一种高压测试模块的制作方法

文档序号:6080638阅读:268来源:国知局
专利名称:一种高压测试模块的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种高压测试模块,特别涉及一种用于半导体元器件的高压测试模块。
背景技术
在半导体测试封装行业中,需要对半导体元器件进行高压测试以测试其导通性能,现有技术是人工手动对半导体元器件一个一个进行高压测试,不仅效率低下,且测试精度较差,工人劳动强度大,从而影响了整体测试封装进度。

实用新型内容为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种高压测试模块,以代替人工对半导体兀器件进行闻效率的闻压测试,并提闻生广效率。为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:一种高压测试模块,包括底座,所述底座上设置有伺服电机,由所述伺服电机驱动的同步轮,以及由所述同步轮驱动的同步带;所述同步带中间设置有与所述底座垂直的支撑板,所述支撑板两侧的所述同步带上分别设置有第一水平移动底座及第二水平移动底座;所述第一水平移动底座上安装有第一升降气缸,所述第一升降气缸的活塞端安装有第一垂直移动底座,所述第一垂直移动底座顶端安装有第一兀件支撑块;所述第二水平移动底座上安装有第二升降气缸,所述第二升降气缸的活塞端安装有第二垂直移动底座, 所述第二垂直移动底座顶端安装有第二元件支撑块;所述支撑板顶端安装有测试针支撑块,侧边安装有支撑梁,所述支撑梁上安装有对应所述支撑板顶部的支撑架;所述支撑架对应所述测试针支撑块的一侧安装有导辊升降气缸,所述导辊升降气缸的活塞端安装有导辊支架,所述导辊支架上安装有导辊,所述导辊与所述底座平行设置,所述导辊与测试针支撑块之间设置有高压测试针;所述支撑架的另一侧安装有压块升降气缸,所述压块升降气缸的活塞端安装有压块,工作时所述压块依次对应所述第一元件支撑块或者第二元件支撑块。进一步的,所述支撑板的顶部两侧设置有水平导轨,所述第一水平移动底座及第二水平移动底座上均设置有对应并配合所述水平导轨的滑块。进一步的,所述第一升降气缸与第一垂直移动底座分别位于所述第一水平移动底座的两侧,所述第一升降气缸与所述第一垂直移动底座之间通过水平设置的第一垂直底座支架连接,所述第一水平移动底座上垂直设置有对应所述第一垂直底座支架的第一缓冲器。进一步的,所述第二升降气缸与第二垂直移动底座分别位于所述第二水平移动底座的两侧,所述第二升降气缸与所述第二垂直移动底座之间通过水平设置的第二垂直底座支架连接,所述第二水平移动底座上垂直设置有对应所述第二垂直底座支架的第二缓冲器。进一步的,所述导辊的数量为3根且平行安装于所述导辊支架上,所述高压测试针分为两组并分别穿过3根所述导辊形成的两道导辊间隙。进一步的,所述支撑板的两侧还分别设置有垂直于所述支撑板的限位块,所述限位块分别对应所述第一水平移动底座及第二水平移动底座。通过上述技术方案,本实用新型提供的一种高压测试模块,其通过伺服电机带动两组水平及垂直移动机构将装有元件的元件支撑块移动至对应高压测试针的位置,再通过压块将元件压紧,最后通过高压测试针对元件进行高压测试,相比人工测试,该实用新型具有高效、精确的优点,人工劳动强度低且测试效率高,保证了整个测试封装过程的有序进行。

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为实施例所公开的一种高压测试模块的立体结构示意图;图2为实施例所公开的高压测试模块另一视角的立体结构示意图;图3为图2中A部放大结构示意图。图中数字表示:11.底座12.伺服电机13.同步轮14.同步带15.第一水平移动底座16.第二水平移动底座17.第一升降气缸 18.第一垂直底座支架19.第一垂直移动底座20.第一元件支撑块21.第二升降气缸 22.第二垂直底座支架23.第二垂直移动底座24.第二元件支撑块25.支撑板26.测试针支撑块27.高压测试针28.支撑梁29.支撑架30.压块31.导辊升降气缸 32.导辊支架33.导辊34.水平导轨35.滑块36.第一缓冲器37.第二缓冲器38.限位块
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。参考图1至3,本实用新型提供的高压测试模块,包括底座11,底座11上设置有伺服电机12,由伺服电机12驱动的同步轮13,以及由同步轮13驱动的同步带14 ;同步带14中间设置有与底座11垂直的支撑板25,支撑板25两侧的所述同步带14上分别设置有第一水平移动底座15及第二水平移动底座16 ;第一水平移动底座15上安装有第一升降气缸17,第一升降气缸17的活塞端安装有第一垂直移动底座19,第一垂直移动底座19顶端安装有第一元件支撑块20 ;第二水平移动底座16上安装有第二升降气缸21,第二升降气缸21的活塞端安装有第二垂直移动底座23,第二垂直移动底座23顶端安装有第二元件支撑块24 ;支撑板25顶端安装有测试针支撑块26,侧边安装有支撑梁28,支撑梁28上安装有对应支撑板25顶部的支撑架29 ;支撑架29对应测试针支撑块26的一侧安装有导辊升降气缸31,导辊升降气缸31的活塞端安装有导辊支架32,导辊支架32上安装有导辊33,导辊33与底座平行设置,导辊33与测试针支撑块26之间设置有高压测试针27 ;支撑架29的另一侧安装有压块升降气缸,压块升降气缸的活塞端安装有压块30,工作时压块30对应所述第一元件支撑块20或者第二元件支撑块24。支撑板25的顶部两侧设置有水平导轨34,第一水平移动底座15及第二水平移动底座16上均设置有对应并配合水平导轨34的滑块35。第一升降气缸17与第一垂直移动底座19分别位于第一水平移动底座15的两侧,第一升降气缸17与 第一垂直移动底座19之间通过水平设置的第一垂直底座支架18连接,第一水平移动底座15上垂直设置有对应第一垂直底座支架18的第一缓冲器36,通过第一缓冲器36的设置以确保第一升降气缸17复位时起到减震作用。第二升降气缸21与第二垂直移动底座23分别位于第二水平移动底座16的两侧,第二升降气缸21与第二垂直移动底座23之间通过水平设置的第二垂直底座支架22连接,第二水平移动底座16上垂直设置有对应第二垂直底座支架22的第二缓冲器37,通过第二缓冲器37的设置以确保第二升降气缸21复位时起到减震作用。导辊33的数量为3根且平行安装于导辊支架32上,高压测试针27分为两组并分别穿过3根导辊33形成的两道导辊33间隙,该结构设置用于将分别测试元件不同位置的两组高压测试针27分为上下两层,较短的高压测试针27位于下层,较长的高压测试针27位于上层。支撑板25的两侧还分别设置有垂直于支撑板25的限位块38,限位块38分别对应第一水平移动底座15及第二水平移动底座16,在第一水平移动底座15及第二水平移动底座16移动时进行限位。本实用新型的工作原理为:首先将该实用新型安装在对应转盘式半导体测试分选机高压测试的吸嘴位置处;高压测试针27及压块30均处于复位状态,伺服电机12驱动同步轮13带动同步带14转动,然后将第一组水平及垂直移动机构移动至对应吸嘴处,第二组远离吸嘴,此时第一升降气缸17驱动第一垂直移动底座19上升使第一元件支撑块20对应吸嘴,吸嘴将元件防止在第一元件支撑块20的凹槽内,此时第二升降驱动驱动第二垂直移动底座23处于上升状态;第一升降气缸17驱动第一垂直移动底座19下降使第一元件支撑块20复位,然后伺服电机12驱动同步轮13带动同步带14转动,使第一元件支撑块20移动至对应压块30及高压测试针27位置处,带有吸嘴的转盘同步转动,此时第二元件支撑块24移动至对应刚转动至相应位置的吸嘴,吸嘴将元件防止在第二元件支撑块24的凹槽内;[0046]第一升降气缸17驱动第一垂直移动底座19上升使第一元件支撑块20上升,然后压块升降气缸驱动压块30下降并压住第一元件支撑块20上的元件,最后导辊升降气缸31驱动高压测试针27下降并接触元件的相应位置进行高压测试;待第一元件支撑块20上的元件高压测试完毕,高压测试针27及压块30复位,第二升降气缸21驱动第二垂直移动底座23下降使第二元件支撑块24下降,伺服电机12驱动同步轮13带动同步带14转动,并使第二元件支撑块24移动至对应高压测试针27及压块30处,此时第一元件支撑块20对应另一空吸嘴,该空吸嘴将经过高压测试的元件吸走;第二升降气缸21驱动第二垂直移动底座23上升使第二元件支撑块24上升,然后压块升降气缸驱动压块30下降并压住第二元件支撑块24上的元件,最后导辊升降气缸31驱动高压测试针27下降并接触元件的相应位置进行高压测试;然后重复上述步骤依次交替对第一元件支撑块20及第二元件支撑块24上的元件进行高压测试。对上述实施例 的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。
权利要求1.一种高压测试模块,其特征在于,包括底座,所述底座上设置有伺服电机,由所述伺服电机驱动的同步轮,以及由所述同步轮驱动的同步带; 所述同步带中间设置有与所述底座垂直的支撑板,所述支撑板两侧的所述同步带上分别设置有第一水平移动底座及第二水平移动底座; 所述第一水平移动底座上安装有第一升降气缸,所述第一升降气缸的活塞端安装有第一垂直移动底座,所述第一垂直移动底座顶端安装有第一元件支撑块; 所述第二水平移动底座上安装有第二升降气缸,所述第二升降气缸的活塞端安装有第二垂直移动底座,所述第二垂直移动底座顶端安装有第二元件支撑块; 所述支撑板顶端安装有测试针支撑块,侧边安装有支撑梁,所述支撑梁上安装有对应所述支撑板顶部的支撑架;所述支撑架对应所述测试针支撑块的一侧安装有导辊升降气缸,所述导辊升降气缸的活塞端安装有导辊支架,所述导辊支架上安装有导辊,所述导辊与所述底座平行设置,所述导辊与测试针支撑块之间设置有高压测试针;所述支撑架的另一侧安装有压块升降气缸,所述压块升降气缸的活塞端安装有压块,工作时所述压块依次对应所述第一元件支撑块或者第二元件支撑块。
2.根据权利要求1所述的一种高压测试模块,其特征在于,所述支撑板的顶部两侧设置有水平导轨,所述第一水平移动底座及第二水平移动底座上均设置有对应并配合所述水平导轨的滑块。
3.根据权利要求1所述的一种高压测试模块,其特征在于,所述第一升降气缸与第一垂直移动底座分别位于所述第一水平移动底座的两侧,所述第一升降气缸与所述第一垂直移动底座之间通过水平设置的第一垂直底座支架连接,所述第一水平移动底座上垂直设置有对应所述第一垂直底座支架的第一缓冲器。
4.根据权利要求1所述的一种高压测试模块,其特征在于,所述第二升降气缸与第二垂直移动底座分别位于所述第二水平移动底座的两侧,所述第二升降气缸与所述第二垂直移动底座之间通过水平设置的第二垂`直底座支架连接,所述第二水平移动底座上垂直设置有对应所述第二垂直底座支架的第二缓冲器。
5.根据权利要求1所述的一种高压测试模块,其特征在于,所述导辊的数量为3根且平行安装于所述导辊支架上,所述高压测试针分为两组并分别穿过3根所述导辊形成的两道导棍间隙。
6.根据权利要求1所述的一种高压测试模块,其特征在于,所述支撑板的两侧还分别设置有垂直于所述支撑板的限位块,所述限位块分别对应所述第一水平移动底座及第二水平移动底座。
专利摘要本实用新型公开了一种高压测试模块,包括底座,与底座垂直的支撑板,伺服电机,同步轮及同步带;支撑板两侧的同步带上分别设置有第一及第二水平移动底座;水平移动底座上均安装有升降气缸,升降气缸驱动有垂直移动底座,垂直移动底座顶端安装有元件支撑块;支撑板侧边安装有支撑梁及测试针支撑块,支撑梁上安装有支撑架,支撑架一侧安装有导辊,导辊与测试针支撑块之间设置有高压测试针;支撑架的另一侧安装有压块升降气缸,压块升降气缸的活塞端安装有压块,工作时压块对应所述第一元件支撑块或者第二元件支撑块。该实用新型具有高效、精确的优点,人工劳动强度低且测试效率高,保证了整个测试封装过程的有序进行。
文档编号G01R1/04GK203133126SQ20132013970
公开日2013年8月14日 申请日期2013年3月25日 优先权日2013年3月25日
发明者张巍巍 申请人:江苏格朗瑞科技有限公司
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