液位监视装置及液槽的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种液位监视装置及液槽，其中液位监视装置包括：液位监视管和传感器，液位监视管的上端设置有防进液管，防进液管通过第一连接管与液位监视管连通，防进液管穿过待监视容器的侧壁并延伸至待监视容器内部，液位监视管的下端通过第二连接管与待监视容器的底部连通，液位监视管内设置有至少一个传感器。防进液管进入待监视容器并延伸后采用逐渐变小的设计或者出口端向下弯折，使得弯折后的防进液管的出口高度不低于液位监视管中传感器，有效防止液滴流到液位监视管中，解决由于液滴进入到液位监视管中，造成传感器产生误报警的问题。
【专利说明】液位监视装置及液槽【技术领域】
[0001]本实用新型涉及液体监测【技术领域】，尤其涉及液位监视装置及液槽。
【背景技术】
[0002]在工业生产中，往往需要使用槽体或者罐体结构的容器来盛装液体，为了安全一般在槽体或者罐体的上表面加设盖子，但是给观察容器内液面的高度带来了很大的困难，尤其是有些容器的体积非常大，更不利于对容器内液面高度的监测，因此需要采用特殊的方法实现对容器内液面高度的监测。
[0003]一般为了能够实时监测液槽内液体的液面高度，在盛装液体的罐体外侧都会设置一条液位监视管，通过在液位监视管中不同高度的位置处设置传感器来监视液面的高度，当感应到液面高度超过警戒高度时会发出报警。为了实现液位监测的自动化，在液位监视管中添加了液位传感器，但是往往会由于容器顶部或侧壁上流下的液滴从液位监视管的上端进入液位监视管，引发最上端的传感器报警，而此时的实际液位并未达到最上端传感器的高度，导致误报警，进而对液面高度的监视缺乏可靠性。
实用新型内容
[0004](一)要解决的技术问题
[0005]针对上述缺陷，本实用新型要解决的技术问题是如何防止液滴从液位监视管的上端进入，进而减少液面自动监测过程中液位传感器误报警的发生。
[0006](二)技术方案
[0007]为解决上述问题，本实用新型提供了一种液位监视装置，用于监视容器内液体的液位高度，包括:液位监视管和传感器，所述液位监视管的上端设置有防进液管，所述防进液管通过第一连接管与所述液位监视管连通，所述防进液管穿过待监视容器的侧壁并延伸至所述待监视容器内部，所述液位监视管的下端通过第二连接管与所述待监视容器的底部连通，所述液位监视管内设置有至少一个所述传感器。
[0008]进一步地，所述防进液管延伸后的口径逐渐变小。
[0009]进一步地，所述防进液管延伸后的出口端向下弯折。
[0010]进一步地，所述向下弯折的角度为直角、钝角或锐角。
[0011]进一步地，所述出口端的高度不低于所述液位监视管中所述传感器的高度。
[0012]进一步地，所述防进液管还包括滤网，所述滤网安装在所述防进液管的出口端。
[0013]进一步地，所述液位监视管为透明管。
[0014]为解决上述技术问题，本实用新型还提供了一种液槽，包括:液位监视装置和槽体，其中所述液位监视装置为以上所述的液位监视装置，所述液位监视管与所述槽体相连，所述液位监视管通过所述第一连接管和所述第二连接管连接与所述槽体连通，所述防进液管穿过所述槽体的侧壁并延伸至所述槽体的内部。
[0015]进一步地,所述液槽还包括排液管、进液管和供给管,所述排液管包括上排管和下排管，所述上排管与所述槽体侧壁的上端连通，所述下排管与所述槽体的底部连通，且所述上排管的出口与所述下排管连通，所述进液管与所述槽体的顶部连通，所述供给管与所述槽体的底部连通。
[0016]进一步地，所述排液管、所述进液管和所述供给管上均设置有阀门。
[0017](三)有益效果
[0018]本实用新型提供了一种液位监视装置及具有该液位监视装置的液槽，其中液位监视装置包括:液位监视管和传感器，液位监视管的上端设置有防进液管，防进液管通过第一连接管与液位监视管连通，防进液管穿过待监视容器的侧壁并延伸至所述待监视容器内部，液位监视管的下端通过第二连接管与待监视容器的底部连通，液位监视管内设置有至少一个传感器。通过在液位监视管的上端设置防进液管，能够防止槽体内壁的液滴沿着槽体内壁流到液位监视管中，当液滴下落滴在液面上发生迸溅时，也能防止迸溅的液滴流进液位监视管内，减少误报警的发生，保证液位监控的可靠性。进一步地，防进液管进入待监视容器并延伸后采用逐渐变小的设计或者出口端向下弯折，使得弯折后的防进液管的出口高度不低于液位监视管中最上端的传感器，有效防止液滴流到液位监视管中，从而减少液面自动监测过程中液位传感器误报警的发生。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1为现有技术中液位监视装置的示意图；
[0020]图2为本实用新型提供的一种液位监视装置的组成示意图；
[0021]图3为本实用新型提供的一种液位监视装置的第一种结构示意图；
[0022]图4为本实用新型提供的一种液位监视装置的第一种防进液管的局部放大图；
[0023]图5为本实用新型提供的一种液位监视装置的第二种结构示意图；
[0024]图6为本实用新型提供的一种液位监视装置的第二种防进液管的局部放大图；
[0025]图7为本实用新型提供的一种液位监视装置的第二种防进液管的第一种变形结构局部放大图；
[0026]图8为本实用新型提供的一种液位监视装置的第二种防进液管的第二种变形结构局部放大图；
[0027]图9为本实用新型提供的一种液位监视装置的第一种防进液管添加滤网的局部放大图；
[0028]图10为本实用新型提供的一种液位监视装置的第二种防进液管添加滤网的局部放大图；
[0029]图11为本实用新型提供的具有第一种液位监视装置的液槽组成示意图；
[0030]图12为本实用新型提供的具有第二种液位监视装置的液槽组成示意图。
【具体实施方式】
[0031]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0032]目前在LTPS (Low Temperature Poly一silicon,低温多晶娃技术)和 TFT (ThinFilm Transistor,薄膜场效应晶体管)行业里，蚀刻机、剥离机、清洗机台在水洗单元都采用水洗槽装置，对水洗槽的液位控制均通过传感器感应的方式，透明的液位监视管上面连接有L、M、H、HH这几个传感器，从而对水洗槽的液位进行感应和监测，以便及时对水洗槽的水进行补给和置换。但是在实际生产环境下，水洗槽的用于感应液位的传感器经常发生因液滴从液位监视管的上端进入造成的传感器误报警问题，还会由于传感器的误报警直接导致水泵停止工作，传送停止。而TFT和LTPS的制备过程中如果蚀刻、剥离、清洗设备停止传送会直接导致产品的返工和报废，给生产带来巨大的经济损失。图1为现有技术中用于水洗槽液面监视的结构示意图，包括:槽体001、液位监视管002和传感器003，在液位监视管002中分布着四个用于感应液面高度的传感器L、M、H和HH按照从低到高的顺序排列，分别对应低、中、高和报警的位置，当槽体001内的液面逐渐上升时，液位监视管002中液面高度也逐渐上升，传感器L、M、H依次感应到液面，并对液面高度进行显示和提示，当液面高度达到HH的位置时，说明槽体001内液面高度已经达到限定高度，发出报警。但是，从图1中的结构可以看出，沿着槽体001内壁会有液滴004流进液位监视管002中，并沿着液位监视管002流到传感器HH的位置，传感器HH是一种用于感应液位的传感器，所以当有液滴004流至丨J传感器HH上时，传感器做出传感反应，认为液面已经达到HH的位置，发出报警。但是由图1中可以看出，槽体001中实际的液面并没有达到HH的位置，而是在H位置与HH位置之间，因此造成误报警。误报警产生的后果是水泵停止工作，传送停止，刻蚀、剥离、清洗设备也停止，进一步导致产品报废，给生产带来损失。
[0033]本实用新型提供了一种液位监视装置，组成示意图如图2所示，包括:液位监视管01和传感器02，液位监视管01的上端设置有防进液管03，防进液管03与通过第一连接管04与液位监视管01连通，防进液管03穿过待监视容器00的侧壁并延伸至所述待监视容器00内部，液位监视管01的下端通过第二连接管05与待监视容器00的底部连通。
[0034]本实用新型通过在液位监视管的上端设置防进液管，能够防止槽体内壁的液滴沿着槽体内壁流到液位监视管中，当液滴下落滴在液面上发生迸溅时，也能防止迸溅的液滴流进液位监视管内，减少误报警的发生，保证液位监控的可靠性。
[0035]防进液管的功能为防止槽体内壁的液滴沿着槽体内壁流到液位监视管中，造成误报警；当液滴下落滴在液面上发生迸溅时，也能防止迸溅的液滴流进液位监视管内，因此防进液管的第一种实现方式为防进液管延伸后的口径逐渐变小，如图3所示。防进液管03伸入到待监视容器00中并进一步延伸，可以防止沿着待监视容器00内壁流下的液滴004通过第一连接管04进入到液位监视管01中。进一步将延伸后的防进液管03的口径做成逐渐变小的形式，对防进液管03的局部放大图为图4所示，由于口径变小，可以防止液滴004滴落在待监视容器00中液面上导致迸溅产生的液滴004通过第一连接管04进入到液位监视管01中，避免产生误报警。
[0036]为保证上述防进液的功能，防进液管还有第二种实现方式为防进液管延伸后的出口端向下弯折，如图5所示。防进液管03伸入到待监视容器00中并进一步延伸，可以防止沿着待监视容器00内壁流下的液滴004通过第一连接管04进入到液位监视管01中。进一步将延伸后的防进液管03的出口端向下弯折，由于出口端向下弯折，即使液滴004滴落产生迸溅，迸溅的液滴004只能进入到弯折的下端，因为受重力作用而沿着管流出，不会进入到第一连接管04中，更不会进入到液位监视管01中，因此可以防止液滴004滴落在待监视容器00中的液面上导致迸溅产生的液滴004进入到液位监视管01中，避免产生误报警，对防进液管03的局部放大图如图6所示。
[0037]上述防进液管的出口端向下弯折的角度为直角、钝角或锐角，图5和图6中为直角，图7和图8中分别为钝角和锐角的形式，并且角度还可以根据需要设置成不同的大小，例如:在较细长的容器中可以把弯折角度设置为直角或钝角，以免出口端接触到容器壁；在较粗大的容器中，对于弯折角度的要求并不严格，可以任意设置。
[0038]还需说明的是，防进液管的出口端的高度不低于液位监视管01中传感器HH的高度。
[0039]在上述两种改进结构的基础上，所述防进液管03还包括滤网06，滤网06安装在防进液管03的出口端，分别安装在上述第一种和第二种防进液管的效果如图9和10所示。通过在防进液管03的出口端设置滤网06，能够进一步将迸溅的液滴004阻隔在防进液管03之外，对于防止液滴迸溅导致误报警的效果更好。
[0040]优选地，本实施例中的液位监视管01为透明管，这样可以方便人用肉眼去观察；传感器02的个数根据液位监视的需要进行设定，本实施例中只是为了说明将传感器的个数限定为4个，并从下到上依次命名为L、M、H、HH，在其它实施例中传感器的个数也可以不为4。
[0041]需要说明的是，本实施例中的待监视容器优选为具有槽体结构的容器。
[0042]基于上述液位监视管装置，本实施例还提供了一种液槽，组成结构如图11所示，包括:液位监视装置10和槽体11，其中液位监视装置10为上述液位监视装置，液位监视管01设置于槽体11的外侧面，液位监视管01通过第一连接管04和第二连接管05与槽体11连通，防进液管03穿过槽体11的侧壁并延伸至槽体11的内部。
[0043]关于液位监视管与槽体的位置关系，优选地，液位监视管设置于槽体的外侧面；另夕卜，也可以将液位监视管内嵌在槽体的侧壁中，此处并不对此作限定，只要可以实现液位监视的效果即可。
[0044]上述液槽还包括排液管14、进液管12和供给管13,排液管14包括上排管141和下排管142，上排管141与槽体11侧壁的上端连通，下排管142与槽体11的底部连通，且上排管141的出口与下排管142连通，进液管12与槽体11的顶部连通，供给管13与槽体11的底部连通。供给管13包括外接管131和内接管132，外接管131上设置有水泵15。内接管132与其它液槽的内接管连接，因为一般是几个液槽一起工作。在进液管12、排液管14和供给管13上均设置有阀门，图11中未显示，以实现对各个管的工作开启与关闭进行控制。
[0045]其中图12中是根据上述实施例中第一种实现方式的液位监视装置得到的液槽结构，另给出根据上述实施例中第二种实现方式的液位监视装置得到的液槽结构。
[0046]本实施中以水洗槽对上述液槽结构进行说明，上述结构对于盛装其他液体的液槽也适用。
[0047]上述液槽通过将进入液槽的防进液管进行延伸，且延伸后采用逐渐变小的设计或者出口端向下弯折，使得弯折后的防进液管的出口高度不低于液位监视管中最上端的传感器，有效防止液滴流到液位监视管中，避免误报警，保证液位监视的可靠性。
[0048]以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关【技术领域】的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由权利要求限定。
【权利要求】
1.一种液位监视装置，用于监视容器内液体的液位高度，其特征在于，包括:液位监视管和传感器，所述液位监视管的上端设置有防进液管，所述防进液管通过第一连接管与所述液位监视管连通，所述防进液管穿过待监视容器的侧壁并延伸至所述待监视容器内部，所述液位监视管的下端通过第二连接管与所述待监视容器的底部连通，所述液位监视管内设置有至少一个所述传感器。
2.如权利要求1所述的液位监视装置，其特征在于，所述防进液管延伸后的口径逐渐变小。
3.如权利要求1所述的液位监视装置，其特征在于，所述防进液管延伸后的出口端向下弯折。
4.如权利要求3所述的液位监视装置，其特征在于，所述向下弯折的角度为直角、钝角或锐角。
5.如权利要求3所述的液位监视装置，其特征在于，所述出口端的高度不低于所述液位监视管中所述传感器的高度。
6.如权利要求1-5中任一项所述的液位监视装置，其特征在于，所述防进液管还包括滤网，所述滤网安装在所述防进液管的出口端。
7.如权利要求1-5中任一项所述的液位监视装置，其特征在于，所述液位监视管为透明管。
8.一种液槽，其特征在于，包括:液位监视装置和槽体，其中所述液位监视装置为权利要求1-7中任一项所述的液位监视装置，所述液位监视管与所述槽体相连，所述液位监视管通过所述第一连接管和所述第二连接管与所述槽体连通，所述防进液管穿过所述槽体的侧壁并延伸至所述槽体的内部。
9.如权利要求8所述的液槽，其特征在于，所述液槽还包括排液管、进液管和供给管，所述排液管包括上排管和下排管，所述上排管与所述槽体侧壁的上端连通，所述下排管与所述槽体的底部连通，且所述上排管的出口与所述下排管连通，所述进液管与所述槽体的顶部连通，所述供给管与所述槽体的底部连通。
10.如权利要求9所述的液槽，其特征在于，所述排液管、所述进液管和所述供给管上均设置有阀门。
【文档编号】G01F23/22GK203432645SQ201320526103
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月27日 优先权日:2013年8月27日
【发明者】刘政, 任章淳 申请人:京东方科技集团股份有限公司