专利名称：一种基于高分子薄膜的流体压力测量传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及流体压力测量技术领域，尤其涉及一种高压流体内部的压力测量传感器及测量方法。
背景技术：
流体广泛存在于石油、天然气、化工过程、水利工程、农业灌溉等领域中，而流体压力作为一种重要的参数，对于掌握设备工况、确保设备正常运行具有极其重要的作用。目前，流体压力测量装置有很多种，常见的小型压力传感器有MEMS压力传感器。目前的MEMS压力传感器有压阻式压力传感器和电容式压力传感器，两者都是在硅片上制作的传感器。相对于传统的机械式传感器，MEMS压力传感器具有尺寸小、可集成等优点。然而，MEMS压力传感器仍然有一些不足之处，比如工艺过程较复杂，成本高，而且其压力测量量程小，温度稳定性欠佳等。另外基于MEMS压力传感器的压力测量装置往往需要在装置外壳增开传压孔，这就这就破坏了装置的完整性、密封性，在高压环境中很容易损坏、产生泄漏现象。
发明内容
针对上述问题，本发 明的目的在于克服当前技术的不足，提供一种基于高分子薄膜的流体压力测量传感器，该传感器结构简易、体积小、成本低，可供工程技术人员及时了解和掌握流体的实际工作状况。本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:一种基于高分子薄膜的流体压力测量传感器，它包括:第一金属电极薄片、高分子薄膜、第二金属电极薄片和导线；其中，所述第一金属电极薄片与第二 金属 电极薄片分别紧贴在高分子薄膜的上下表面上，共同形成了一个电容器；两根导线分别连接第一金属电极薄片与第二金属电极薄片。一种应用上述基于高分子薄膜的流体压力测量传感器进行流体压力测量的方法，包括以下步骤:(I)在流体未对本发明基于高分子薄膜的流体压力测量传感器施加压力时，测得由第一金属电极薄片、高分子薄膜、第二金属电极薄片组成的电容器的初始电容值Ctl为:
权利要求
1.种基于高分子薄膜的流体压力测量传感器，其特征在于，它包括:第一金属电极薄片(I)、高分子薄膜(2)、第二金属电极薄片(3)和导线(4)等；其中，所述第一金属电极薄片(I)与第二金属电极薄片(3)分别紧贴在高分子薄膜(2)的上下表面上，共同形成了一个电容器；两根导线(4)分别连接第一金属电极薄片(I)与第二金属电极薄片(3)。
2.种应用上述基于高分子薄膜的流体压力测量传感器进行流体压力测量的方法，其特征在于，包括以下步骤: (1)在流体未对本发明基于高分子薄膜的流体压力测量传感器施加压力时，测得由第一金属电极薄片(I)、高分子薄膜(2)、第二金属电极薄片(3)组成的电容器的初始电容值C0为:
全文摘要
本发明公开了一种基于高分子薄膜的流体压力测量传感器及其测量方法。该传感器包括两个金属电极薄片，两金属电极薄片中间夹有一层高分子薄膜，构成了一个电容器。高分子薄膜能感受流体所施加的压力而发生厚度变化，此变化将使得两金属电极间距发生变化，从而导致两金属电极薄片间的电容值发生变化，通过检测电容值的变化量就可以推算出流体的压力。本发明公开的基于高分子薄膜的流体压力测量传感器体积小、结构简单、成本低，为解决流体压力的测量问题提供了一条有效的途径。
文档编号G01L9/12GK103091030SQ20131004788
公开日2013年5月8日 申请日期2013年2月2日 优先权日2013年2月2日
发明者王保良, 柴马竞, 冀海峰, 黄志尧, 李海青 申请人:浙江大学