技术总结
一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪,包括:测量体、上盖板及下盖板,所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块;所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接;所述质量块与所述耦合框通过多个弹性梁相连接;所述质量块与所述固定块之间设置有第一梳状耦合结构;所述耦合框的一侧设置有支撑梁;所述耦合框通过所述支撑梁与所述基座相连接;所述耦合框的侧壁的上部及下部分别设置有谐振梁,所述谐振梁一端与所述耦合框相连接,另一端分别与基座相连接;所述谐振梁与所述基座之间还设置有第二梳状耦合结构;所述谐振梁以及所述第二梳状耦合结构用于检测转动角速度。
技术研发人员:于连忠;张忠山;孙晨
受保护的技术使用者:中国科学院地质与地球物理研究所
文档号码:201310221840
技术研发日:2013.06.05
技术公布日:2016.12.28