检查装置。非破坏检查装置(1)具备X射线照射器(20)、低能检测器(32)、高能检测器(42)、低能透过率计算部(72)、高能透过率计算部(74)、检测部(76)及补正部(78)。计算部(72)计算表示透过X射线的低能范围的透过率的值。计算部(74)计算表示透过X射线的高能范围的透过率的值。检测部(76)基于由两计算部(72、72)算出的透过率之比，检测X射线照射器(20)的错位内容。补正部(78)在由检测部(76)检测出X射线照射器(20)的错位内容的情况下，根据错位内容，对由检测器(32、42)检测出的X射线的亮度数据进行补正。
【专利说明】非破坏检查装置及非破坏检查装置用的亮度数据的补正方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及非破坏检查装置及非破坏检查装置用的亮度数据的补正方法。
【背景技术】
[0002]大众公知的是对食品及工业制品等的被检查物照射X射线等的放射线，在低能范围和高能范围的不同的范围内检测透过了被检查物的放射线，进行非破坏检查的双能式(Dual energy type)的检查装置。根据这种非破坏检查装置，可以同时取得低能范围的放射线图像和高能范围的放射线图像。
[0003]而且，通过在这些不同的能量范围内取得的放射线图像间进行规定的运算(除法或差分、加法、乘法等)，在例如由带式输送机输送的被检查物的非破坏检查中，能够以高精度进行复杂地混杂在一起的成分分布的测量或不易带反差的异物的检测等。这种检查装置为了在不同的能量范围取得放射线图像，分别具备与各能量范围对应的检测器，例如采用将这些检测器纵长地配置的结构(参照专利文献I的第九图)。
[0004]专利文献1:(日本)特开平04 — 002907号公报
[0005]然而，在这样将检测器在两段重叠起来的结构的检查装置中，放射线源为点光源，并且放射线的照射方向的上游侧的检测器所包含的拍摄元件和下游侧的检测器所包含的拍摄元件之间存在距离，所以在用各个拍摄元件取得的图像间往往会产生偏离(参照图3(b))。因此，使用校准部件等事前取得上游侧的检测器的各像素和下游侧的检测器的各像素的对应关系，在进行非破坏检查时，可取得上游侧的检测器的各像素和下游侧的检测器的各像素对应的放射线图像。
[0006]但是，当连续进行非破坏检查时，因放射线源及非破坏检查装置的温度产生的位移或变形(热膨胀)，放射线源的光源位置移动(焦点移动)，有时无法取得所对应的上游侧的检测器的各像素和下游侧的检测器的各像素的对应关系。若这样没有取得各检测器的像素间的对应关系，在放射线图像间进行规定的运算时，因运算结果中产生的疑似边缘的发生等，不能取得适当的放射线运算图像，有可能降低非破坏检查的测量精度。在以一列式连续进行非破坏检查的情况下，每次检查时难以进行校准，在像素间的对应关系没有被取得的情况下，需要早期检测该情况，以像素间的对应关系被选定的方式对放射线图像进行补正。
【发明内容】
[0007]本发明的一个方式的非破坏检查装置是具备输送部、放射线源、第一及第二放射线检测器、第一及第二计算部、检测部、补正部的装置。输送部沿规定的方向输送被检查物。放射线源以与输送部的输送方向交叉的方式朝向输送部照射放射线。第一放射线检测器在第一能量范围检测从放射线源照射的放射线。第二放射线检测器在比第一能量范围高的第二能量范围检测从放射线源照射的放射线。[0008]第一计算部根据由第一放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第一能量范围的第一透过率的值。第二计算部根据由第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第二能量范围的第二透过率的值。检测部基于表示由第一计算部算出的第一透过率的值和表示由第二计算部算出的第二透过率的值的比或差，检测放射线源的错位内容。补正部在由检测部检测出放射线源的错位内容的情况下，根据该错位内容对由第一及第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据的至少一方进行补正。
[0009]本发明的一方式的补正方法是在具备沿规定的方向输送被检查物的输送部、以与输送部的输送方向交叉的方式朝向输送部照射放射线的放射线源、在第一能量范围内检测从放射线源照射的放射线的第一放射线检测器、在比第一能量范围高的第二能量范围内检测从放射线源照射出的放射线的第二放射线检测器的非破坏检查装置中，对由第一及第二放射线检测器检测出的亮度数据的至少一方进行补正的补正方法。
[0010]该补正方法包括第一计算步骤、第二计算步骤、检测步骤、补正步骤。在第一计算步骤中，根据由第一放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第一能量范围的第一透过率的值。在第二计算步骤中，根据由第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示从放射线源照射且透过被检查物的放射线的第二能量范围的第二透过率的值。在检测步骤中，基于表示在第一计算步骤中算出的第一透过率的值和表示在第二计算步骤中算出的第二透过率的值的比或差，检测放射线源的错位内容。在补正步骤中，在检测步骤中检测出放射线源的错位内容的情况下，根据该错位内容对由第一及第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据的至少一方进行补正。
[0011]根据上述方式，根据亮度数据算出表示透过被检查物的放射线的第一及第二能量范围的各透过率的值，基于表示这些透过率的值的比或差，检测放射线源的错位内容。例如X射线等放射线具有能量越高越易透过物体这种性质，通过参照表示在以像素等相互对应的方式调整好的两检测器的物体的透过率的值的比或差，可以检测检测器的像素间的对应关系破坏的状态，并且可以检测该对应关系如何破坏的状况，由此，可以了解放射线源的错位内容。其结果是，根据上述方式，可以早期检测放射线检测器的像素间的对应未被取得的情况，能够以像素间的对应重新被确定的方式对来自检测器的亮度数据进行补正。
[0012]另外，根据上述方式，利用亮度数据计算表示放射线的第一及第二能量范围的各透过率的值。该情况下，由于利用通常由非破坏检查装置的放射线检测器取得的亮度数据，所以能够容易地求得透过率，不需要另外设置新的检测器。但是，也可以另外设置新的检测器。由第二放射线检测器检测出的第二能量范围其一部分也可以与第一能量范围重叠，只要作为范围整体比第一能量范围高即可。
[0013]在本发明的另一方式的非破坏检查装置及补正方法中，检测部储存有基于被检查物的放射线透过率所设定的上限及下限两个阈值，通过将表示第一及第二透过率的值的比或差与上限及下限这两个阈值进行比较，也可以检测放射线源的错位内容。该情况下，为了检测放射线源的错位内容，基于与各被检查物不同的放射线透过率设定阈值，可以更可靠地了解放射线源的错位内容。
[0014]在又一方式的非破坏检查装置及补正方法中，第一及第二放射线检测器分别具有向与输送方向及照射方向交叉的检测方向延伸的检测区域。检测部将与检测区域对应且由表示第一及第二透过率的值的比或差的集合构成的透过率图形与上限及下限的两阈值进行比较，也可以检测放射线源的错位内容。该情况下，通过透过率图形和阈值的比较处理，可以检测放射线源的错位内容，因此可简易地进行检测处理。
[0015]在又一非破坏检查装置及补正方法中，检测部在透过率图形中与被检查物的一端对应的部位比上限的阈值高，且在透过率图形中与被检查物的另一端对应的部位比下限的阈值小的情况下，也可以判定出放射线源在检测方向上偏离。而且，补正部在通过检测部判定为放射线源在检测方向上偏离的情况下，通过进行使用于使来自第一及第二放射线检测器的亮度数据相互对应的基准像素中至少一方的基准像素向其它像素移动而设定新的基准像素的再设定处理，也可以对来自第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正。
[0016]另外，补正部在通过检测部判定为放射线源在检测方向上偏离的情况下，通过进行再调整构成第一及第二放射线检测器的各像素的放大率的再调整处理，也可以对来自第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正。该情况下，可以可靠地检测放射线源的检测方向的偏离，并且能够根据该偏离进行亮度数据的补正。
[0017]在又一非破坏检查装置及补正方法中，检测部在透过率图形中与被检查物的两端对应的部位均比下限的阈值小的情况、或在透过率图形中与被检查物的两端对应的部位均比上限的阈值高的情况下，也可以判定为放射线源在照射方向上偏离。而且，补正部在通过检测部判定为放射线源在照射方向上偏离的情况下，通过进行再调整构成第一及第二放射线检测器的各像素的放大率的再调整处理，也可以对来自第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正。
[0018]另外，补正部在通过检测部判定为放射线源在照射方向上偏离的情况下，通过进行使用于使来自第一及第二放射线检测器的亮度数据相互对应的基准像素中至少一方的基准像素向其它像素移动而设定新的基准像素的再设定处理，也可以对来自第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正。该情况下，可以可靠地检测放射线源的照射方向上的偏离，并且能够根据该偏离进行亮度数据的补正。
[0019]在又一非破坏检查装置中，第二放射线检测器在放射线的照射方向，也可以比第一放射线检测器更位于下游侧。该情况下，能够早期检测二段重叠起来的放射线检测器的像素间的对应未被取得的状况，以像素间的对应被重新取得的方式对来自检测器的亮度数据进行补正。
[0020]发明效果
[0021]根据本发明的一个方式，能够早期检测出放射线检测器的像素间的对应关系未被取得的情况，以像素间的对应关系被取得的方式对亮度数据进行补正。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1是本实施方式的非破坏检查装置的立体图；
[0023]图2是图1所示的非破坏检查装置的概略结构图；
[0024]图3是表示各检测器的像素间的对应关系的图，(a)是侧视图，(b)是主视图；
[0025]图4(a)是用于说明对应的像素间的放大率的图，(b)是表示补正数据的制作方法的例子的图；
[0026]图5是表示透过被检查物的X射线的亮度数据的一个例子的图；
[0027]图6是表示明暗补正的概要的图，(a)表示补正前，(b)表示补正后；
[0028]图7是表示暗电流补正的概要的图，(a)表示补正前，(b)表示补正后；
[0029]图8是表示各透过率图形的图；
[0030]图9是表示在图1所示的非破坏检查装置中X射线源向检测方向X这一方偏离的情况的图，(a)是表示偏离前的图，(b)是表示偏离后的图；
[0031]图10是将图9(b)的一部分放大的图；
[0032]图11是表示在图1所示的非破坏检查装置中X射线源向照射方向Z的下方偏离的情况的图，(a)是表示偏离前的图，(b)是表示偏离后的图；
[0033]图12是将图11的(b)的一部分放大的图；
[0034]图13是表示在图1所示的非破坏检查装置中X射线源向照射方向Z的上方偏离的情况的图，(a)是表示偏离前的图，(b)是表示偏离后的图；
[0035]图14是将图13的(b)的一部分放大的图；
[0036]图15是表示图1所示的非破坏检查装置的补正方法的流程图。
[0037]符号说明
[0038]1:非破坏检查装置、10:带式输送机、20:X射线照射器、32:低能检测器、42:高能检测器、50:控制部、70:解析装置、72:低能透过率计算部、74:高能透过率计算部、76:检测部、78:补正部。
【具体实施方式】
[0039]下面，参照附图面，对本发明的实施方式详细地进行说明。另外，在说明中作为相同要素或具有相同功能的要素，使用相同符号，省略重复的说明。
[0040]如图1及图2所示，非破坏检查装置I是将来自X射线源的X射线朝向照射方向Z照在被检查物S上，在多个能量范围内检测所照射的X射线中透过被检查物S的透过X射线的装置。非破坏检查装置I使用透过X射线图像进行包含于被检查物S的异物检查及行李检查等。非破坏检查装置I具备带式输送机10、x射线照射器20、低能图像取得部30、高能图像取得部40、控制部50、图像处理装置60及解析装置70。由低能图像取得部30、高能图像取得部40及控制部50构成双重图像取得装置80。
[0041]带式输送机10如图1所示，具有载置有被检查物S的带部12。带式输送机10通过使带部12向输送方向Y移动，以规定的输送速度向输送方向Y输送被检查物S。被检查物S的输送速度例如为48m/分。带式输送机10根据需要可以将速度变更为例如24m/分、或96m/分等的输送速度。由带式输送机10输送的被检查物S可以广泛例示例如:肉食或蒸煮袋等食品、轮胎等橡胶制品、用于行李检查的行李、树脂制品、电线等金属制品、矿物等资源材料、用于区分或资源回收的废弃物及电子元件等，没有特别地限定。
[0042]X射线照射器20是朝向被检查物S将X射线沿照射方向Z进行照射的装置，作为X射线源发挥作用。X射线照射器20是点光源，进行在规定的角度范围使X射线沿与照射方向Z及与输送方向Y正交的检测方向X扩散的照射。X射线照射器20以X射线的照射方向Z朝向带部12并且扩散的X射线达到被检查物S的宽度方向(检测方向X)整体的方式，离开带部12规定的距离而配置于带部12的上方。X射线照射器20构成为，在被检查物S的长度方向(输送方向Y)，长度方向的规定的分割范围Sn成为照射范围(参照图3(a))，被检查物S由带式输送机10沿输送方向Y输送，由此，对被检查物S的长度方向整体照射X射线。
[0043]低能图像取得部30具有低能检测器32和低能图像补正部34。
[0044]低能检测器32在X射线的入射方向Z上位于上游侧，检测由X射线照射器20照射的X射线中透过了被检查物S的规定的分割范围Sn的低能范围的X射线(参照图3(a))，生成低能图像数据。低能检测器32也可以同样地检测自X射线照射器20照射的X射线中以没有被检查物S的状态透过了带式输送机10的低能范围的X射线。
[0045]低能检测器32包括低能用的闪烁体层和低能用的线传感器。低能用的闪烁体层沿着检测方向X延伸，将低能范围的X射线的像转换为光像。低能用的线传感器具有沿着检测方向X排列的多个像素32n(n = I~N:Ν为整数)(参照图3 (b))，取得被闪烁体层转换的光像形成的低能图像。由线传感器取得的低能图像由各线传感器的像素32?取得的亮度数据的集合体构成。
[0046]低能图像补正部34的构成为，对由低能检测器32在每个像素中生成的低能范围的亮度数据分别进行放大及补正，以取得放大补正的低能图像。低能图像补正部34具有放大低能范围的亮度数据的放大器34a、将由放大器34放大的低能范围的亮度数据进行A/D转换的A/D转换部34b、对由A/D转换部34b转换的亮度数据进行规定的补正处理的补正电路34c、及将由补正电 路34c补正的亮度数据作为低能图像数据向外部输出的输出接口34d。
[0047]高能图像取得部40具有高能检测器42和高能图像补正部44。
[0048]高能检测器42在X射线的入射方向Z比低能检测器32更位于下游侧，检测由X射线照射器20照射的X射线中被检查物S的规定的分割范围Sn及透过了低能检测器32的高能范围的X射线，生成高能图像数据。高能检测器42也可以同样地检测由X射线照射器20照射的X射线中在没有被检查物S的状态下透过带式输送机10的高能范围的X射线。由低能检测器32检测的低能范围和由高能检测器42检测的高能范围没有明确地区別，也可以使能量范围在一定程度上重叠。
[0049]高能检测器42的构成包括高能用的闪烁体层和高能用的线传感器。高能用的闪烁体层沿着检测方向X延伸，将高能范围的X射线的像转换为光像。高能用的线传感器具有沿着检测方向X排列的多个像素42n(n = I~N:Ν为整数)(参照图3 (b))，取得被闪烁体层转换的光像的高能图像。由线传感器取得的高能图像由线传感器对每个像素42?取得的亮度数据的集合体构成。低能检测器32的线传感器和高能检测器42的线传感器也可由相同的传感器构成，通过使闪烁体层不相同，而将两者分别作为低能检测器32和高能检测器42。
[0050]高能图像补正部44的构成为，将由高能检测器42对每个像素生成的高能范围的亮度数据分别进行放大及补正，取得被放大补正的高能图像。高能图像补正部44具有将高能范围的亮度数据放大的放大器44a、将由放大器44a放大的高能范围的亮度数据进行A/D转换的A/D转换部44b、对被A/D转换部44b转换的亮度数据进行规定的补正处理的补正电路44c、及将由补正电路44c补正的亮度数据作为高能图像数据向外部输出的输出接口44d。
[0051]控制部50以被检查物S的输送方向Y的分割范围Sn在两检测器32、42的检测中相互对应的方式，控制用低能检测器32检测的透过X射线的检测时刻和用高能检测器42检测的透过X射线的检测时刻。通过该控制部50的检测时刻的控制，可以减少对低能图像数据和高能图像数据进行减法(subtraction)处理时生成的图像偏离。
[0052]另外，X射线照射器20为点光源，且X射线放射状扩散，因此出现低能检测器32的各像素32n和高能检测器42的各像素42?在Z方向的上下不完全对应的部位。即，随着朝向检测方向X的一端，低能检测器32的各像素32n和高能检测器42的各像素42n的对应关系在检测方向X偏离。因此，控制部50向补正电路34c、44c等输出控制信号，控制低能检测器32的每个像素的各亮度数据和高能检测器42的每个像素的各亮度数据的对应关系，以使被检查物S的检测方向X的低能检测器32的像素32n和高能检测器42的像素42n分别对应。
[0053]具 体地说，例如，如图3所示，由带式输送机10输送作为被检查物S的校准部件，从X射线照射器20向该被检查物S照射X射线。然后，如图3 (b)所示，控制部50将与被检查物S的一端(图示左端)对应的低能检测器32的像素32.(从最左端起第100个像素)设定为第一基准像素，并且将与被检查物S的一端对应的高能检测器42的像素4298 (从最左端起第98个像素)设定为第二基准像素。第一及第二基准像素是相互对应的像素，在检测方向X偏离几个像素的量。
[0054]另一方面，在被检查物S的另一端(图示右侧)，像素的对应关系也同样偏离，例如，与被检查物S的另一端对应的低能检测器32的像素为3211(|(|(从最左端起第1100个像素)，与此相对，与被检查物S的另一端对应的高能检测器42的像素为421(|(13 (从最左端起第1003个像素)。通过对应像素像这样沿检测方向X偏离，与被检查物S对应的像素区域，在低能检测器32中为像素32.~3211(|。的1000像素量，其与在高能检测器42中像素4298~421103的1005像素量不同。因此，控制部50分别设定这样相互不同的低能检测器32的对应像素区域(像素32.~3211(|。的1000像素)和高能检测器42的对应像素区域(像素4298 ~421103 的 1005 像素)。
[0055]设定了像素数互不相同的对应像素区域的控制部50，为了使来自低能检测器32的亮度数据和来自高能检测器42的亮度数据相对应，例如，如图4(a)所示，将来自低能检测器32的亮度数据的数据数以100.5%进行增量补正的处理。相反地，控制部50也可以将来自高能检测器42的亮度数据的数据数以99.5%进行减量补正的处理。作为这样对数据数进行补正(增减)的处理的一个例子，具有图4(b)所示的称为所谓线性插入的方法，也可以使用该方法变更数据数。在图4(b)所示的例子中，用线将三个实测数据A连结，并将实测数据连成的假想线进行等分分割，以使其成为需要插入的数据数，取得例如四个补正数据V。
[0056]通过使用这样的方法，控制部50对从低能检测器32取得的1000个亮度数据进行补正，取得1005个亮度数据。控制部50可以进行使这样进行补正而得到的来自低能检测器32的亮度数据和来自高能检测器42的亮度数据一一对应的控制。将这种补正处理称为放大率的补正处理，通过对进行了这种处理的两个亮度数据进行规定的运算处理，例如，如图5所示，能够取得与被检查物S对应的亮度数据。在图5的亮度数据中，被检查物S的两端被表示为边缘L、边缘R。
[0057]图像处理装置60是进行求得由低能图像取得部30检测及生成的低能图像数据和由高能图像取得部40检测及生成的高能图像数据的差分数据的运算处理(减法处理)，生成作为合成图像的减法像的装置。被输入图像处理装置60的两能量图像数据，通过控制部50以输送方向Y的图像数据相互对应的方式控制检测时刻，另外，还控制各像素间的对应关系。
[0058]图像处理装置60向显示器等输出显示通过这种运算处理而生成的减法像。通过该输出显示，能够不破坏被检查物S而用目视确认被检查物S中包含的异物等。也可以不输出显示减法像，仅进行数据的输出，通过图像数据上的检测处理，从图像数据直接检测被检查物S中包含的异物等。
[0059]解析装置70是根据由低能检测器32和高能检测器42检测的被检查物S的对应部位Sn的X射线透过率的比的集合即透过率图形，检测X射线照射器20的错位内容，进行与所检测的错位内容对应的补正处理的装置。在非破坏检查装置I中，若持续进行异物检查等，因热膨胀等，X射线照射器20的焦点错位，通过控制部50事前调整的各像素32?和各像素42?之间的对应关系(例如，上述的放大率补正等)偏离，有时在与被检查物S的两端对应的亮度数据即边缘L/R(参照图5)，产生疑似边缘。
[0060]在本实施方式中，通过利用解析装置70检测X射线照射器20的错位内容并进行亮度数据的补正处理，抑制疑似边缘的产生。这种解析装置70如图2所示，具有低能透过率计算部72、高能透过率计算部74、检测部76及补正部78。
[0061]低能透过率计算部72根据由低能检测器32检测出的X射线的亮度数据，针对每个对应区域Sn计算低能范围的被检查物S的X射线透过率。低能透过率计算部72包括补正值计算部72a、存储部72b、亮度补正部72c及透过率计算部72d。
[0062]补正值计算部72a从低能检测器32首先取得没有被检查物S的状态(例如，仅设有带式输送机10的状态)下的低能范围的X射线的亮度数据。取得的低能范围的X射线的原始亮度数据RLn(n = I~N:N为整数)，是与分别与沿着低能检测器32的检测方向X配置的像素32n对应的数据，例如，如图6 (a)所示，是散乱的。
[0063]图6(a)表示具有128像素的线传感器在X方向连结10个而构成低能检测器32时的例子(即1280像素)。虽然是不存在被检查物S的状态，但是产生这种分散是因为存在沿着来自X射线照射器20的X射线的检测方向X的强度偏差或低能检测器32的检测灵敏度的偏差等。
[0064]因此，补正值计算部72a通过进行明暗补正等，如图6(b)所示，对每个像素32n的亮度偏差进行补正，将所有原始亮度数据RLn标准化为例如亮度值3200。若将该被标准化的亮度值设为DL、将补正系数设为FL，则它们的关系可以用下式(I)表示。
[0065]DL = FLXRIv..(I)
[0066]而且，补正值计算部72a由上述式(I)计算按亮度值DL进行标准化时的补正所使用的补正函数FL。补正函数FL是与来自所有像素32n的原始亮度数据RLn对应的函数，补正值计算部72a向存储部72b输出所算出的补正函数FL。另外，补正值计算部72a向存储部72b输出被标准化的亮度值DL作为基础亮度数据。亮度值DL可以使用原始亮度数据的平均值，也可以使用最小值或最大值，可以适当设定。作为取得X射线的原始亮度数据RLn的预处理，也可以进行如图7所示的暗电流补正，去除初期噪音(参照该图的(b))，该情况下，可以进行更高精度的测定。
[0067]存储部72b储存由补正值计算部72a输出的补正函数FL及被标准化的亮度值DL。存储部72b根据来自后述的亮度补正部72c或透过率计算部72d的调用，向亮度补正部72c或透过率计算部72d输出补正函数FL或被标准化的亮度值DL。
[0068]亮度补正部72c从低能检测器32对每个对应区域Sn取得在存在被检查物S的状态下的低能范围的X射线的原始亮度数据RLn' (n = I~N:N为整数)。分别与低能检测器32的像素32n相对应，对每个被检查物S的对应部位Sn依次取得X射线的原始亮度数据RLn,。
[0069]亮度补正部72c若对每个对应区域Sn取得低能范围的X射线的原始亮度数据RL/，为了进行和上述的明暗补正同样的补正，从存储部72b调出补正函数FL，如下述式
(2)所示，将各原始数据乘以补正函数FL，取得补正后的各亮度数据DLn' (n= I~N:N为整数)。
[0070]DLn' =FLXRLn'…(2)
[0071]亮度补正部72d当取得补正后的各亮度数据DLn'时，则向透过率计算部72d输出取得的亮度数据DLn'。
[0072]透过率计算部72d，若取得补正后的亮度数据DLn'，则从存储部72b取得被标准化的亮度值DL，算出低能范围的透过率PL = DL/ /DL0透过率计算部72d将算出的透过率PL输出至检测部76。
[0073]高能透过率计算部74根据由高能检测器42检测出的X射线的亮度数据，对每个对应区域Sn计算高能范围的被检查物S的X射线透过率。由高能透过率计算部74算出的各亮度数据是以与由低能透过率计算部72算出的各亮度数据在被检查物S的对应区域Sn达到相同的方式调整的数据，且相互对应。高能透过率计算部74的构成包括补正值计算部74a、存储部74b、亮度补正部74c及透过率计算部74d。
[0074]补正值计算部74a从高能检测器42取得在不存在被检查物S的状态(例如仅设置有带式输送机10的状态)下的高能范围的X射线的亮度数据。取得的高能范围的X射线的原始亮度数据RHnOi = I~N:N为整数)，是分别与沿着高能检测器42的检测方向X配置的像素42n对应的数据，与来自低能检测器32的数据一样，是散乱的。
[0075]因此，补正值计算部74a与补正值计算部72a—样，通过进行明暗补正等，对每个像素42n的亮度偏差进行补正并将所有原始亮度数据RHn标准化为例如亮度值3200。若将该被标准化的亮度值设为DH、将补正系数设为冊，则它们的关系可以用下式(3)表示。
[0076]DH = FHXRH1/..(3)
[0077]而且，补正值计算部74a根据上述式(3)计算按亮度值DH进行标准化时的补正所用的补正函数FH。补正函数FH是与来自所有像素42n的原始亮度数据RHn对应的函数，补正值计算部74a算出的补正函数输出至存储部74b。另外，补正值计算部74a将被标准化了的亮度值DH作为基础亮度数据输出至存储部74b。
[0078] 存储部74b收存通过补正值计算部74a输出的补正函数!7H及被标准化的亮度值DH0存储部74b根据来自后述的亮度补正部74c或透过率计算部74d的调用，向亮度补正部74c或透过率计算部74d输出补正函数或被标准化的亮度值DH。[0079]亮度补正部74c从高能检测器42针对每个对应区域Sn连续取得被检查物S存在的状态下的高能范围的X射线的原始亮度数据RH/ (η = I?N:N为整数)。X射线的原始亮度数据RH/分别与高能检测器42的像素42n对应，并按顺序针对被检查物S的每个对应位置Sn而取得。
[0080]亮度补正部74c若针对每个对应区域Sn取得高能范围的X射线的原始亮度数据RH1/，则进行与上述的明暗补正一样的补正，所以从存储部74b调用补正函数ra，如下述式
(4)所示，在各原始数据上乘以补正函数FH，取得修后的亮度数据DHn' (η = I?N:N为整数)。
[0081]DHn' =FHXRHn'...(4)
[0082]亮度补正部74c若取得补正后的各亮度数据DHn'，则向透过率计算部74d输出取得的亮度数据DHn'。
[0083]透过率计算部74d若取得补正后的亮度数据DHn'，则从存储部74b取得被标准化的亮度值DH，计算高能范围的透过率PH = DH/ /DH0透过率计算部74d将算出的透过率PH输出至检测部76。
[0084]检测部76计算由低能透过率计算部72算出的透过率PL ( = DL/ /DL)和由高能透过率计算部74算出的透过率PH( = DHn; /DH)之比，检测X射线照射器20的错位内容。该比用下式(5)表示。透过率之比=PH/PL...(5)
[0085]检测部76判定作为基于上述式(5)的透过率之比PH/PL的每个区域Sn的数据列的透过率图形是否与图8(a)?(d)所示的任一个图形符合。即，检测部76判定是否存在透过率之比PH/PL比阈值A(下限的阈值)小的部位或比阈值B (上限的阈值)大的部位。
[0086]关于图8所示的各图形和X射线照射器20的错位内容的详细的关系，将在后文进行叙述，图8 (a)所示的图形表示X射线照射器20向检测方向X—方(左侧)偏离的情况，图8(b)所示的图形表示X射线照射器20向检测方向X的另一方(右侧)偏离的情况，图8(c)所示的图形表示X射线照射器20向照射方向Z的下方偏离的情况，图8(d)所示的图形表示X射线照射器20向照射方向Z的上方偏离的情况。
[0087]在本实施方式中，设定“I”作为阈值A，对其理由简单地进行说明。X射线因能量越高越易透过物体，因此假如在低能范围和高能范围检测到在被检查物S上经过相同路径(即相同的材料部分)的X射线，则高能范围的透过率必然变高。例如，若分别在低能范围和高能范围检测出穿透电线的X射线的透过率，则低能范围的透过率为0.181，与此相对，高能范围的透过率为0.327，其透过率之比PH/PL为1.807，大于I。
[0088]S卩，若透过率之比PH/PL大于I，则在低能范围和高能范围检测出在被检查物S上经过相同路径(相同材料部分)的X射线的可能性增大，可以判定为维持了以低能检测器32的像素32n和高能检测器42的像素42n对应的方式事前调整好的对应关系。另一方面，高能范围的透过性比低能范围的透过性低的情况，可以判定为比较了在被检查物S上没有经过相同的路径(通过不同的材料部分)X射线的可能性高，可以判定为没有维持以低能检测器32的像素32n和高能检测器42的像素42n对应的方式调整好的对应关系。
[0089]另外，在本实施方式中，作为校准部件使用铝制的试样。基于相对于铝的X射线的透过率，则向铝制的试样上照射X射线时的透过率之比PH/PL，收敛在例如1.1?2的范围内。因此，在本实施方式中，除了下限的阈值A以外，设定“2”作为上限的阈值B。上限的阈值B对每个照射X射线的部件都变更，以成为适合各个部件的范围的方式调整。上限的阈值B优选为因照射X射线的被检查物S的材料的X射线透过率而不同的值，基于被检查物S的X射线透过率适当设定。
[0090]在此，对图8(a)?(d)所示的各图形和X射线照射器20的错位内容的关系，参照图9?图14更详细地进行说明。
[0091]首先，参照图9及图10对X射线照射器20向检测方向X的一方(图示左侧)偏离的情况进行说明。若X射线照射器20从图9 (a)所示的位置向图9(b)所示的位置错位，则在使X射线照射器20进行照射时检测被检查物S的两端附近的检测器32、42的像素也分别偏离。具体地说，在X射线照射器20偏离前，与被检查物S的左端对应的部位，检测器32的像素32a和检测器42的像素42a对应，在与被检查物S的右端对应的部位，检测器32的像素32s和检测器42的像素42s对应。
[0092]然而，因X射线照射器20向检测方向X的左侧偏离，在与被检查物S的左端对应的部位，检测器32的像素32b和检测器42的像素42c对应，在与被检查物S的右端对应的部位，检测器32的像素32t和检测器42的像素42u对应。然而，在各检测器32、42中，如上所述，通过控制部50进行放大率的补正等，而取得各像素的对应，分配像素42b作为与检测器32的像素32b对应的检测器42的像素，另外，作为与检测器32的像素32t对应的检测器42的像素分配给像素42t。
[0093]该检测器32的像素32b检测被检查物S，但与像素32b对应的检测器42的像素42b检测被检查物S不存在的状态(空气)。其结果为，例如，来自检测被检查物S的像素32b的透过率PL为33%，相反，来自没有检测被检查物S的像素42b的透过率PH大致为100%，这些透过率之比PH/PL为3.03。即，与被检查物S的一端对应的部位比上限的阈值B局。
[0094]另外，检测器32的像素32t检测被检查物S不存在的状态(空气)，但与像素32t对应的检测器42的像素42t检测被检查物S。其结果为，例如，来自未检测被检查物S的像素32t的透过率PL大致为100%，与之相对，来自检测被检查物S的像素42t的透过率PH为33%，这些透过率之比PH/PL为0.33。即，与被检查物S的另一端对应的部位比下限的阈值A小。
[0095]这样，若X射线照射器20向检测方向X的左侧偏离，则显现在如图8 (a)所示的、与被检查物S的左端对应的部位比上限的阈值B高，且在与被检查物S的右端对应的部位比下限的阈值A小的这种透过率图形。另外，相反地，若X射线照射器20向检测方向X的右侧偏离，则成为如图8 (b)所示的与图8 (a)线对称的透过率图形，显现在与被检查物S的右端对应的部位比上限的阈值B高，且在与被检查物S的左端对应的部位比下限的阈值A小的这种透过率图形。
[0096]接着，参照图11及图12对X射线照射器20向照射方向Z的下方偏离的情况进行说明。若X射线照射器20从图11(a)所示的位置向图11(b)所示的位置错位，则在使X射线照射器20照射时检测被检查物S的两端附近的检测器32、42的像素也分别偏离。具体地说，X射线照射器20偏离之前，在与被检查物S的左端对应的部位，检测器32的像素32a和检测器42的像素42a对应，在与被检查物S的右端对应的部位，检测器32的像素32s和检测器42的像素42s对应。[0097]然而，X射线照射器20向照射方向Z的下方偏离，由此，在与被检查物S的左端对应的部位，检测器32的像素32b和检测器42的像素42c对应，在与被检查物S的右端对应的部位，检测器32的像素32t和检测器42的像素42u对应。然而，在各检测器32、42中，如上所述，通过控制部50进行放大率的补正等取得各像素的对应，作为与检测器32的像素32b对应的检测器42的像素分配给像素42b，另外，作为与检测器32的像素32t对应的检测器42的像素分配给像素42t。
[0098]该检测器32的像素32b检测被检查物S不存在的状态(空气)，但与像素32b对应的检测器42的像素42b检测被检查物S。其结果为，例如，来自检测被检查物S的像素32b的透过率PL大致为100%，与此相对，来自检测被检查物S的像素42b的透过率PH为33%，这些透过率之比PH/PL为0.33。即，与被检查物S的一端对应的部位比下限的阈值A小。
[0099]另外，检测器32的像素32t检测被检查物S不存在的状态(空气)，但与像素32t对应的检测器42的像素42t检测被检查物S。其结果为，例如，来自未检测被检查物S的像素32t的透过率PL大致为100%，与此相对，来自检测被检查物S的像素42t的透过率PH为33%，这些透过率之比PH/PL为0.33。即，与被检查物S的另一端对应的部位也比下限的阈值A小。这样，若X射线照射器20向照射方向Z的下方偏离，则显现在如图8(c)所示的、与被检查物S的左右两端对应的部位比下限的阈值A小的这种透过率图形。
[0100]接着，参照图13及图14对X射线照射器20向照射方向Z的上方偏离的情况进行说明。若X射线照射器20从图13(a)所示的位置向图13(b)所示的位置错位，在使X射线照射器20照射时检测被检查物S的两端附近的检测器32、42的像素也分别偏离。具体地说，在X射线照射器20偏离之前，在与被检查物 S的左端对应的部位，检测器32的像素32a和检测器42的像素42a对应，在与被检查物S的右端对应的部位，检测器32的像素32s和检测器42的像素42s对应。
[0101]然而，由于X射线照射器20向照射方向Z的上方偏离，由此在与被检查物S的左端对应的部位，检测器32的像素32b和检测器42的像素42c对应，在与被检查物S的右端对应的部位，检测器32的像素32t和检测器42的像素42u对应。然而，在各检测器32、42中，如上所述，通过控制部50进行了放大率的补正等，各像素的对应被选定，作为与检测器32的像素32b对应的检测器42的像素分配给像素42b，另外，作为与检测器32的像素32t对应的检测器42的像素分配给像素42t。
[0102]该检测器32的像素32b检测被检查物S，但与像素32b对应的检测器42的像素42b检测被检查物S不存在的状态(空气)。其结果为，例如，来自检测被检查物S的像素32b的透过率PL为33%，与此相对，来自未检测被检查物S的像素42b的透过率PH大致为100%，这些透过率之比PH/PL为3.03。即，在与被检查物S的一端对应的部位比上限的阈值B大。
[0103]另外，检测器32的像素32t检测被检查物S，但与像素32t对应的检测器42的像素42t检测被检查物S不存在的状态(空气)。其结果为，例如，来自检测被检查物S的像素32t的透过率PL为33%，与此相对，来自未检测被检查物S的像素42t的透过率PH大致为100%，这些透过率之比？!1^^为3.03。即，与被检查物S的另一端对应的部位也比上限的阈值B大。这样，若X射线照射器20向照射方向Z的上方偏离，则显现在如图8(d)所示的、与被检查物S的左右两端对应的部位比上限的阈值B大的这种透过率图形。
[0104]而且，检测部76生成由取得的透过率之比PH/PL的集合构成的透过率图形与图8的任一图形相对应或与任一图形都不相对应的收敛于阈值A、B之间的这种检测结果，将该结果输出至补正部78。
[0105]若补正部78从检测部76接收关于X射线照射器20的错位内容的检测结果，则根据该错位内容而生成用于补正由低能检测器32及高能检测器42检测出的X射线的亮度数据的至少一方的补正指示信号。
[0106]由补正部78生成的信号，例如在通过检测部76判定为X射线照射器20向检测方向X偏离的情况下，具有将用于使来自检测器32、42的亮度数据相互对应的基准像素32a、42a的一方的基准像素42a，向X射线照射器20在检测方向X偏离的一侧的相反侧一个像素一个像素地移动的指示信号。作为补正信号，也可以作为将另一基准像素32a向X射线照射器20在检测方向X偏离的一侧的相同侧一个像素一个像素地移动的补正信号，也可以采用以0.1个像素0.1个像素地移动的这种以子像素单位进行移动的方式。
[0107]另外，也可以使该补正信号中包含随着这样重新设定基准像素，进行再次调整构成两检测器32、42的各像素的放大率的再调整处理的补正指示。
[0108]另外，作为由补正部78生成的补正指示信号，例如在通过检测部76判定为X射线照射器20向照射方向Z偏离的情况下，具有进行再调整构成检测器32、42的各像素的放大率的再调整处理的信号。在该信号中，在X射线照射器20向照射方向Z的下方偏离的情况下，则提高低能检测器32的像素的放大率，相反，在向照射方向Z的上方偏离的情况下，则降低低能检测器32的像素的放大率。
[0109]另外，在这样对放大率进行再调整前，在X射线照射器20向照射方向Z的下方偏离的情况下，也可以设定将用于使来自检测部32、42的亮度数据相互对应的基准像素32a、42a的一方的基准像素42a，向外侧每次移动I像素或将另一基准像素32a向内侧每次移动I像素的补正信号。另一方面，在X射线照射器20向照射方向Z的上方偏离的情况下，设定将用于使来自检测部32、42的亮度数据相互对应的基准像素32a、42a的一方的基准像素42a，向内侧每移动I像素或将另一基准像素32a向外侧每次移动I像素的补正信号。
[0110]补正部78将这样的补正信号输出到控制部50，在控制部50及由控制部50控制的补正电路34c、44c等中，执行基准像素的再设定及放大率再调整的处理，补正来自检测器32、42的亮度数据。
[0111]然而，在上述实施方式中，以在低能透过率计算部72所使用的亮度值DL和在高能透过率计算部74所使用的亮度值DH为相同的值的方式进行补正处理。该情况下，由于所算出的各透过率的分母相同，因此不需要直接算出透过率，两透过率计算部72、74也可以采用不包括透过率计算部72d、74d的结构。在该结构中，从亮度补正部72c将亮度数据DL/原封不动输出到检测部76，从亮度补正部74c将亮度数据DHn'原封不动输出到检测部76。在此所说的补正后的亮度数据DLn'作为表示低能范围的透过率的值之一发挥作用，补正后的亮度数据DHn'作为表示高能范围的透过率的值之一发挥作用。
[0112]上述的情况中，在检测部76，若从亮度补正部72c取得补正后的亮度数据DLn'、从亮度补正部74c取得补正后的亮度数据DHn'，则根据这些亮度数据计算透过率之比=PH/PL。由于亮度值DL和DH为相同的值，因此透过率之比PH/PL用下式(7)表示。[0113]透过率之比=PH/PL= DHn' /DLn'…(7)
[0114]而且，检测部76进行与上述处理同样的检测处理，检测X射线照射器20的错位内容。
[0115]接着，参照图15说明在非破坏检查装置I中检测X射线照射器20的错位内容并补正亮度数据的补正方法。在下面的说明中，作为透过率PL利用补正后的亮度数据DLn'，作为透过率PH直接利用补正后的亮度数据DHn'。
[0116]首先，利用补正值计算部72a从低能检测器32取得被检查物S不存在的状态下的低能范围的X射线的亮度数据RLn。之后，利用补正值计算部72a根据这些亮度数据RLn进行明暗补正等，补正每个像素32n的亮度偏差，将所有原始亮度数据RLn标准化为例如亮度值3200。而且，通过补正值计算部72a由上述式(I)计算标准化为亮度值DL时的补正所用的补正函数FL (步骤SI)。
[0117]接着，通过亮度补正部72c从低能检测器32取得被检查物S存在的状态下的低能范围的X射线的原始亮度数据RL/。若通过亮度补正部72c取得低能范围的X射线的原始亮度数据RLn'，则从存储部72b调出补正函数FL，如上述式(2)所示，将各原始数据乘以补正函数FL，取得补正后的各亮度数据D Ln'(步骤S2)。若取得补正后的各亮度数据DLn'，则将取得的亮度数据DLn'向检测部76输出。
[0118]另外，通过 补正值计算部74a从高能检测器42取得被检查物S不存在的状态下的高能范围的X射线的亮度数据RHn。之后，利用补正值计算部74a对这些亮度数据RHn进行明暗补正等，补正每个像素42n的亮度偏差，将所有原始亮度数据RHn标准化为例如亮度值3200。而且，通过补正值计算部74a由上述式(3)计算标准化为亮度值DH时的补正所使用的补正函数FH (步骤S3)。
[0119]接着，通过亮度补正部74c从高能检测器42取得被检查物S存在的状态下的高能范围的X射线的原始亮度数据RH/。若通过亮度补正部74c取得高能范围的X射线的原始亮度数据RH1/，则从存储部74b调出补正函数冊，如上述式(4)所示,将各原始数据乘以补正函数FH，取得补正后的各亮度数据DHn (步骤S4)。若取得补正后的各亮度数据DHn'，则将取得的亮度数据DHn'向检测部76输出。
[0120]接着，通过检测部76根据由低能透过率计算部72算出的透过率PL ( = DLn')和由高能透过率计算部74算出的透过率PH( = DH1/ )，计算作为透过率之比PH/PL的每个区域Sn的数据列的透过率图形(步骤S5)。然后，通过检测部76判定出算出的透过率图形是否与图8(a)~(b)所示的任一图形符合或与任一图形都不符合的情况。
[0121]根据步骤S6的判定，在透过率图形与图8(a)~⑷的任一图形符合的情况下，前进到步骤S7，进行与如上述的各图形对应的亮度数据的补正。亮度数据的补正例如在通过检测部76判定出X射线照射器20偏离检测方向X的情况下，进行将用于使来自检测器32、42的亮度数据相互对应的基准像素32a、42a的一方的基准像素42a，向X射线照射器20在检测方向X偏离的一侧的相反侧每次移动I像素的补正。另外，伴随于这样地对基准像素进行再设定，也可以进行再调整构成两检测器32、42的各像素的放大率的再调整处理。
[0122]另一方面，根据步骤S6的判定，在透过率图形与图8(a)~(d)的任一图形都不符合的情况下，返回步骤S1、S3，反复同样的处理。
[0123]通过以上操作，在非破坏检查装置I中，能够早期检测到未取得二段重叠的检测器32、42的像素间的对应的情况，以像素32n、42n间的对应重新被取得的方式补正亮度数据。
[0124]这样，根据本实施方式的非破坏检查装置1，根据亮度数据计算表示透过了被检查物S的X射线的两个能量范围的各个透过率的值，基于表示这些透过率的值之比检测X射线照射器20的错位内容。X射线等放射线具有能量越高越易透过物体这种性质，通过参照表示以像素等相互对应的方式调整好的两检测器的物体的透过率的值之比，可以检测检测器32、42的像素间的对应关系破坏的状态，并且可以检测该对应关系是怎样破坏的，由此，可以了解X射线照射器20的错位内容。其结果为，根据非破坏检查装置1，可以早期检测出未取得二段重叠的检测器32、42的像素间的对应的情况，以像素间的对应重新被取得的方式补正来自检测器32、42的亮度数据。
[0125]并且，根据非破坏检查装置1，利用亮度数据计算表示X射线的两能量范围的各透过率的值。因此，可以容易地求得透过率，不需要另外设置新的检测器。
[0126]另外，在非破坏检查装置I及补正方法中，检测部76存储有基于被检查物S的X射线透过率而设定的上限及下限两个阈值A、B，通过将表示两透过率的值之比与这两个阈值A、B进行比较，检测X射线照射器20的错位内容。该情况下，为了检测X射线照射器20的错位内容，可以针对每个被检查物S基于不同的放射线透过率而设定阈值，更可靠地了解X射线照射器20的错位内容。
[0127]另外，在非破坏检查装置I及补正方法中，检测器32、42分别具有向与输送方向及照射方向交叉的检测方向延伸的检测区域，检测部76将与检测区域对应且由表示两透过率的值之比的集合构成的透过率图形与上限及下限的两阈值A、B进行比较，检测放射线源的错位内容。因此，通过透过率图形和阈值的比较处理可以检测放射线源的错位内容，能够简单地进行检测处理。
[0128]以上，对本发明的优选实施方式详细地进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式，可进行各种变形。例如，在上述实施方式中，在解析装置70中将透过率之比PH/PL与阈值A、B进行比较，判定X射线照射器20的错位，如下述式(8)所示，将低能范围的透过率PL和高能范围的透过率PH之差与阈值A、B进行比较，也可以检测X射线照射器20的错位内容。
[0129]阈值B > PH — PL > 阈值 A...(8)
[0130]该情况下，例如，检测由PH — PL的集合体构成的透过率图形小于阈值A即O的部位和PH - PL大于阈值B的部位，只要基于此，通过补正部78进行规定的补正处理即可。该情况下的阈值B也可以基于被检查物S的X射线透过率适当设定。另外，代替透过率之比PH/PL，以相反的透过率之比PL/PH为基准的情况等也同样。
[0131]另外，在上述实施方式中，以作为基础的亮度数据DL和DH相同的方式设定补正函数FL、ra，但也可以根据取得的亮度数据，以基础的亮度数据DL和DH不是相同的值的方式设定补正函数FL、HL但是，该情况下，由于不能省略透过率的分母，所以需要以透过率彼此进行比较。比较检测与上述实施方式是同样的。
[0132]另外，在上述实施方式中，将作为计算透过率PH、PL的基础的亮度数据作为被检查物S不存在的状态(例如，仅设有带式输送机10的状态)的范围中的X射线的亮度数据，但在检查与载置于带式输送机10上的传送带不同的托盘内收纳有被检查物S的状态的情况下，也可以求得不仅包括带式输送机10还包括托盘的状态，换句话说，求得被检查物S中不包含的部分的X射线的亮度数据，作为计算透过率PH、PL的基础的亮度数据，使用该亮度数据计算各透过率。
[0133]另外，在上述实施方式中，将检测器32、42的对应关系与每个个别的像素32n、42n进行比较，但也可以与每个由多个像素构成的规定的区域进行比较，再以此为基准，进行基准像素的设定及放大率的设定等。该情况下，可以防止检测噪音等造成的误差的情况。另夕卜，在上述实施方式中，以与检测器32、42的左端对应的左边缘为基准设定基准像素32.和4298，以与检测器32、42的右端对应的右边缘为基准设定基准像素，也可以以中心点为基准设定基准像素。
[0134]另外，在上述实施方式中，利用分别设有图像补正部34、44和透过率计算部72、74的情况进行了说明，但也可以使用从图像补正部34、44的输出接口输出的数据，计算由透过率计算部72、74算出的透过率。即，也可以是透过率计算部72、74的功能的一部分或全部和图像补正部34、44共用的结构。
【权利要求】
1.一种非破坏检查装置，其具备: 向规定方向输送被检查物的输送部； 以与所述输送部的输送方向交叉的方式朝向所述输送部照射放射线的放射线源； 在第一能量范围内检测自所述放射线源照射的放射线的第一放射线检测器； 在比所述第一能量范围高的第二能量范围内检测自所述放射线源照射的放射线的第二放射线检测器； 第一计算部，其根据由所述第 一放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示从所述放射线源照射且透过所述被检查物的放射线的所述第一能量范围的第一透过率的值； 第二计算部，其根据由所述第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示自所述放射线源照射且透过所述被检查物的放射线的所述第二能量范围的第二透过率的值； 检测部，其基于表示由所述第一计算部算出的所述第一透过率的值和表示由所述第二计算部算出的所述第二透过率的值之比或差，检测所述放射线源的错位内容； 补正部，其在由所述检测部检测出所述放射线源的错位内容的情况下，根据该错位内容，对由所述第一及第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据的至少一方进行补正。
2.如权利要求1所述的非破坏检查装置，其中， 所述检测部存储基于所述被检查物的放射线透过率而设定的上限及下限的两个阈值，通过将表示所述第一及第二透过率的值之比或差与所述上限及下限的两阈值进行比较，检测所述放射线源的错位内容。
3.如权利要求2所述的非破坏检查装置，其中， 所述第一及第二放射线检测器分别具有向与所述输送方向及所述照射方向交叉的检测方向延伸的检测区域， 所述检测部将对应于所述检测区域且由表示所述第一及第二透过率的值之比或差的集合构成的透过率图形与所述上限及下限的两阈值进行比较，检测所述放射线源的错位内容。
4.如权利要求3所述的非破坏检查装置，其中， 在所述透过率图形中与所述被检查物的一端对应的部位比所述上限的阈值大，且在所述透过率图形中与所述被检查物的另一端对应的部位比所述下限的阈值小的情况下，所述检测部判定所述放射线源在所述检测方向上偏离。
5.如权利要求4所述的非破坏检查装置，其中， 在被所述检测部判定所述放射线源在所述检测方向上偏离的情况下，所述补正部通过进行使基准像素向其它的像素移动而设定新的基准像素的再设定处理，对来自所述第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正，该基准像素是用于使来自所述第一及第二放射线检测器的亮度数据相互对应的基准像素中至少一基准像素。
6.如权利要求4或5所述的非破坏检查装置，其中， 在被所述检测部判定所述放射线源在所述检测方向上偏离的情况下，所述补正部通过进行再调整构成所述第一及第二放射线检测器的各像素的放大率的再调整处理，对来自所述第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正。
7.如权利要求3~6中任一项所述的非破坏检查装置，其中， 在所述透过率图形中与所述被检查物的两端对应的部位的各个都比所述下限的阈值低的情况、或所述透过率图形中与所述被检查物的两端对应的部位的各个都比所述上限的阈值高的情况下，所述检测部判定所述放射线源在所述照射方向上偏离。
8.如权利要求7所述的非破坏检查装置，其中， 在被所述检测部判定所述放射线源在所述照射方向上偏离的情况下，所述补正部通过进行再调整构成所述第一及第二放射线检测器的各像素的放大率的再调整处理，对来自所述第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正。
9.如权利要求7或8所述的非破坏检查装置，其中， 在被所述检测部判定所述放射线源在所述照射方向上偏离的情况下，所述补正部通过进行使基准像素向其它像素移动而设定的新的基准像素的再设定处理，对来自所述第一及第二放射线检测器的亮度数据的至少一方进行补正，该基准像素是用于使来自所述第一及第二放射线检测器的亮度数据相互对应的基准像素中至少一基准像素。
10.如权利要求1~9中任一项所述的非破坏检查装置，其中， 所述第二放射线检测器在所述放射线的照射方向，位于比所述第一放射线检测器更靠下游侧。
11.一种补正方法，其在具备向规定方向输送被检查物的输送部、以与所述输送部的输送方向交叉的方式朝向所述输送部照射放射线的放射线源、在第一能量范围内检测自所述放射线源照射出的放射线的第一放射线检测器、在比所述第一能量范围高的第二能量范围内检测自所述放射线源照射出的放射线的第二放射线检测器的非破坏检查装置中，对由所述第一及第二放射线检测器检测出的亮度数据的至少一方进行补正，其中，包括: 第一计算步骤，根据由所述第一放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示自所述放射线源照射且透过所述被检查物的放射线的所述第一能量范围的第一透过率的值； 第二计算步骤，根据由所述第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据，计算表示自所述放射线源照射且透过所述被检查物的放射线的所述第二能量范围的第二透过率的值； 检测步骤，基于表示在所述第一计算步骤中算出的所述第一透过率的值和表示在所述第二计算步骤中算出的所述第二透过率的值之比或差，检测所述放射线源的错位内容； 补正步骤，在所述检测步骤中检测出所述放射线源的错位内容的情况下，根据该错位内容，对由所述第一及第二放射线检测器检测出的放射线的亮度数据的至少一方进行补正。
【文档编号】G01T7/00GK103930772SQ201280054942
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2012年8月22日 优先权日:2011年11月8日
【发明者】须山敏康 申请人:浜松光子学株式会社